导读:本文包含了静电型微继电器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微机电系统,静电型微继电器,阈值电压,梯形梳齿结构
静电型微继电器论文文献综述
李洋[1]（2009）在《基于MEMS技术的低阈值电压静电型微继电器的设计与研究》一文中研究指出静电型微继电器的阈值电压是衡量其性能的一个重要指标,是静电型微继电器实用化的关键。迄今为止,还没有其阈值电压能与普通的电子电路工作电压(5V)相兼容的静电型微继电器的报道。静电型微继电器从驱动方式上分为横向驱动和纵向驱动,目前对纵向驱动方式研究的比较多,而对横向驱动方式研究的相对较少。本文在阐述了当前国内外典型的静电型微继电器结构及其性能参数的基础上,提出了一种基于MEMS技术的表面工艺加工的梳齿结构横向驱动静电型微继电器,文中给出了该微继电器的理论模型,利用Coventor软件进行了模拟仿真,并在此基础上优化了梳齿结构的几何形状和尺寸。理论和模拟分析表明,其工作电压能与普通的电子电路工作电压相兼容,因而此结构具有较大的实用价值和应用前景。本文主要基于以下科研项目编写:安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目“CMOS兼容的低阈值电压静电型微继电器研究”(项目编号:2006KJ026A)。论文的主要工作和取得的成果如下:1.从电容的基本物理模型出发,对梳齿单元进行结构细化,得到了梳齿单元的叁维电容分布模型。提出每个梳齿单元中都包含叁种电容:侧面平板电容,侧面边缘电容和梳齿顶部与对应梳齿根部形成的平板电容。为这叁种电容分别建立了解析模型,由此得到了考虑电容边缘效应的阈值电压解析模型。2.提出了多级梳齿驱动结构,以实现低阈值电压的静电型微继电器。这样的设计可以在不修改工艺流程的情况下,以修改器件结构层版图的方式提高器件的整体性能。使所设计的静电型微继电器的阈值电压降低到5V。同时,避免了单级梳齿驱动结构中可能出现的弹簧梁扭转现象。3.提出了梯形梳齿驱动结构以替代传统的矩形梳齿驱动结构。在相同的芯片面积下,这样的驱动单元可以提供更大的静电驱动力。4.使用ANSYS,Coventor软件对器件结构进行力电耦合分析、优化了结构参数。使用Coventor软件对梳齿单元进行了模拟分析,优化了梳齿的形状和几何尺寸;对器件的整体结构做了仿真分析;进行工艺流程的3D模拟仿真。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2009-02-01）
许高斌,李洋,何晓雄,矫妹[2]（2007）在《静电型微继电器的设计与研究》一文中研究指出静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电型继电器触点的材料选取及其性能进行比较分析。分析了静电型继电器实用化存在的主要技术难题和进一步研究可能的方向。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2007年05期）
李洋,许高斌[3]（2007）在《一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器》一文中研究指出介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,可以使接触电阻降到100mΩ以下,增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容,因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2007年Z1期）
李洋,许高斌[4]（2007）在《一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器》一文中研究指出介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作 Au 接触电极,可以使接触电阻降到100mΩ以下,增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容,因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。(本文来源于《第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集》期刊2007-08-01）
静电型微继电器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电型继电器触点的材料选取及其性能进行比较分析。分析了静电型继电器实用化存在的主要技术难题和进一步研究可能的方向。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
静电型微继电器论文参考文献
[1].李洋.基于MEMS技术的低阈值电压静电型微继电器的设计与研究[D].合肥工业大学.2009
[2].许高斌,李洋,何晓雄,矫妹.静电型微继电器的设计与研究[J].真空科学与技术学报.2007
[3].李洋,许高斌.一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[J].微纳电子技术.2007
[4].李洋,许高斌.一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[C].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007