导读:本文包含了微光显微镜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:EMMI,元器件失效分析,缺陷定位
微光显微镜论文文献综述
丁鸷敏,吴照玺,段超[1]（2019）在《微光显微镜(EMMI)在器件失效分析中的应用》一文中研究指出本文对某款模拟开关开展失效分析,在芯片表面无异常的情况下采用微光显微镜(EMMI)对器件内部损伤点进行准确定位,并开展静电模拟试验对失效原因进行了验证。该案例展示了EMMI在半导体芯片内部缺陷无损定位和分析中的作用,为半导体芯片失效分析提供技术手段。(本文来源于《电子显微学报》期刊2019年02期）
谢长文,蒋廷槐,曹学东[2]（1995）在《数字式测微光电显微镜》一文中研究指出数字式测微光电显微镜谢长文，蒋廷槐，曹学东（中国科学院光电技术研究所）０引言随着现代科学技术的发展，用电表指示瞄准状态，调整读数鼓轮使电表指零，再从读数鼓轮上读出偏离量的光电显微镜已不能满足测量的需要，因为它只能瞄准，用测微鼓轮读数的分辨率低，不能与...(本文来源于《仪器仪表学报》期刊1995年04期）
微光显微镜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
数字式测微光电显微镜谢长文，蒋廷槐，曹学东（中国科学院光电技术研究所）０引言随着现代科学技术的发展，用电表指示瞄准状态，调整读数鼓轮使电表指零，再从读数鼓轮上读出偏离量的光电显微镜已不能满足测量的需要，因为它只能瞄准，用测微鼓轮读数的分辨率低，不能与...
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微光显微镜论文参考文献
[1].丁鸷敏,吴照玺,段超.微光显微镜(EMMI)在器件失效分析中的应用[J].电子显微学报.2019
[2].谢长文,蒋廷槐,曹学东.数字式测微光电显微镜[J].仪器仪表学报.1995