导读:本文包含了半导体晶圆制造系统论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:半导体晶圆制造系统,瓶颈识别,瓶颈漂移预测,调度优化
半导体晶圆制造系统论文文献综述
贾林林[1]（2017）在《半导体晶圆制造系统的瓶颈管理及调度优化研究》一文中研究指出我国的半导体芯片行业随着电子信息技术的飞速发展得到了快速的崛起。在半导体芯片生产过程中最重要和最复杂的制造阶段当属半导体晶圆制造系统,它具有生产周期长、生产工艺繁杂、生产环境不确定以及生产方式反复重入加工的显着特点,并且是多重入、规模大、多产品、工艺复杂制造系统的鲜明典范,同时也是现如今世界上存在的最复杂的制造系统。因此,对半导体芯片生产厂商来说,如何有效的进行半导体晶圆制造系统的瓶颈管理与调度优化来满足快速变化的市场需求是取得行业竞争优势的关键所在。半导体晶圆制造系统的瓶颈管理与调度优化问题关系着企业实现缩短加工周期、提高设备生产率和增加晶圆产品产出量的目标实现。瓶颈管理可以分为瓶颈识别与瓶颈漂移预测两方面,它是企业迫切要解决的问题之一。同样,调度优化问题是根据半导体晶圆制造系统的有限资源进行合理配置与安排,目的是企业能满足客户需求,从而使自身赢得市场份额、获得发展与壮大。本文以半导体晶圆制造系统为研究对象,基于调控生产过程的思想,对半导体晶圆制造系统的瓶颈管理与调度优化问题做出了研究。首先,瓶颈管理中的瓶颈识别问题主要是对瓶颈识别方法探究。瓶颈概念的非统一性,使得瓶颈识别方法的研究呈现出多样化特点。本文从设备与生产系统的角度提出的综合瓶颈度的判定方法。设备角度方面给出了设备固有瓶颈度的识别方法分析,它是在前人研究的基础上对识别方法进行改进。生产系统角度是应用复杂网络理论的知识对半导体晶圆制造系统进行抽象,从而给出了复杂网络设备瓶颈度的识别方法。综合瓶颈度是将两者通过一定的转化提出的一种瓶颈识别的方法。其次,瓶颈管理中的瓶颈漂移预测问题主要是对模型建立和解析的探究。通过利用半导体晶圆制造系统日常采集的各种设备数据,采用基于支持向量机方法,对系统内漂移的瓶颈展开预测。同时,为了解决支持向量机中某些参数拟定的任意性,提出了采用粒子群算法对其进行改进优化,从而保证预测的准确可靠。最后,半导体晶圆制造系统的调度优化问题主要是基于充分利用系统瓶颈设备的思想,提出了综合投料控制策略和分层工件调度策略,从而保证晶圆产品在生产过程中使系统的多项性能达到最优。(本文来源于《天津理工大学》期刊2017-02-01）
李程,江志斌,李友,李娜,耿娜[2]（2013）在《基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用》一文中研究指出针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显着提升,有效地缩短了产品加工周期.(本文来源于《上海交通大学学报》期刊2013年02期）
郭乘涛[3]（2012）在《基于问题分解与蚁群算法的半导体晶圆制造系统调度方法的研究》一文中研究指出半导体晶圆制造系统是半导体制造过程中最为复杂和昂贵的环节，晶圆制造系统的调度问题是一类复杂的车间调度问题。尽管目前晶圆制造系统求解调度问题最常见的方法是启发式调度规则，但是智能算法在未来的晶圆制造系统中应用的潜力非常大，这是因为智能算法具有自组织与自调整能力，可以适应调度问题的变化，并在可接受的时间内获得高质量的解。蚁群算法是一类产生不久但发展迅速的智能算法，它不仅具有一般智能算法的优点，而且具有并发多线程搜索机制与正反馈特点，可以更迅速地获得满意的可行解，因而近年来被逐渐应用于解决生产调度问题。但是到目前为止，应用蚁群算法求解晶圆制造系统调度问题的研究还很不深入，这是因为传统蚁群算法不能很好地应对晶圆制造系统的复杂性，特别是其大规模、多重入、混合型生产的特征。基于以上的原因，本文提出基于问题分解的蚁群算法，有针对性地对传统蚁群算法进行改造，并结合问题分解方法，以期获得晶圆制造系统调度问题的高质量解。本文所取得的主要工作成果包括：1）建立应用蚁群算法调度晶圆制造系统的问题分解框架。元启发算法可解决较大规模的调度问题，但是当其用于解决晶圆制造调度这样的大规模调度问题时，随着问题规模急剧扩大，元启发算法的应用会受到制约。为此，应用问题分解方法将大规模问题分解为小规模的子问题，再用蚁群算法分别求解，就成为一条可行的解决途径。本论文提出两类适合晶圆制造系统特征的问题分解方法，包括基于时间的问题分解方法与基于机器类型的问题分解方法。前者用来应对晶圆制造系统的大规模特征。通过对调度时间的分割，在每个时间区间内只需要处理部分机器与工件，降低了问题的规模与难度；后者用来应对混合型生产的特征，通过对机器按照类型进行分解，针对每一类型采用相应的蚁群算法进行处理，使得调度问题更易于解决。在此基础上，建立应用蚁群算法调度晶圆制造系统的问题分解框架，以有效处理大规模晶圆制造系统调度问题。2）提出调度问题分解协调机制。问题分解是一个将各子问题解耦的过程，在各子问题单独求解完成后，这些解合成原问题的解又面临如何协调的问题，这两个问题如何处理是问题分解方法最需要考虑的问题。本文提出叁类协调机制，首先针对基于时间的问题分解方法，提出基于重迭区间的协调机制，保证了原问题调度方案的可行性；其次提出了基于工件上下游的协调机制，通过上下游机器的加工信息，决定当前机器的调度策略，以提供调度方案的精度；最后采用蚁群算法的信息素更新机制作为隐性协调机制，针对基于机器的分解方法，采用蚁群算法的信息素保证分解后的机器间信息的沟通。3）针对晶圆制造系统与问题分解方法特征对现有蚁群算法进行改进。为了应对晶圆制造系统的复杂性特征，以及适应前述问题分解方法，对现有蚁群算法进行了改进：首先，针对晶圆制造系统的多重入特征，开发基于重入的蚁群算法，针对加工目标对不同加工阶段的工件赋以不同的信息权重，使其可以获得更好的调度方案。其次，应对基于类型的分解方法，当将子问题分解为若干单机调度问题后，针对其中较难调度且经常为系统瓶颈的批处理设备开发专门的蚁群算法，以保证整个调度问题的顺利求解。最后，提出分类蚁群算法，使得多种类型设备的调度问题可以在一个算法构架下共存。最后，采用仿真实验对所提出的问题分解方法、协调机制与蚁群算法进行验证，实验分别针对单台设备调度问题、子问题调度、大规模调度问题而进行，实验结果证明了本文所提出方法的可以有效地处理晶圆制造系统的复杂特征，并获得高质量的调度方案。(本文来源于《上海交通大学》期刊2012-05-01）
李程[4]（2011）在《半导体晶圆制造系统（SWFS）炉管区组批派工策略研究》一文中研究指出作为当今世界上最复杂的制造系统之一,半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System, SWFS)存在着生产周期长,生产工艺复杂,多重入性设备,生产环境高度不稳定以及多产品同时在线生产等特点,其调度问题的求解非常困难。晶圆制造系统炉管区批处理机调度问题(scheduling of batch processor,SBP)是半导体晶圆制造系统调动与控制的一个代表性问题。批处理机的加工时间一般都大于非批处理机的加工时间且批处理机价格昂贵,半导体生产系统的瓶颈机一般为批处理机,它制约着半导体制造系统的绩效。因此,批处理加工的合理调度对改善半导体生产线的性能具有重要意义,针对炉管区批处理机问题本文所做的工作主要为:1.通过对工厂的调研,找出晶圆生产加工过程的实际生产瓶颈,并针对瓶颈问题进行了工艺分析、设备分析和流程分析,找到炉管区批处理机调度过程中的几个主要矛盾,明确了整个研究思路。2.对所研究的调度问题进行数学抽象和定义,使问题更具一般性和普遍性,通过对问题的分析过程,将复杂调度问题分解成为若干子问题进行求解,并确立了调度目标。针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法。在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对Lot平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工。3.根据工厂实际设计了虚拟的晶圆制造系统(SWFS)和产品组合,并对ReS2动态调度仿真平台进行了调整和修改,使其更加符合生产实际。通过与生产过程中常用的组批方法(MaxMin)进行实验比较,验证了本文所提算法的正确性和有效性。(本文来源于《上海交通大学》期刊2011-12-01）
李衍飞,江志斌[5]（2008）在《半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化》一文中研究指出从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.(本文来源于《上海交通大学学报》期刊2008年02期）
张怀,江志斌,郭乘涛[6]（2007）在《面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化》一文中研究指出针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性,提出一种动态瓶颈实时派工策略.它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化.实例验证表明,该算法相对于其他两种派工策略,在产能、加工周期、方差和制品数量等4个指标上均有所改善.(本文来源于《上海交通大学学报》期刊2007年08期）
江志斌,张怀,刘惠然[7]（2006）在《基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法》一文中研究指出提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据不同的状态阈值采用不同的派工规则以进行控制。通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明,该算法在绩效水平上优于其他两种算法。并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化,以获得更好的系统绩效。(本文来源于《工业工程与管理》期刊2006年06期）
邵志芳,钱省叁[8]（2004）在《基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析》一文中研究指出晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象,使得生产管理及调度问题变得极为复杂。建立描述系统的模型是优化系统性能的前提,指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点,建立了一个拥有4个工作中心、8台设备的晶圆制造系统Petri网模型,并对模型进行分析。最后提出了下一步的工作目标。(本文来源于《系统工程理论方法应用》期刊2004年02期）
半导体晶圆制造系统论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显着提升,有效地缩短了产品加工周期.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
半导体晶圆制造系统论文参考文献
[1].贾林林.半导体晶圆制造系统的瓶颈管理及调度优化研究[D].天津理工大学.2017
[2].李程,江志斌,李友,李娜,耿娜.基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用[J].上海交通大学学报.2013
[3].郭乘涛.基于问题分解与蚁群算法的半导体晶圆制造系统调度方法的研究[D].上海交通大学.2012
[4].李程.半导体晶圆制造系统（SWFS）炉管区组批派工策略研究[D].上海交通大学.2011
[5].李衍飞,江志斌.半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化[J].上海交通大学学报.2008
[6].张怀,江志斌,郭乘涛.面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略及参数优化[J].上海交通大学学报.2007
[7].江志斌,张怀,刘惠然.基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法[J].工业工程与管理.2006
[8].邵志芳,钱省叁.基于Petri网的半导体晶圆制造系统建模与分析[J].系统工程理论方法应用.2004