敬瑀:化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验论文

敬瑀:化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验论文

本文主要研究内容

作者敬瑀,龚伟,朱黎明,王恩泽(2019)在《化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验》一文中研究指出:设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。

Abstract

she ji le Co-Rehua xue qi xiang chen ji she bei 。gai she bei cai yong liang ge sheng hua shi ,fen bie yi Co(acac)2he Re2(CO)10wei qian qu ti ,tong guo yun zai qi ti H2shu yun zhi fan ying shi ,zai su she wu qi shen guan gang ji ti shang (0CrNi2MoVAxing gang cai )tong shi chen ji Coyuan zi he Reyuan zi ,sheng cheng Co-Rege jin kang shao shi tu ceng 。wen zhang jie shao le she bei de yuan li he gou cheng yi ji she bei kong zhi ji tong de she ji fang an ,bing zhao chong jie shao le li yong dao er du fen ya ding lv she ji ji suan she bei de sheng hua shi 、fan ying shi che cun 。jing guo chu bu de ce shi biao ming :gai she bei neng gou wei Co-Retu ceng de zhi bei di gong ge kuo de wen du yu qi ya ,bing ju jie gou jian chan 、zhi zao cheng ben di ,ke yong yu Co-Rege jin tu ceng de zhi bei yu yan jiu 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自机械设计与研究的敬瑀,龚伟,朱黎明,王恩泽,发表于刊物机械设计与研究2019年03期论文,是一篇关于化学气相沉积论文,合金涂层论文,道尔顿分压定律论文,设备设计论文,机械设计与研究2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自机械设计与研究2019年03期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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