导读:本文包含了软模具论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:大面积纳米压印,复合软模具,变形,纳米制造
软模具论文文献综述
李延强,兰红波,许权,梁森,刘红忠[1]（2018）在《纳米压印复合软模具建模研究》一文中研究指出基于复合软模具纳米压印是一种高效、低成本和批量化制造大面积微纳米结构的新方法,已经被看作是最具有工业化应用前景的微纳制造技术。大尺寸复合软模具的设计和制造是当前大面积纳米压印所面临的一项挑战性难题,也是影响和制约晶圆级微纳米压印广泛工业化应用的技术瓶颈。开展了大面积纳米压印复合软模具理论分析、数值模拟和试验验证的系统研究。基于薄板弯曲理论,建立复合软模具变形理论模型。利用ABAQUS模拟软件,揭示了模具几何特征、材料属性以及压印工艺要素对于复合软模具变形的影响及其规律。提出纳米压印复合软模具设计的基本准则。该研究为大面积纳米压印复合软模具设计、优化和制造奠定了重要理论基础,并为大面积纳米压印装备开发和工艺优化提供方向性指导。(本文来源于《机械工程学报》期刊2018年19期）
兰红波,郭良乐,许权,钱垒[2]（2018）在《大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造》一文中研究指出为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律;提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法,并完成了10.16cm(4inch)满片双层复合软模具复制的实验验证。研究结果为大尺寸复合软模具制造奠定了理论基础,并提供了一种低成本高质量制造大尺寸晶圆级双层复合软模具切实可行的方法。(本文来源于《光学精密工程》期刊2018年04期）
李延强[3]（2016）在《整片晶圆纳米压印揭开式脱模及复合软模具研究》一文中研究指出微纳电子技术、高性能玻璃、高性能显示器件、生物检测等领域对大面积微纳特征结构图形化有着广泛的市场需求,但是现有的微纳制造技术难以高效、低成本、批量化实现大面积微纳特征结构图形化。虽然纳米压印光刻技术已被认为是当前最具工业化应用前景的微纳米制造技术之一,但是大面积纳米压印受力不均、模具与非平整衬底共形接触能力差、大面积纳米压印脱模困难、模具与压印材料接触区域气泡缺陷等难题严重制约着纳米压印广泛工业化应用。因此,针对大面积纳米压印光刻技术现有问题开展研究、提出新的压印方法,以实现在大面积、非平整衬底表面高质量、低成本的批量化制造微纳米特征结构,对于微纳技术的发展有着重要意义。针对大面积纳米压印目前所面临的诸多难题,课题组基于整片晶圆纳米压印光刻工艺,利用复合软模具进行大面积非平整衬底纳米结构图形化;并自主研发8英寸整片晶圆纳米压印光刻机(NIL-200)。针对该压印方法,本文从揭开式脱模机理和规律、大面积共形接触纳米压印复合软模具、整片晶圆纳米压印设备参数优化以及压印实验等四个方面开展研究。脱模是压印工艺的关键步骤,对于压印图形的面积、质量、缺陷控制以及模具使用寿命有着重要的影响;揭开式脱模已经被证实是实现大面积纳米压印最为有效的一种脱模方法。基于接触固体界面粘附能理论,建立了气体辅助揭开式脱模力预估模型;基于应变能法和脱模过程中能量守恒定律,建立了气体辅助式脱模临界脱模速度理论模型。利用ABAQUS工程数值模拟软件,揭示了纳米压印工艺参数(脱模力、脱模角度、脱模速度)对揭开式脱模的影响和规律。基于复合软模具大面积纳米压印是一种高效、低成本和批量化制造大面积微纳米结构的新方法,已经被看作是最具有工业化应用前景的微纳制造技术。针对复合软模具与非平整衬底共形接触压印,基于薄板弯曲理论,建立了复合软模具变形理论模型。利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了模具几何特征、材料属性以及压印工艺要素对于复合软模具变形的影响及其规律。提出了大面积纳米压印复合软模具设计准则。在光刻机NIL-200的压印过程中,复合软模具的弯曲变形决定着密闭气腔室中模具与衬底的初始距离以及工作台的上升高度,进而对压印设备关键参数的设置、压印图形的质量以及图形化面积有着重要的影响。基于复合软模具在密闭气腔室中的变形规律,利用ABAQUS工程模拟软件,确定出复合软模具与衬底的初始距离。基于复合软模具与非平整衬底的共形接触压印,优化出衬底与模具合适的接触面。基于复合软模具与非平整衬底共形接触压印,通过压印实验验证大面积纳米压印复合软模具研究以及压印设备参数优化的研究结果;分别采用特征结构为微米级别和纳米级别的母模板进行实验,均得到了高质量的压印图形。(本文来源于《青岛理工大学》期刊2016-12-01）
兰红波,丁玉成,刘红忠,阙艳荣,陶巍巍[4]（2009）在《常温纳米压印软模具变形机理研究》一文中研究指出通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移.(本文来源于《中国科学(E辑:技术科学)》期刊2009年01期）
蔡家品,贾美玲[5]（2005）在《软模具在钻头制造中的应用》一文中研究指出在无压浸渍法制造钻头过程中,利用软模具技术制造结构及唇面形状复杂的钻头,不仅可行,而且显着提高工作效率,明显降低钻头成本。(本文来源于《探矿工程(岩土钻掘工程)》期刊2005年S1期）
蔡家品,贾关玲[6]（2005）在《软模具在钻头制造中的应用》一文中研究指出在无压浸渍法制造钻头过程中,利用软模具技术制造结构及唇面形状复杂的钻头,不仅可行,而且显着提高工作效率,明显降低钻头成本。(本文来源于《第十叁届全国探矿工程（岩土钻掘工程）学术研讨会论文专辑》期刊2005-09-01）
杨慕升,赵庆志,张宇[7]（1997）在《基于图形自动编程的软模具柔性落料技术》一文中研究指出论述了用软模具代替硬模具的柔性落料技术，较好地解决了新产品试制、单件生产及多品种生产条件下不同材料的板材下料及落料问题。此项技术是与青岛中发激光技术有限公司联合研制的，为山东省教委资助项目。(本文来源于《新技术新工艺》期刊1997年06期）
杨慕升,张宇,赵庆志[8]（1997）在《激光切割软模具柔性落料技术的研究》一文中研究指出论述了用软模具代替硬模具的柔性落料技术,较好地解决了新产品试制、单件小批生产及多品种生产条件下,不同材料的板材的下料及落料问题。(本文来源于《第八届全国电加工学术年会论文集》期刊1997-08-01）
鲍志素[9]（1997）在《万能软模具制作技术》一文中研究指出万能软模具又称为工艺模具。其性能优良、制作容易、若推广应用可为许多行业解决生产工艺方面的难题。1万能软模具的应用范围（1）工艺美术品业：万能软模具可广泛应用于聚合物类工艺美术品的生产中。例如生产各种仿金、仿铜、仿玉雕、仿象牙、仿路田等工艺品和文物复制品。(本文来源于《企业技术开发》期刊1997年07期）
范凯,刘龙,熊树柏,裘明国,王洪礼[10]（1996）在《计算机辅助制造系统的研究──用软模具代替硬模具的柔性落料系统》一文中研究指出本文试图通过软模具配合有效的切割设备形成一套柔性落料系统。(本文来源于《机电工程》期刊1996年03期）
软模具论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题,对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析、数值模拟和制造方法的系统研究。提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型;利用ABAQUS工程模拟软件,揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律;提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法,并完成了10.16cm(4inch)满片双层复合软模具复制的实验验证。研究结果为大尺寸复合软模具制造奠定了理论基础,并提供了一种低成本高质量制造大尺寸晶圆级双层复合软模具切实可行的方法。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
软模具论文参考文献
[1].李延强,兰红波,许权,梁森,刘红忠.纳米压印复合软模具建模研究[J].机械工程学报.2018
[2].兰红波,郭良乐,许权,钱垒.大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造[J].光学精密工程.2018
[3].李延强.整片晶圆纳米压印揭开式脱模及复合软模具研究[D].青岛理工大学.2016
[4].兰红波,丁玉成,刘红忠,阙艳荣,陶巍巍.常温纳米压印软模具变形机理研究[J].中国科学(E辑:技术科学).2009
[5].蔡家品,贾美玲.软模具在钻头制造中的应用[J].探矿工程(岩土钻掘工程).2005
[6].蔡家品,贾关玲.软模具在钻头制造中的应用[C].第十叁届全国探矿工程（岩土钻掘工程）学术研讨会论文专辑.2005
[7].杨慕升,赵庆志,张宇.基于图形自动编程的软模具柔性落料技术[J].新技术新工艺.1997
[8].杨慕升,张宇,赵庆志.激光切割软模具柔性落料技术的研究[C].第八届全国电加工学术年会论文集.1997
[9].鲍志素.万能软模具制作技术[J].企业技术开发.1997
[10].范凯,刘龙,熊树柏,裘明国,王洪礼.计算机辅助制造系统的研究──用软模具代替硬模具的柔性落料系统[J].机电工程.1996