本文主要研究内容
作者刘丁枭,李明,盛伟繁（2019）在《光学元件拼接测量中的定位误差校正》一文中研究指出：为了实现大口径反射光学元件表面面形的高精度测量,建立了拼接测量方法,用以得到光学元件表面的面形数据。但拼接测量存在较多误差,其中各局部面形之间的定位误差对拼接误差影响较大,需要通过校正来减少定位误差对拼接误差的影响。首先对被测镜进行局部面形划分,按着一定顺序完成所有局部面形的测量;然后,基于BFGS算法对各子口径面形之间的定位误差进行校正求解,进而得到整体面形数据;最后,使用ZYGO菲索干涉仪搭建了拼接测量设备,对反射镜中120 mm×20 mm的区域进行测量,将直接拼接方法与位移校正拼接方法获得的面形数据与全口径整体测量获得的面形数据进行了对比,位移校正拼接方法测量面形数据与全口径拼接测量面形数据残差小,结果表明该方法可以有效提高拼接测量精度。
Abstract
wei le shi xian da kou jing fan she guang xue yuan jian biao mian mian xing de gao jing du ce liang ,jian li le pin jie ce liang fang fa ,yong yi de dao guang xue yuan jian biao mian de mian xing shu ju 。dan pin jie ce liang cun zai jiao duo wu cha ,ji zhong ge ju bu mian xing zhi jian de ding wei wu cha dui pin jie wu cha ying xiang jiao da ,xu yao tong guo jiao zheng lai jian shao ding wei wu cha dui pin jie wu cha de ying xiang 。shou xian dui bei ce jing jin hang ju bu mian xing hua fen ,an zhao yi ding shun xu wan cheng suo you ju bu mian xing de ce liang ;ran hou ,ji yu BFGSsuan fa dui ge zi kou jing mian xing zhi jian de ding wei wu cha jin hang jiao zheng qiu jie ,jin er de dao zheng ti mian xing shu ju ;zui hou ,shi yong ZYGOfei suo gan she yi da jian le pin jie ce liang she bei ,dui fan she jing zhong 120 mm×20 mmde ou yu jin hang ce liang ,jiang zhi jie pin jie fang fa yu wei yi jiao zheng pin jie fang fa huo de de mian xing shu ju yu quan kou jing zheng ti ce liang huo de de mian xing shu ju jin hang le dui bi ,wei yi jiao zheng pin jie fang fa ce liang mian xing shu ju yu quan kou jing pin jie ce liang mian xing shu ju can cha xiao ,jie guo biao ming gai fang fa ke yi you xiao di gao pin jie ce liang jing du 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自核技术的刘丁枭,李明,盛伟繁，发表于刊物核技术2019年01期论文，是一篇关于大口径光学元件论文,干涉论文,光学测量论文,拼接论文,核技术2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自核技术2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：大口径光学元件论文; 干涉论文; 光学测量论文; 拼接论文; 核技术2019年01期论文;