导读:本文包含了移相干涉测量论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:波面测量,正弦移相干涉,位相调制
移相干涉测量论文文献综述
刘乾,何建国,岳晓斌[1]（2019）在《任意正弦调制的正弦移相干涉波面测量方法》一文中研究指出针对正弦移相干涉(SinPSI)中位相调制无法精确控制的问题,提出了一种从时域频谱提取波面信息的任意正弦调制SinPSI方法(ASM-SinPSI)。首先,根据SinPSI信号频谱的第一、叁个谱峰强度关系确定调制幅度,并采用空间随机点的方法避免了分母零值的问题,然后从SinPSI信号的前叁个谱峰中获得波面位相的正切数值与符号信息,最后以反正切计算波面位相。数值仿真表明:在未知调制信息情况下,ASM-SinPSI的波面位相提取误差为0.016 rad。在调制幅度为1.6、2、2.5、3 rad时的测量实验中,ASM-SinPSI均可精确提取波面位相,与真实波面偏差的最大值为0.058 7 rad。在1.5～3.5 rad区间内的任意调制幅度下,ASM-SinPSI无需精确预知调制信息即可高精度提取波面位相,放宽了对移相器的严苛要求。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2019年03期）
蒋超,郭仁慧,张辉钦,周翔,郑东晖[2]（2016）在《基于相位延迟片的斐索型同步移相干涉测量技术》一文中研究指出本文针对不同的同步移相方案进行讨论分析,同步移相方案可以分为泰曼型干涉仪结构和斐索型干涉仪结构。泰曼型结构中参考光与测试光非共光路部分较多,易获得一对偏振方向正交的参考光与测试光从而实现偏振移相。而斐索型干涉仪由于其共光路特点,其参考光和测试光不易分离,如何引入偏振移相成为难点。但斐索型干涉仪适用于检测平面元件,因此相应的同步移相方案也受到关注。为了干涉测量平面的(本文来源于《第十六届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2016-09-25）
赵维谦,李文宇,赵齐,邱丽荣,王允[3]（2016）在《被测件随机移相干涉面形测量方法》一文中研究指出针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采集若干幅干涉图;然后利用最小二乘迭代算法处理干涉图数据进而迭代出被测表面相位分布;最后进行一系列数据处理求解出被测件的面形结果。为了验证该方法的可行性,在实验室搭建了改进的斐索移相干涉系统,并选用一个凹面镜和一个平面镜作为被测件在搭建的系统上进行了实验测试,同时与同台仪器上的传统移相方法得到的测量结果进行了比对。结果表明:在激光光源波长λ为632.8nm的情况下,凹球面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式测量结果相差0.001λ,和0.002λ;平面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式的测量结果相差0.002λ和0.003λ,面形数据基本一致。该方法避免了移相器老化引入移相误差,降低了仪器成本,测量精度高。(本文来源于《光学精密工程》期刊2016年09期）
姚兴宇[4]（2016）在《基于移相式激光干涉仪的平晶平面度测量方法分析》一文中研究指出平晶的平面度计量主要应用激光平面干涉仪和移相激光干涉仪,本文通过分析比较了两种方法的优劣。对高精度平晶进行了检测,介绍了基于移项激光干涉仪的测量原理及方法,并进行了不确定度分析,以验证该方法满足平晶检定规程,方法可行。(本文来源于《计测技术》期刊2016年S1期）
刘乾[5]（2015）在《抗振动移相干涉测量算法与实验研究》一文中研究指出移相干涉测量技术具有重复性好和空间分辨率高的优点,是目前波面测量的主要手段。移相干涉测量技术易受外界振动干扰的特点使其难以满足大口径、长焦距大型光学元件测量和大批量、高效率光学加工的需求,甚至成为相关技术发展的瓶颈。为实现振动下的波面测量,本文开展了抗振动干扰的移相干涉测量方法研究。建立了振动下移相干涉测量误差的模型。研究了振动对移相干涉测量的影响机理,分析了误差在移相干涉测量中的传递过程,并仿真计算了振动对测量误差的影响规律。结果表明,外界振动造成的移相误差和干涉条纹对比度波动导致了振动下移相干涉测量的误差。提出了两种抗振动干扰的移相干涉测量算法——频域分析法和叁步迭代法。频域分析法通过分析空间载波干涉图在频域的基带和边带而提取移相和对比度信息；建立了带有对比度补偿的最小二乘解相方程；分析了频域分析法的误差源,认为带宽相关的因素对频域分析法检测精度影响较大,进而建立了载频选取准则；通过边带相关方法解决了复杂波面的测量问题。叁步迭代法将波面位相视为方程未知量,通过迭代求解方程：针对迭代求解中倾斜因子与空间坐标的非线性耦合,根据移相量在正交方向上不相关的特点提出了“正交分解”的解决思路；实现了条纹对比度的计算和补偿；提出了利用间隔采样的方法实现迭代计算的提速。两种算法呈现互补性的特点：频域分析法是一种确定性的方法,抵抗振动的能力强,但因引入空间载波而导致少量的非共路误差；叁步迭代法需要对移相量或波面进行一定的预判,抵抗振动的能力稍弱,不存在非共路误差。通过实验测试了频域分析法和叁步迭代法对外界振动的抗干扰能力。在简谐振动下的测试实验表明,两种算法均能够高精度复原被测面形,在幅频积为60μmHz的简谐振动下,复原面形PV值的误差小于0.01λ,2σ重复性优于0.01λ,能够满足精密和超精密加工中抗振动性能的要求。模拟磁流变抛光机床振动下的测试实验表明,两种算法复原面形的PV值误差小于0.01λ, RMS值误差小于3×10-3λ,可以满足磁流变抛光机床对光学元件在位测量的要求。频域分析法和叁步迭代法对传统移相干涉仪的结构和硬件基本不做改变,有望为光学元件的现场在位测量及其它振动环境下的面形检测提供一种低成本、高精度的解决方案。(本文来源于《中国工程物理研究院》期刊2015-04-01）
刘乾,王洋,吉方,何建国,张连新[6]（2015）在《基于频域分析的抗振移相干涉测量》一文中研究指出针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法。该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相。最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理。数值仿真证明:提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差。在频率为9Hz、幅度为0.5μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性。结果显示:从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误差PV值小于0.015波长。该方法无需硬件改动,有望为移相干涉测量应用于现场测量提供一种低成本的解决方法。(本文来源于《光学精密工程》期刊2015年01期）
袁乔,曾爱军,黄惠杰[7]（2014）在《基于偏振空间移相干涉术的轴锥镜透射波面测量方法》一文中研究指出1.引言轴锥镜是一个焦线沿光轴方向的旋转对称角锥形光学元件,由于它的长焦深以及窄的横向宽度的特性,它被广泛应用于成像光学系统、光学测试、激光束整形等方面,且在光刻照明中利用轴锥镜可以实现环形照明模式,这就需要精确的测量方法来保证轴锥镜的加工精度。本文提出一种利用偏振移相干涉仪检测轴锥镜透射波面的方法,利用金刚石车床加工的金属凹面锥形反射镜补偿检测实现轴锥镜透射波面的测量。此方法操作简单,易于实现对任意锥角的轴锥镜透射波面的检测。2.测量原理本文提出一种利用偏振移相干涉仪检测轴锥镜透射波面的方法。此方法是利用金刚石车床加工的金属凹面锥形反射镜补偿检测实现轴锥镜透射波面的测量,(本文来源于《第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集》期刊2014-10-26）
成晓强[8]（2014）在《干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究》一文中研究指出移相干涉测量中PZT的非线性误差是系统测量误差的主要来源之一。为改善PZT移相器的非线性特性,本文研究了平板式电容传感器在PZT伸长量反馈中的应用,对干涉系统中的移相器进行了反馈测试试验,并提出了非线性校正方案。论文中在对比分析了常见微小位移传感器的发展及应用场景的基础上,选择了平板式电容传感器作为PZT伸长量的反馈方案。综合分析了多个常用微小电容检测电路后,设计了基于AD7746的紧凑型数字式电容传感器采样模块。并通过与基于AD5791的PZT驱动信号模块、放大电源、基于STM32的主控模块相结合,构成了完整的PZT伸长量反馈系统。文中通过与高精度仪器设备的比对试验,对各个模块分别进行了分析标定。实验表明：PZT驱动信号模块具有24.8μV的输出分辨精度、0.25%的输出非线性度；电容传感器具有优于10nm的采样分辨精度、干涉测量应用范围内0.46%的平均非线性度。在系统实验中,还对现有单轴移相器的单程非线性及往返迟滞特性进行了试验分析,并使用了PZT电压校正曲线与传感器实时数据修正相结合的反馈方案。最后利用基于PCA原理的相位提取算法解算出实际干涉条纹的相位变化,通过对比反馈前后的相位变化曲线佐证了该方案的有效性。(本文来源于《南京理工大学》期刊2014-02-01）
李文英[9]（2013）在《基于移相干涉测量原理的光纤结冰探测器》一文中研究指出在飞机上安装冰探测器,可以探测飞机表面积冰,有利于及时处理积冰,保障飞行安全。本文论述了一种应用移相干涉测量法实现冰厚测量的新型光纤结冰探测器的可行性。冰探测器的结构建构在Michelson干涉仪结构之上,采样和调制干涉光的光强,可以获得冰厚信息,从而测量单点和多点冰厚。光纤探头还可以排列成一个探测网络分布在任意形状的结冰面上,通过对多点冰厚信息的获取与综合可以绘制出2-D或者3-D冰的形貌信息。(本文来源于《第六届ABB杯全国自动化系统工程师论文大赛论文集》期刊2013-11-07）
刘勇,刘旭,任寰,姜宏振,杨一[10]（2013）在《基于波长移相的多表面干涉测量原理与误差分析》一文中研究指出为解决移相干涉仪(PSI)测量平板类光学元件面形过程中产生多表面干涉条纹混迭的问题,介绍了基于波长移相的多表面干涉条纹分析方法的基本原理。对叁表面干涉测量进行仿真分析,通过对随时间变化的干涉图进行傅里叶变换,提取相应频谱级次的相位,可求得前后表面面形分布。比较了不同取样帧数及不同干涉光频谱变化范围下的误差最大值与方差的变化。与原始仿真面形比较,在理想情况下,该方法测得面形误差优于10-4λ。采用该方法对一实验元件的三表面干涉图进行分析计算,并与Zygo干涉仪测量值比较,结果表明,元件面形峰谷值(PV)与均方根值(RMS)相对误差均低于1%。(本文来源于《中国激光》期刊2013年10期）
移相干涉测量论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文针对不同的同步移相方案进行讨论分析,同步移相方案可以分为泰曼型干涉仪结构和斐索型干涉仪结构。泰曼型结构中参考光与测试光非共光路部分较多,易获得一对偏振方向正交的参考光与测试光从而实现偏振移相。而斐索型干涉仪由于其共光路特点,其参考光和测试光不易分离,如何引入偏振移相成为难点。但斐索型干涉仪适用于检测平面元件,因此相应的同步移相方案也受到关注。为了干涉测量平面的
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
移相干涉测量论文参考文献
[1].刘乾,何建国,岳晓斌.任意正弦调制的正弦移相干涉波面测量方法[J].红外与激光工程.2019
[2].蒋超,郭仁慧,张辉钦,周翔,郑东晖.基于相位延迟片的斐索型同步移相干涉测量技术[C].第十六届全国光学测试学术交流会摘要集.2016
[3].赵维谦,李文宇,赵齐,邱丽荣,王允.被测件随机移相干涉面形测量方法[J].光学精密工程.2016
[4].姚兴宇.基于移相式激光干涉仪的平晶平面度测量方法分析[J].计测技术.2016
[5].刘乾.抗振动移相干涉测量算法与实验研究[D].中国工程物理研究院.2015
[6].刘乾,王洋,吉方,何建国,张连新.基于频域分析的抗振移相干涉测量[J].光学精密工程.2015
[7].袁乔,曾爱军,黄惠杰.基于偏振空间移相干涉术的轴锥镜透射波面测量方法[C].第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集.2014
[8].成晓强.干涉测量中PZT移相伸长量反馈传感器的设计研究[D].南京理工大学.2014
[9].李文英.基于移相干涉测量原理的光纤结冰探测器[C].第六届ABB杯全国自动化系统工程师论文大赛论文集.2013
[10].刘勇,刘旭,任寰,姜宏振,杨一.基于波长移相的多表面干涉测量原理与误差分析[J].中国激光.2013