黄聪:基于总散射测量的表面质量检测新方法论文

黄聪:基于总散射测量的表面质量检测新方法论文

本文主要研究内容

作者黄聪,张科鹏,王翔,孙年春,张彬,陈坚,赵建华(2019)在《基于总散射测量的表面质量检测新方法》一文中研究指出:光学元件在加工及使用过程中引入的麻点或擦痕会严重影响其表面质量。基于Peterson疵病散射理论,将麻点或擦痕引起的散射光分为两部分,即对麻点(或擦痕)内部表面的散射光作漫反射分析,对麻点或擦痕外围轮廓引起的散射光作衍射分析。进一步考虑麻点和擦痕的挡光效应,以及麻点衍射消失的边界条件,通过将疵病散射理论与国家标准GB/T 1185—2006相结合,推导出麻点、擦痕的双向反射分布函数的解析表达式,进而分析了不同疵病级数下的角分辨散射和总散射。研究结果表明:表面疵病的总散射与疵病面积近似成线性正比,进而据此提出了一种基于总散射测量的表面质量检测新方法,并分析了光学元件表面疵病的阈值。

Abstract

guang xue yuan jian zai jia gong ji shi yong guo cheng zhong yin ru de ma dian huo ca hen hui yan chong ying xiang ji biao mian zhi liang 。ji yu Petersonci bing san she li lun ,jiang ma dian huo ca hen yin qi de san she guang fen wei liang bu fen ,ji dui ma dian (huo ca hen )nei bu biao mian de san she guang zuo man fan she fen xi ,dui ma dian huo ca hen wai wei lun kuo yin qi de san she guang zuo yan she fen xi 。jin yi bu kao lv ma dian he ca hen de dang guang xiao ying ,yi ji ma dian yan she xiao shi de bian jie tiao jian ,tong guo jiang ci bing san she li lun yu guo jia biao zhun GB/T 1185—2006xiang jie ge ,tui dao chu ma dian 、ca hen de shuang xiang fan she fen bu han shu de jie xi biao da shi ,jin er fen xi le bu tong ci bing ji shu xia de jiao fen bian san she he zong san she 。yan jiu jie guo biao ming :biao mian ci bing de zong san she yu ci bing mian ji jin shi cheng xian xing zheng bi ,jin er ju ci di chu le yi chong ji yu zong san she ce liang de biao mian zhi liang jian ce xin fang fa ,bing fen xi le guang xue yuan jian biao mian ci bing de yu zhi 。

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自光学学报的黄聪,张科鹏,王翔,孙年春,张彬,陈坚,赵建华,发表于刊物光学学报2019年07期论文,是一篇关于散射论文,疵病检测论文,表面疵病论文,散射光论文,疵病阈值论文,光学学报2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自光学学报2019年07期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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