本文主要研究内容
作者丁希聪,李孟委,秦世洋（2019）在《隧道磁阻微陀螺结构设计与加工》一文中研究指出：微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测,而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限.本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构,利用隧道磁阻效应的高灵敏特性来实现微弱柯氏力的高灵敏检测.阐述了隧道磁阻微陀螺的工作原理,分析了微陀螺的动力学方程,完成了微陀螺结构设计、工艺加工及测试.测试结果表明:微陀螺驱动方向和检测方向谐振频率分别为6 853Hz和6 854Hz,与理论仿真基本一致;微陀螺驱动方向Q值为571.1,检测方向Q值为527.3,结构灵敏度为15.3nm/°/s.
Abstract
wei ji xie tuo luo de he xin ji shu shi wei ruo ke shi li de jian ce ,er chang gui de wei ruo ke shi li jian ce shui ping yi da dao ji xian .ben wen she ji le yi kuan xin ying de ji yu sui dao ci zu xiao ying jian ce de mian nei wei tuo luo jie gou ,li yong sui dao ci zu xiao ying de gao ling min te xing lai shi xian wei ruo ke shi li de gao ling min jian ce .chan shu le sui dao ci zu wei tuo luo de gong zuo yuan li ,fen xi le wei tuo luo de dong li xue fang cheng ,wan cheng le wei tuo luo jie gou she ji 、gong yi jia gong ji ce shi .ce shi jie guo biao ming :wei tuo luo qu dong fang xiang he jian ce fang xiang xie zhen pin lv fen bie wei 6 853Hzhe 6 854Hz,yu li lun fang zhen ji ben yi zhi ;wei tuo luo qu dong fang xiang Qzhi wei 571.1,jian ce fang xiang Qzhi wei 527.3,jie gou ling min du wei 15.3nm/°/s.
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中北大学学报(自然科学版)的丁希聪,李孟委,秦世洋，发表于刊物中北大学学报(自然科学版)2019年02期论文，是一篇关于隧道磁阻效应论文,柯氏力论文,微陀螺论文,谐振频率论文,结构灵敏度论文,中北大学学报(自然科学版)2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中北大学学报(自然科学版)2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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