本文主要研究内容
作者赵智亮,刘敏,陈立华,赵子嘉,陈辉（2019）在《Φ200mm口径长焦距球面干涉测试及装备》一文中研究指出：为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型Φ200 mm口径长焦距准直干涉测试装置。该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距准直测试原理对凹球面大曲率半径光学元件进行面形精度检测,最大测试口径为Φ226.67 mm,且球面标准镜和球面标准反射镜同轴共球心,大幅度减小了测试空腔距离。结果表明,该系统空腔测试精度PV值为0. 097λ@632. 8 nm,RMS值为0. 013λ@632. 8 nm,系统重复稳定性优于λ/500@632. 8 nm,可实现曲率半径为7 500～8 500 mm测试,且大曲率半径测试误差小于1/1 000。
Abstract
wei shi xian dui da che cun guang xue cai liao ji ji tong yuan jian de gao jing du dui zhun ce shi ,she ji le yi chong xin xing Φ200 mmkou jing chang jiao ju zhun zhi gan she ce shi zhuang zhi 。gai zhuang zhi yi qiu mian biao zhun jing zuo wei can kao jing ,jie ge fei suo xing tou she shi gan she ji zhi he chang jiao ju zhun zhi ce shi yuan li dui ao qiu mian da qu lv ban jing guang xue yuan jian jin hang mian xing jing du jian ce ,zui da ce shi kou jing wei Φ226.67 mm,ju qiu mian biao zhun jing he qiu mian biao zhun fan she jing tong zhou gong qiu xin ,da fu du jian xiao le ce shi kong qiang ju li 。jie guo biao ming ,gai ji tong kong qiang ce shi jing du PVzhi wei 0. 097λ@632. 8 nm,RMSzhi wei 0. 013λ@632. 8 nm,ji tong chong fu wen ding xing you yu λ/500@632. 8 nm,ke shi xian qu lv ban jing wei 7 500～8 500 mmce shi ,ju da qu lv ban jing ce shi wu cha xiao yu 1/1 000。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国光学的赵智亮,刘敏,陈立华,赵子嘉,陈辉，发表于刊物中国光学2019年04期论文，是一篇关于长焦距准直测试系统论文,球面干涉仪论文,大曲率半径论文,中国光学2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国光学2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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