鲜广:梯度成分结构TiAlSiYN涂层的制备及其抗氧化性能研究论文

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本文主要研究内容

作者鲜广,范洪远,赵海波,熊计,罗粮,李之旭(2019)在《梯度成分结构TiAlSiYN涂层的制备及其抗氧化性能研究》一文中研究指出:目的采用阴极电弧镀叠加磁控溅射的复合PVD涂层技术,实现梯度成分结构Ti AlSiYN多元涂层的制备。方法在涂层沉积过程中,通过切换不同成分的电弧靶,获得成分梯度变化的Ti AlSiYN涂层。利用扫描电子显微镜及其附带能谱仪、X射线衍射仪分析涂层氧化前后的截面组织形貌、成分和物相结构。结果在阴极电弧沉积过程中,通过磁控溅射方式植入微量Y元素会干扰涂层的生长,降低涂层的生长速率。Y元素在涂层中具有细化柱状组织的作用,并使涂层的开始氧化温度和氧化速率降低。相比于均一成分结构的Ti AlSiN涂层,均一成分结构的Ti AlSiYN涂层在800℃时表层未发生氧化。在900℃保温1 h后,Ti AlSiYN涂层的高氧含量氮氧化物层厚度小于Ti AlSiN涂层。梯度成分结构使Ti AlSiYN涂层的抗氧化性能明显降低,在900℃保温1 h后,梯度成分结构的Ti AlSiYN涂层组织完全被氧化,氧化组织以金红石结构的Ti O2为主,还有少量锐钛矿结构的Ti O2、Si O2和Al2O3。结论微量稀土Y元素具有改善涂层抗氧化性的作用,而梯度成分结构不利于涂层的抗氧化性。

Abstract

mu de cai yong yin ji dian hu du die jia ci kong jian she de fu ge PVDtu ceng ji shu ,shi xian ti du cheng fen jie gou Ti AlSiYNduo yuan tu ceng de zhi bei 。fang fa zai tu ceng chen ji guo cheng zhong ,tong guo qie huan bu tong cheng fen de dian hu ba ,huo de cheng fen ti du bian hua de Ti AlSiYNtu ceng 。li yong sao miao dian zi xian wei jing ji ji fu dai neng pu yi 、Xshe xian yan she yi fen xi tu ceng yang hua qian hou de jie mian zu zhi xing mao 、cheng fen he wu xiang jie gou 。jie guo zai yin ji dian hu chen ji guo cheng zhong ,tong guo ci kong jian she fang shi zhi ru wei liang Yyuan su hui gan rao tu ceng de sheng chang ,jiang di tu ceng de sheng chang su lv 。Yyuan su zai tu ceng zhong ju you xi hua zhu zhuang zu zhi de zuo yong ,bing shi tu ceng de kai shi yang hua wen du he yang hua su lv jiang di 。xiang bi yu jun yi cheng fen jie gou de Ti AlSiNtu ceng ,jun yi cheng fen jie gou de Ti AlSiYNtu ceng zai 800℃shi biao ceng wei fa sheng yang hua 。zai 900℃bao wen 1 hhou ,Ti AlSiYNtu ceng de gao yang han liang dan yang hua wu ceng hou du xiao yu Ti AlSiNtu ceng 。ti du cheng fen jie gou shi Ti AlSiYNtu ceng de kang yang hua xing neng ming xian jiang di ,zai 900℃bao wen 1 hhou ,ti du cheng fen jie gou de Ti AlSiYNtu ceng zu zhi wan quan bei yang hua ,yang hua zu zhi yi jin gong dan jie gou de Ti O2wei zhu ,hai you shao liang rui tai kuang jie gou de Ti O2、Si O2he Al2O3。jie lun wei liang xi tu Yyuan su ju you gai shan tu ceng kang yang hua xing de zuo yong ,er ti du cheng fen jie gou bu li yu tu ceng de kang yang hua xing 。

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    论文作者分别是来自表面技术的鲜广,范洪远,赵海波,熊计,罗粮,李之旭,发表于刊物表面技术2019年02期论文,是一篇关于涂层论文,元素论文,梯度成分结构论文,抗氧化性能论文,表面技术2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自表面技术2019年02期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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