导读:本文包含了大面积外延膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:YBCO,外延膜,MOCVD,YBa_2Cu_3O
大面积外延膜论文文献综述
李国兴[1]（2008）在《以光辅助MOCVD法制备大面积YBa_2Cu_3O_（7-x）高质量高温超导外延膜的初步研究》一文中研究指出针对微波滤波器等微波无源器件对高温超导薄膜的需求,本论文使用光辅助MOCVD法,围绕大面积YBCO外延膜的制备进行了一系列的初步研究工作。本论文设计了不锈钢反应室的光辅助MOCVD系统,解决了系统中影响薄膜制备重复性的多个问题。其中包括铜和钇固态金属有机源在源炉盖上易凝结导致的称量不准确的问题;多个卤钨灯之间相互炙烤造成的卤钨灯使用寿命短的问题;由于腔体过高造成的转轴摆动和大量固态有机源在腔体下部沉积的问题。此外,独立进行了多个卤钨灯产生的光辐射照度的理论计算和计算机模拟。使用此光辅助MOCVD系统,进行了大量YBCO薄膜的制备实验,对制备高质量c轴向YBCO外延膜的系统参数进行了优化。讨论了MOCVD法制备YBCO外延膜的生长机理,并基于此解释了a轴向和c轴向YBCO外延膜的典型形貌。成功制备了各方面指标比较均匀的直径1”YBCO外延薄膜(约600 nm),厚度差异在10%以内,具有优异的超导性能(J_c＞2 MA/cm~2(0T,77K))和微波传导性能(R_s＜0.4mΩ(10GHz,77K))。成功制备了直径2"的高质量YBCO外延薄膜,具有优越的超导能(J_c＞1 MA/cm~2(0T,77K))和良好的微波传导性能(R-s≈0.5 mΩ(10GHz,77K))。(本文来源于《吉林大学》期刊2008-10-01）
贾万琼[2]（1993）在《高亮度655nmAlGaAs DH红色LED大面积外延技术》一文中研究指出据《Journal of Gxystal Growth》1993,128(1～4)报道:台湾新竹朱松工业技术研究学院材料实验室研制出一种新型石墨舟,这种石墨舟设计为叁层,可在2片直径为40mm衬底上用液相外延(LPE)进行多层AlGaAs/GaAs双异质结生长。(本文来源于《半导体光电》期刊1993年04期）
大面积外延膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
据《Journal of Gxystal Growth》1993,128(1～4)报道:台湾新竹朱松工业技术研究学院材料实验室研制出一种新型石墨舟,这种石墨舟设计为叁层,可在2片直径为40mm衬底上用液相外延(LPE)进行多层AlGaAs/GaAs双异质结生长。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
大面积外延膜论文参考文献
[1].李国兴.以光辅助MOCVD法制备大面积YBa_2Cu_3O_（7-x）高质量高温超导外延膜的初步研究[D].吉林大学.2008
[2].贾万琼.高亮度655nmAlGaAsDH红色LED大面积外延技术[J].半导体光电.1993
标签：YBCO; 外延膜; MOCVD; YBa_2Cu_3O;