本文主要研究内容
作者王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君,李刚（2019）在《采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计》一文中研究指出：感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8 000 Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3 fF·Pa–1。
Abstract
gan ya bao mo de jie gou gai liang neng you xiao gai shan MEMSdian rong bao mo zhen kong gui de ya li -dian rong shu chu te xing 。wei jie jue MEMSdian rong bao mo zhen kong gui kuan liang cheng yu gao ling min du xiang mao dun de wen ti ,she ji yi chong huan xing jie gou de gan ya bao mo ,li yong you xian yuan de fang fa fen xi dui bi 5chong huan xing jie gou de gan ya bao mo zai bu tong ya li xia de bian xing yu ying li fen bu qing kuang 。fen xi ren wei ,tong xin yuan jie gou de gan ya bao mo ju you zui you yi de xing neng ,tong deng gan ce mian ji qing kuang xia zhen kong gui de ya li -dian rong xian xing shu chu ce liang shang xian neng cong yuan pian jie gou de 1.1×103 Payan shen dao tong xin yuan jie gou de 1.2×104 Pa,yuan pian jie gou gan ya bao mo de zhen kong gui zai 1～800 Paou jian nei de ya li -dian rong shu chu fei xian xing du wei 3.9%,ling min du wei 10.1 fF·Pa–1;tong xin yuan jie gou gan ya bao mo de zhen kong gui jie gou zai 1～8 000 Paou jian nei de fei xian xing du wei 3.6%,ling min du wei 1.3 fF·Pa–1。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国测试的王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君,李刚，发表于刊物中国测试2019年01期论文，是一篇关于电容薄膜真空规论文,高灵敏度论文,宽测量范围论文,中国测试2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国测试2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：电容薄膜真空规论文; 高灵敏度论文; 宽测量范围论文; 中国测试2019年01期论文;