导读:本文包含了蓝宝石晶圆论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:固结磨料,乙二醇,蓝宝石,表面变质层
蓝宝石晶圆论文文献综述
王建彬,朱永伟,居志兰,徐俊,左敦稳[1]（2014）在《乙二醇对固结磨料研磨蓝宝石晶圆的影响》一文中研究指出研磨液中的化学添加剂对于蓝宝石晶圆的高效超光滑表面加工至关重要.文中开展了固结磨料研磨蓝宝石晶圆的实验研究,探索了不同乙二醇含量的研磨液对材料去除速率和表面形貌的影响规律,采用微/纳米压痕技术和光电子能谱剖析了工件表层的物理化学性能.结果表明:当研磨液中含有5%的乙二醇时,工件表面变质层深度约为3.90 nm,远优于去离子水研磨液的工件变质层深度(1.04 nm);乙二醇含量的提高促进了表面变质层的生成,有利于蓝宝石工件研磨效率的提高和表面质量的改善.(本文来源于《华南理工大学学报(自然科学版)》期刊2014年11期）
黄欢,杨立军,王懋露,王扬[2]（2009）在《紫外激光划切蓝宝石晶圆的试验研究》一文中研究指出用355 mm紫外激光进行了蓝宝石晶圆的划切试验,通过改变激光的脉冲重复频率、入射能量密度和扫描速度,得到了多组微槽。对微槽的划切质量、深度和宽度进行检测和分析。结果表明,紫外激光划切蓝宝石晶圆能获得良好的微槽结构;不同的入射激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度对微槽的深度和宽度有不同的影响;晶圆表面粗糙度对微槽的划切质量影响很大。(本文来源于《电加工与模具》期刊2009年05期）
蓝宝石晶圆论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
用355 mm紫外激光进行了蓝宝石晶圆的划切试验,通过改变激光的脉冲重复频率、入射能量密度和扫描速度,得到了多组微槽。对微槽的划切质量、深度和宽度进行检测和分析。结果表明,紫外激光划切蓝宝石晶圆能获得良好的微槽结构;不同的入射激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度对微槽的深度和宽度有不同的影响;晶圆表面粗糙度对微槽的划切质量影响很大。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
蓝宝石晶圆论文参考文献
[1].王建彬,朱永伟,居志兰,徐俊,左敦稳.乙二醇对固结磨料研磨蓝宝石晶圆的影响[J].华南理工大学学报(自然科学版).2014
[2].黄欢,杨立军,王懋露,王扬.紫外激光划切蓝宝石晶圆的试验研究[J].电加工与模具.2009