级精度论文-陶凤,肖涌刚

级精度论文-陶凤,肖涌刚

导读:本文包含了级精度论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:水立方,精度,比赛场地,转换结构,冰上运动,建筑声学,曲棍球场,预制混凝土板,射箭场,混凝土浇筑

级精度论文文献综述

陶凤,肖涌刚[1](2019)在《毫米级精度+节能黑科技 “水立方”变身“冰立方”》一文中研究指出7月30日上午,随着最后一块预制混凝土板安装完成,作为北京冬奥会冰壶比赛场馆的国家游泳中心冰场可转换结构施工正式完成。“水立方”总经理助理贾宇介绍,接下来将进行保温层、防水层、冰排等的铺设。按照施工计划,预计今年10月完成冰壶比赛场地FOP区体(本文来源于《北京商报》期刊2019-07-31)

李朋志[2](2019)在《压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究》一文中研究指出以集成电路(Integration Circuit,IC)为代表的半导体技术的高速发展推动着社会的进步。随着IC的最小特征尺寸向小于30nm的方向发展,作为IC制造光刻技术中的核心部件,光刻投影物镜的像差对成像质量的影响越来越突出。而压电促动器作为物镜光学元件调节机构的核心驱动器件,可以实时补偿像散、球差与畸变等像差,极大地改善投影物镜的成像质量。因此,本论文采用以下方法对压电促动器的建模和控制进行了深入研究,实现了稳态误差小于20nm和调节时间少于0.15s的微米级位移控制,满足了高NA光刻投影物镜高精度像差补偿的需求。1、分析了电容位移传感器、光栅尺与激光测长干涉仪的工作原理,通过实验测试了各自的位移测量噪声,得出了在纳米级精度闭环控制中这叁种传感器的适用场合。2、研究了迭堆式压电促动器的迟滞特性,建立了模糊迟滞模型,设计了自适应模糊内模控制算法,分析了算法的稳定性,进行了正弦轨迹跟踪的高精度闭环控制实验。此外,设计了迭堆式压电促动器驱动的移相器系统,借助于外部高精度激光测长干涉仪的位移测量校正,使用半闭环控制方法,实现了3nm的重复定位精度。3、分析了准静态情况下行走式压电促动器位移与电压的关系,对比验证了不同驱动波形下的运动特性,建立了行走式压电促动器系统的动态线性模型,基于频率响应实验数据进行了系统辨识。设计了路径规划、速度前馈、PID反馈和重复学习控制算法,对行走式压电促动器系统进行了定位和轨迹跟踪的高精度闭环控制实验。4、分析了压电促动器在光刻物镜中的应用场景,针对其中的像差补偿轴向调节机构与六自由度调节机构的纳米级精度位移调节控制应用,研究了行程、位移分辨率、调节时间、稳态误差以及闭环控制调节时光学元件面形的变化。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2019-06-01)

邓华荣,吴志波,龙明亮,张海峰,张忠萍[3](2018)在《厘米级精度空间碎片激光测距技术研究》一文中研究指出随着空间科学技术的进步,人类进入太空活动不断增多,产生了大量的空间碎片,对在轨航天器等的正常工作产生了严重的威胁~([1-3])。为减少空间碎片对人类航天活动的影响,对空间碎片的监测提出了高精度测量需求,并得到越来越多政府与科研人员的高度重视。激光测距技术对空间碎片的测定轨具有最高精度且有进一步提升的潜力,(本文来源于《数学力学物理学高新技术交叉研究进展 ——中国交叉科学学会第十七届学术年会论文集》期刊2018-08-05)

李军[4](2018)在《1级精度直齿标准齿轮螺旋线测试技术与装置研究》一文中研究指出超精密渐开线齿轮广泛应用于航空航天、精密机械、工业机器人、新能源汽车、国防等领域。齿轮制造质量的提高取决于诸多方面,其中齿轮测试技术与仪器的精度是一个重要的因素。齿轮国家标准GB/T 10095.1-2008中规定的四项必检项目为单个齿距偏差、齿距累积总偏差、齿廓总偏差和螺旋线总偏差,对于1级精度标准齿轮而言,前叁项测试技术已突破。目前,关于1级精度标准齿轮螺旋线的测试技术尚属国内空白。本文基于解决1级精度标准齿轮螺旋线偏差的测量技术难题,分析了各误差源对齿轮螺旋线偏差测试精度的影响,研制了满足测量1级精度标准齿轮螺旋线测量要求的高精度装置,重点研究了1级精度标准齿轮螺旋线的测量技术。本文基于齿轮安装误差对齿轮螺旋线偏差影响的数学模型,提出了一种新型的齿轮高精度定位方法,研制出调整精度能够达到0.1?m的高精度定位装置,用于直齿标准齿轮螺旋线的测量。提出并研制了一种直线度误差小于0.02?m的高精度测头装置和高灵敏度的微位移传递杠杆。通过分析仪器测量螺旋线各项偏差的测量不确定度,得到螺旋线总偏差的测量不确定度为0.23?m,螺旋线倾斜偏差测量不确定度为0.20?m,螺旋线形状偏差的测量不确定度为0.18?m,分别比德国联邦物理技术研究院(PTB)的测量不确定度减小84%、80%和82%。可见,实验室研制的高精度标准齿轮螺旋线测量装置具有更高的测量精度。通过与PTB螺旋线偏差测量结果的量值比对,在测量区间增大6%的前提下,高精度标准齿轮螺旋线测量装置测量螺旋线总偏差、螺旋线倾斜偏差和螺旋线形状偏差的值均小于PTB的测试结果。研究表明,本文提出的标准齿轮螺旋线偏差的测量方法与测试装置,测量精度可达亚微米量级,满足1级及以上精度标准齿轮螺旋线的测量要求。1级精度标准齿轮螺旋线测试装置的成功研制,对于完善具有国际领先技术水平的1级精度标准齿轮的精密测试技术有重要的科学意义和研究价值。(本文来源于《大连理工大学》期刊2018-04-26)

龚心弦,丁亚茜,王玉宝,车浩召[5](2017)在《毫米级精度光纤长度测试仪的研制》一文中研究指出为了解决在光学器件研发生产过程中对光纤长度精确测定的难题,成功自主研制了一种生产线量产模式用毫米级精度光纤长度测试仪。该测试仪根据白光的时间相干性原理,采用通用的器件,利用光纤时延和长度之间的对应关系,实现了两根光纤长度差的精确测量。采用光纤截断法对该测试仪进行了测试精度验证,验证结果显示该测试仪对光纤长度的测量精度达到毫米级。该测试仪的测试方式为单端测量,使用方式简便,操作界面简洁明了,能较好地满足科研、生产、系统调试等需要。(本文来源于《光纤与电缆及其应用技术》期刊2017年05期)

董婉娇,李蓓智,杨建国[6](2017)在《纳米级精度的竖直液体静压滑台设计》一文中研究指出为了满足航天关键件的加工精度要求,需要设计并制造满足设计要求的纳米级精度的竖直液体静压滑台。本文针对滑台结构、关键部件及公差设计方法展开了研究。首先,根据高精度竖直滑台的设计要求,采用不等流量的滑块结构及控制方法整体设计滑台结构。设计时,将所有液压油管路均设置在滑块中,以减小油压损耗,且使得滑台结构紧凑。接着,为使圆孔加工时圆度误差不受导轨刚度的影响,采用等导轨刚度的设计方法,同时给出了该方法下油膜厚度、刚度、压力的计算方法。文中还证明了上下油腔不等承载面积法能够降低竖直滑台由于倾覆力矩产生的倾角误差,提高导轨运动精度。在此基础上,提出了基于不等流量结构的几何精度设计方法,计算并证明了不等流量的结构和控制方法可以降低导轨和滑块极高的制造等级要求和制造成本。最后,根据上述设计方法设计并制造了数控纳米曲面磨床竖直滑台,并测试了该磨床竖直Z滑台的运动精度。结果显示采用不等流量结构的滑台制造公差要求由IT1降低到IT3。Z滑台精度测试结果为:定位误差为±80nm,重复定位误差为48nm。(本文来源于《光学精密工程》期刊2017年08期)

陈国斌,赵亚京,黄方考[7](2017)在《乐清湾大桥项目:打造品质工程“浙江范本”》一文中研究指出仲夏时节,草木葱茏,浙东南沿海乐清湾畔,风潮涌动,生机勃发。建设中的乐清湾大桥桥面上,一派热火朝天的施工场景,上百名工人、几十台机械往来穿梭。6月30日,随着乐清湾2号桥主塔最后一榀钢箱梁吊装到位,乐清湾跨海大桥全桥单幅贯通。放眼望去,乐清湾大(本文来源于《台州日报》期刊2017-07-01)

[8](2017)在《我国研制出1级精度标准齿轮》一文中研究指出大连理工大学王立鼎院士团队成功研制出1级精度基准标准齿轮,齿轮精度指标达到国际领先。该项技术具有全部自主知识产权,填补了国内外1级精度齿轮制造工艺与测量方法的空白。超精密加工与测试技术是一个国家制造工业水平的重要标志之一,也是先进装备制造技术的基础和关(本文来源于《机械》期刊2017年06期)

[9](2017)在《我国填补1级精度标准齿轮空白》一文中研究指出日前从大连理工大学获悉,该校王立鼎院士团队成功研制1级精度基准级标准齿轮,这项具有完全自主知识产权的技术,填补了国内1级精度齿轮制造工艺与测量方法的空白。中国计量测试学会、机械工业联合会与中国机械工程学会近日分别组织国内权威专家做出的成果鉴定结果显示,王(本文来源于《工具技术》期刊2017年06期)

[10](2017)在《我国有了1级精度标准齿轮》一文中研究指出在工业生产、航空航天、军用装备等多个重要领域,精密齿轮加工技术发挥着关键作用,齿轮精度直接影响机械工程装备整体精度。近日从大连理工大学获悉,该校王立鼎院士团队成功研制1级精度基准级标准齿轮,这项具有完全自主知识产权的技术,填补了国内1级精度齿轮制造工艺与测量方法的空白。据了解,齿轮精度分为12个等级,2级精度以上为基准标准齿轮,主要作为国家(本文来源于《创新时代》期刊2017年06期)

级精度论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

以集成电路(Integration Circuit,IC)为代表的半导体技术的高速发展推动着社会的进步。随着IC的最小特征尺寸向小于30nm的方向发展,作为IC制造光刻技术中的核心部件,光刻投影物镜的像差对成像质量的影响越来越突出。而压电促动器作为物镜光学元件调节机构的核心驱动器件,可以实时补偿像散、球差与畸变等像差,极大地改善投影物镜的成像质量。因此,本论文采用以下方法对压电促动器的建模和控制进行了深入研究,实现了稳态误差小于20nm和调节时间少于0.15s的微米级位移控制,满足了高NA光刻投影物镜高精度像差补偿的需求。1、分析了电容位移传感器、光栅尺与激光测长干涉仪的工作原理,通过实验测试了各自的位移测量噪声,得出了在纳米级精度闭环控制中这叁种传感器的适用场合。2、研究了迭堆式压电促动器的迟滞特性,建立了模糊迟滞模型,设计了自适应模糊内模控制算法,分析了算法的稳定性,进行了正弦轨迹跟踪的高精度闭环控制实验。此外,设计了迭堆式压电促动器驱动的移相器系统,借助于外部高精度激光测长干涉仪的位移测量校正,使用半闭环控制方法,实现了3nm的重复定位精度。3、分析了准静态情况下行走式压电促动器位移与电压的关系,对比验证了不同驱动波形下的运动特性,建立了行走式压电促动器系统的动态线性模型,基于频率响应实验数据进行了系统辨识。设计了路径规划、速度前馈、PID反馈和重复学习控制算法,对行走式压电促动器系统进行了定位和轨迹跟踪的高精度闭环控制实验。4、分析了压电促动器在光刻物镜中的应用场景,针对其中的像差补偿轴向调节机构与六自由度调节机构的纳米级精度位移调节控制应用,研究了行程、位移分辨率、调节时间、稳态误差以及闭环控制调节时光学元件面形的变化。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

级精度论文参考文献

[1].陶凤,肖涌刚.毫米级精度+节能黑科技“水立方”变身“冰立方”[N].北京商报.2019

[2].李朋志.压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所).2019

[3].邓华荣,吴志波,龙明亮,张海峰,张忠萍.厘米级精度空间碎片激光测距技术研究[C].数学力学物理学高新技术交叉研究进展——中国交叉科学学会第十七届学术年会论文集.2018

[4].李军.1级精度直齿标准齿轮螺旋线测试技术与装置研究[D].大连理工大学.2018

[5].龚心弦,丁亚茜,王玉宝,车浩召.毫米级精度光纤长度测试仪的研制[J].光纤与电缆及其应用技术.2017

[6].董婉娇,李蓓智,杨建国.纳米级精度的竖直液体静压滑台设计[J].光学精密工程.2017

[7].陈国斌,赵亚京,黄方考.乐清湾大桥项目:打造品质工程“浙江范本”[N].台州日报.2017

[8]..我国研制出1级精度标准齿轮[J].机械.2017

[9]..我国填补1级精度标准齿轮空白[J].工具技术.2017

[10]..我国有了1级精度标准齿轮[J].创新时代.2017

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