杜立群:基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究论文

杜立群:基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究论文

本文主要研究内容

作者杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超(2019)在《基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究》一文中研究指出:微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响。结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84%,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因。

Abstract

wei dian zhu yi cheng wei zhi zuo jin shu wei qi jian de guan jian ji shu zhi yi ,ran er wei dian zhu ceng zhong guo da de can yu ying li hui gei wei qi jian de che cun jing du yu shi yong shou ming dai lai ji da de ying xiang 。zhen dui yi kuan xuan bei xing hou zuo bao xian suo wei qi jian zai dian zhu jie duan chu xian de bian xing xian xiang jin hang fen xi ,ji yu na mi ya hen ji shu ,yi you 、mo zhao sheng fu zhu dian zhu wei qi jian wei bei ce yang pian kai zhan le ying li ce shi shi yan ,tao lun le na mi ya hen ji shu zhong liang chong chang yong de ji suan mo xing dui ying li ce shi jie guo de ying xiang 。jie guo biao ming :zhao sheng fu zhu dian zhu qi jian zhong de can yu ying li xiang dui mo zhao sheng fu zhu dian zhu qi jian jian xiao le 57.84%,yan zheng le zhao sheng fu zhu dian zhu neng you xiao jian xiao zhu ceng zhong can yu nei ying li ,bing cong sheng liu he wen tai kong hua liang chong li lun jie shi le zhao sheng fu zhu dian zhu guo cheng zhong zhu ceng can yu nei ying li jian xiao de yuan yin 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自电加工与模具的杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超,发表于刊物电加工与模具2019年04期论文,是一篇关于纳米压痕法论文,兆声辅助电铸论文,微电铸器件论文,电加工与模具2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自电加工与模具2019年04期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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