导读:本文包含了剩余厚度论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:铜互连,阻挡层,化学机械抛光(CMP),铜线条剩余厚度
剩余厚度论文文献综述
马腾达,刘玉岭,杨盛华,徐奕,考政晓[1]（2018）在《GLSI多层铜互连阻挡层CMP中铜沟槽剩余厚度的控制》一文中研究指出GLSI铜布线阻挡层化学机械抛光(CMP)中铜沟槽剩余厚度(H_(Cu))关系着集成电路的电性能,是集成电路制造工艺重要评定参数之一。使用不同配比的新型弱碱性抛光液对多层铜布线的阻挡层进行CMP,研究了抛光液中不同体积分数的螯合剂FA/OⅡ、氧化剂H_2O_2和抑菌剂BIT条件下对H_(Cu)的影响。结果表明,随着FA/OⅡ体积分数的增加,铜的去除速率(v_(Cu))逐渐变大,当其体积分数增至3. 5%后,vCu呈略微下降态;加入H_2O_2可使v_(Cu)先迅速地增加,在其体积分数增至1. 5%后vCu开始下降。FA/OⅡ型螯合剂、H_2O_2在低体积分数时对铜均有强去除作用; BIT对铜的抑制作用较大,其体积分数的增加使得v_(Cu)不断减小。叁者的协同作用实现了对H_(Cu)的有效控制。(本文来源于《半导体技术》期刊2018年11期）
吴起强[2]（2018）在《下颌磨牙区剩余牙槽嵴顶部骨皮质厚度的影像学初步研究》一文中研究指出目的:剩余牙槽嵴顶骨皮质厚度对种植手术设计与种植成功率有显着影响,本研究将测量下颌第一磨牙区种植前种植位点牙槽嵴顶骨皮质厚度,观察牙槽骨的骨形态,并分析骨皮质厚度、骨形态与缺牙时间的相关关系。材料与方法:搜集符合纳入标准的1 00名患者1 08个缺失牙位作为研究对象,记录缺牙时间,并利用(本文来源于《第十二次全国口腔修复学学术会议论文汇编》期刊2018-07-22）
黄兰兰,仪虹,刘晓敏[3]（2018）在《3种自酸蚀粘结剂在不同剩余牙本质厚度的粘结强度比较》一文中研究指出目的:比较3种自酸蚀粘结剂在不同剩余牙本质厚度的粘结强度。方法:选取新鲜拔除的第一前磨牙24个,磨除冠部釉质,显露浅层牙本质后,随机分3组(n=8),分别使用Opti Bond Versa(OV)、Clearfil SE Bond(SE)、G Bond(GB)粘结剂,然后用P60复合树脂修复堆塑,作截面积约为1.0 mm×1.0 mm的柱形试件。测量样本粘结界面与髓室顶部之间距离即为剩余牙本质厚度(RDT)(≤2 mm为深层牙本质,≥3 mm为浅层牙本质),进行微拉伸试验测试粘结强度并在体视显微镜下观察试件断裂面。结果:OV、SE、GB在浅层牙本质的粘接强度(MPa)分别为44.96±2.05,29.40±1.77和16.38±1.34(P<0.05);在深层分别为32.60±1.58,22.79±1.19和11.98±0.91(P<0.05)。3种自酸蚀粘结剂在浅层牙本质的粘结强度均高于深层(P<0.05),在浅层和深层牙本质的粘结强度比较均为OV最高,SE次之,GB最低(P<0.05);3组样本的断裂多发生在粘结界面。结论:OV对牙本质的粘结强度最高,SE次之,GB最低;3种自酸蚀粘结剂在浅层牙本质的粘结强度均高于深层牙本质。(本文来源于《牙体牙髓牙周病学杂志》期刊2018年03期）
周亚军,关敏[4]（2015）在《种植体周围环性骨缺损剩余骨壁厚度对种植修复后骨愈合的影响》一文中研究指出目的:本研究通过动物实验观察并探讨种植术中环形骨缺损周围剩余骨壁厚度对术后骨愈合的影响。方法:选取8只健康小型猪,雌雄各半,随机分为两组,每组4只。按实验设计,左侧为实验组,用裂钻磨除各面制备环形骨缺损,使四周骨壁厚度分别为0.5、1、1.5mm,植入种植体,距离四周骨壁2mm,覆盖胶原膜,软组织复位缝合。右侧设空白对照,直接缝合。术后8、12wk分别处死4只动物,制取标本,进行骨密度测量及种植体骨磨片观察。结果:骨密度测量结果显示,不同时间点实验组与对照组的骨密度差异有统计学意义(P<0.05)。骨磨片观察,骨缺损区周围剩余骨壁厚度越厚成骨效果越好。结论:种植体周围环形骨缺损剩余骨壁越厚其骨缺损修复效果越好。(本文来源于《内蒙古医科大学学报》期刊2015年06期）
汪峰,马杰,陈哲,钟金钢,余健辉[5]（2015）在《数字全息成像技术测量侧边抛磨光纤包层剩余厚度》一文中研究指出测量侧边抛磨光纤(side-polished fiber,SPF)的包层剩余厚度对其应用有重要的指导意义,现今的测量方法均有所不足,现提出一种基于数字全息技术的测量方法。利用单模光纤纤芯折射率比包层折射率高的特点,基于数字全息成像技术,通过角谱传播法对二维全息图进行相位重构,并通过精确最小二乘法解相位包裹,得到侧边抛磨光纤的相位分布图。根据重构的相位分布图,进一步运用相关的边缘提取算法处理得到侧边抛磨光纤包层剩余厚度。实验测量结果与电子扫描电镜(SEM)测量结果相比,测量相对误差小于0.5%。这种测量方法是一种直接测量方法,减小了间接测量法中由于光纤不对称以及SPF轮廓边缘衍射所带来的测量误差,为侧边抛磨光纤包层剩余厚度的无损、在线测量提供了一种新的途径。同时,此方法还可应用于测量其他特种光纤,例如光子晶体光纤、微纳光纤等。(本文来源于《应用光学》期刊2015年04期）
黄海兵,张长武,孙建飞,王昊宇,张晶[6]（2014）在《制造工艺对稻壳-木质剩余物复合板2h吸水厚度膨胀率的影响》一文中研究指出采用均匀设计方法,以稻壳和木质剩余物为主要原料制备复合板,并进行2 h吸水厚度膨胀率的测试。对测试结果进行逐步回归分析,讨论密度、芯层比例、表层施胶量、芯层施胶量、固化剂用量、热压温度、热压压力和热压时间对复合板2 h吸水厚度膨胀率的影响。在实验研究范围内,除热压时间外,其他因素对复合板2 h吸水厚度膨胀率都有不同程度的影响。通过择优选择制备工艺,可在低成本的条件下,降低复合板的2 h吸水厚度膨胀率。(本文来源于《森林工程》期刊2014年05期）
张世径,黄雪峰,朱彦鹏,杨校辉,姚志华[7]（2013）在《大厚度自重湿陷性黄土地基处理深度和剩余湿陷量问题的合理控制》一文中研究指出为研究大厚度自重湿陷性黄土地区地基处理深度与剩余湿陷量的合理控制关键技术难题,对采用不同处理深度的挤密地基进行了大面积深层浸水载荷试验。试验结果表明:对采用挤密地基处理在6~12 m深度以下进行深层浸水后均发生不同程度的地基湿陷下沉,而地基处理在15 m深度时(剩余湿陷量远大于200 mm)地基整体实际下沉量相对较小,说明现行的《湿陷性黄土地区建筑规范》对乙、丙类建筑地基关于最小处理深度的规定过于严格,不符合现有的经济技术水平,建议在采取一定措施的情况下将12~15 m作为乙、丙类建筑在大厚度自重湿陷性黄土地区地基处理的合理深度。并针对现行规范中对乙、丙类建筑剩余湿陷量控制的不合理之处,提出了"剩余湿陷量折减系数"这个概念,并提出了该折减系数的建议值,可为同类工程建设和规范修订提供一定的参考。(本文来源于《岩土力学》期刊2013年S2期）
万正军,甘芳吉,罗航,宋康,廖俊必[8]（2013）在《基于电位矩阵法的金属管道腐蚀剩余厚度监测研究》一文中研究指出针对目前电位矩阵法在坑蚀的情况下求解剩余厚度的精度仅为壁厚的±(10%～15%),并且要用经验系数修正的问题,在分析了监测区域在腐蚀前后的电流场的改变是产生坑蚀精度误差的主要原因的基础之上,提出了一种利用电阻网络的数学模型来计算坑蚀剩余厚度的方法。管道腐蚀可以等效为探针之间电阻值的变化,因此根据监测的金属管道上所布置的探针间距和数量来确定1个单层电阻网络,然后利用基尔霍夫定律计算出各个电阻在腐蚀前后的电流值,最后建立腐蚀前后电阻函数关系,将坑蚀时电流变化的因素消除,得到精度较高的剩余厚度值计算公式。有限元分析软件仿真和实际实验结果表明,新的坑蚀剩余厚度算法的精度可以达到壁厚的3%,且不需要经验系数修正,验证了新算法的可行性。(本文来源于《四川大学学报(工程科学版)》期刊2013年04期）
袁剑鸣,唐颖,许卫星[9]（2012）在《双固化树脂核冠与纤维桩核冠修复不同牙体剩余厚度磨牙残冠的临床对比研究》一文中研究指出目的:比较双固化树脂核冠与纤维桩核冠两种方法修复不同牙体剩余厚度磨牙残冠的成功率,探讨不同残冠剩余牙体厚度对两种修复方法临床效果的影响。方法:收集96例经完善根管治疗的牙体缺损磨牙病例,按牙体预备后残留牙体厚度为1.0mm及2.0mm分为两组各48例,每组随机各选择24例分别采用双固化树脂制作树脂核后全冠修复及纤维桩全冠修复,修复后12个月比较两种修复方法对不同牙体厚度残冠的修复效果。结果:牙体剩余厚度为1.0mm时,双固化树脂核冠组的成功率为91.7%,纤维桩核冠组的成功率为95.8%,组间差异无显着性(P>0.05);牙体剩余厚度为2.0mm时,双固化树脂核冠组的成功率为100.0%,纤维桩核冠组的成功率为100.0%,组间差异无统计学意义(P>0.05)。结论:磨牙残冠剩余牙体厚度大于等于1mm时,双固化树脂核冠及纤维桩核冠修复效果相同,但双固化树脂核冠修复临床操作更为简便。(本文来源于《中国美容医学》期刊2012年18期）
曾琳,郝文嘉,白传易,鲁玉明,刘志勇[10]（2012）在《厚度诱导的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜剩余应力及临界电流变化》一文中研究指出本文通过脉冲激光沉积法制备了不同厚度(80nm、320nm、1000nm和2000nm)的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜,对它们的剩余应力和临界电流特性进行了对比研究.通过系列的激光显微Raman光谱和磁化曲线测量分别获得了薄膜剩余应力和磁化临界电流密度(Jc)对薄膜厚度的依赖关系.结果显示超导薄膜内剩余应力越小,Jc越高.对于中等厚度的薄膜样品(320nm和1000nm),其膜内剩余应力较小,同时由其特征的磁通匹配场大小推知在该厚度范围内的样品具有较高的线性缺陷密度,从而显示出较高的Jc值.(本文来源于《低温物理学报》期刊2012年05期）
剩余厚度论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
目的:剩余牙槽嵴顶骨皮质厚度对种植手术设计与种植成功率有显着影响,本研究将测量下颌第一磨牙区种植前种植位点牙槽嵴顶骨皮质厚度,观察牙槽骨的骨形态,并分析骨皮质厚度、骨形态与缺牙时间的相关关系。材料与方法:搜集符合纳入标准的1 00名患者1 08个缺失牙位作为研究对象,记录缺牙时间,并利用
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
剩余厚度论文参考文献
[1].马腾达,刘玉岭,杨盛华,徐奕,考政晓.GLSI多层铜互连阻挡层CMP中铜沟槽剩余厚度的控制[J].半导体技术.2018
[2].吴起强.下颌磨牙区剩余牙槽嵴顶部骨皮质厚度的影像学初步研究[C].第十二次全国口腔修复学学术会议论文汇编.2018
[3].黄兰兰,仪虹,刘晓敏.3种自酸蚀粘结剂在不同剩余牙本质厚度的粘结强度比较[J].牙体牙髓牙周病学杂志.2018
[4].周亚军,关敏.种植体周围环性骨缺损剩余骨壁厚度对种植修复后骨愈合的影响[J].内蒙古医科大学学报.2015
[5].汪峰,马杰,陈哲,钟金钢,余健辉.数字全息成像技术测量侧边抛磨光纤包层剩余厚度[J].应用光学.2015
[6].黄海兵,张长武,孙建飞,王昊宇,张晶.制造工艺对稻壳-木质剩余物复合板2h吸水厚度膨胀率的影响[J].森林工程.2014
[7].张世径,黄雪峰,朱彦鹏,杨校辉,姚志华.大厚度自重湿陷性黄土地基处理深度和剩余湿陷量问题的合理控制[J].岩土力学.2013
[8].万正军,甘芳吉,罗航,宋康,廖俊必.基于电位矩阵法的金属管道腐蚀剩余厚度监测研究[J].四川大学学报(工程科学版).2013
[9].袁剑鸣,唐颖,许卫星.双固化树脂核冠与纤维桩核冠修复不同牙体剩余厚度磨牙残冠的临床对比研究[J].中国美容医学.2012
[10].曾琳,郝文嘉,白传易,鲁玉明,刘志勇.厚度诱导的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜剩余应力及临界电流变化[J].低温物理学报.2012
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