导读:本文包含了激光等离子体冲击波清洗法论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:激光等离子体冲击波,激光清洗,阴影成像法,避免损伤
激光等离子体冲击波清洗法论文文献综述
程杰[1]（2014）在《利用激光等离子体冲击波清洗硅片表面纳米粒子的研究》一文中研究指出硅片表面附着的纳米粒子污染物可导致芯片缺陷的产生,传统的化学清洗方法存在着易对硅片产生二次污染的不足。近年来发展起来的激光诱导等离子体冲击波清洗技术是一项能够有效地清除基底表面吸附粒子的新技术,该技术以清洗定位准确、可避免传统的化学清洗方法对样品所带来的二次污染以及适用范围广等诸多优点正在被各个领域广泛地使用,这为半导体工业加工中硅基片表面纳米尺度粒子污染物的清洗提供了一种新的途径。本文对激光诱导等离子体冲击波清洗硅片表面直径500nm的聚苯乙烯胶乳粒子进行了系统的研究,首先研究了实验参数(清洗间距、激光能量、作用激光脉冲数等)对清洗效率的影响,结果表明随着清洗间距的减小和激光能量的增加,清洗效果显着增强。随着作用脉冲数的增加,表面清洗图样由环形向圆形发生转变。使用滚动模型数值模拟了清洗间距和激光能量对清洗效果的影响,模拟结果与实验结果较好符合。通过对冲击波不同传播距离的清洗效果的数值模拟结果和不同脉冲数清洗的清洗实验结果(清洗图样由环形向圆形发生转变)的对比分析,确定了在激光等离子体冲击波清洗过程是清洗滚动和弹跳两种机制共同作用完成。在实验过程中发现,通过聚焦光束像差的引入实现了免于硅基底损伤的高效清洗,而且清洗效率接近100%。(本文来源于《长春理工大学》期刊2014-12-01）
张平,卞保民,李振华[2]（2007）在《激光等离子体冲击波清洗中的颗粒弹出移除》一文中研究指出针对激光等离子体冲击波清洗颗粒技术中的滚动移除机制缺陷,提出一种基于颗粒弹性形变的弹出移除模型。从冲击波与颗粒相互作用出发,考虑冲击波波后气体分子与颗粒的碰撞,结合颗粒弹性储能机制,得到弹出所需要的最小弹性形变高度。根据颗粒弹出所需最低速度和冲击波基本关系式得到满足颗粒弹出要求的冲击波马赫数,结合冲击波波后压强分布特点给出了颗粒弹出所需的外部条件。清洗实验证实了颗粒弹出移除机制的正确性。(本文来源于《中国激光》期刊2007年10期）
激光等离子体冲击波清洗法论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对激光等离子体冲击波清洗颗粒技术中的滚动移除机制缺陷,提出一种基于颗粒弹性形变的弹出移除模型。从冲击波与颗粒相互作用出发,考虑冲击波波后气体分子与颗粒的碰撞,结合颗粒弹性储能机制,得到弹出所需要的最小弹性形变高度。根据颗粒弹出所需最低速度和冲击波基本关系式得到满足颗粒弹出要求的冲击波马赫数,结合冲击波波后压强分布特点给出了颗粒弹出所需的外部条件。清洗实验证实了颗粒弹出移除机制的正确性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
激光等离子体冲击波清洗法论文参考文献
[1].程杰.利用激光等离子体冲击波清洗硅片表面纳米粒子的研究[D].长春理工大学.2014
[2].张平,卞保民,李振华.激光等离子体冲击波清洗中的颗粒弹出移除[J].中国激光.2007