导读:本文包含了速度加速度耦合论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:MEMS,梳齿,电容,加速度器
速度加速度耦合论文文献综述
李波,张宾[1](2016)在《单轴微加速度器机电耦合分析》一文中研究指出在考虑静电力作用下,利用系统动态模型对单轴电容式加速度计机进行电耦合分析,低g值加速度的作用下感应质量块系统基底产生的微位移(nm级)和系统测量灵敏度,并采用差分电容电路输出便于提取f F(10-15F)级电容变化信号。(本文来源于《内蒙古煤炭经济》期刊2016年13期)
陈颖慧,唐彬,施志贵,谢国芬[2](2013)在《减小交叉耦合的叁维微加速度计的设计》一文中研究指出介绍了一种减小交叉耦合的叁维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,叁个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合度。通过公式计算得到叁个轴向的机械噪声,X轴为-60μg/Hz,Y轴为-66μg/Hz,Z轴为-53μg/Hz。从计算结果来看,叁个维度的噪声系数较低,在电路噪声保证足够小的情况下,该叁维微加速度计能够达到较高的精度。最后,采用COMSOL MULTIPHYSICS软件对该结构叁个维度进行了模态仿真,仿真结果表明该设计能够有效减小叁个维度的交叉耦合度。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2013年02期)
曲亮,李孟良,高佳佳,高继东,赵彦琳[3](2012)在《机动车排放污染的速度-加速度耦合影响分析》一文中研究指出利用OBS-2200车载测试系统,分别在高峰期、平峰期和低峰期的天津市典型路段进行了车载测试,并获得了碳氢化合物(HC)、一氧化碳(CO)和氮氧化物(NOx)等车辆排放的污染物的逐秒数据.结果显示在这3个时段内,车辆的加速度大都集中在-1.5~1.5m/s2,速度大都集中在0~70km/h,并且HC、CO和NOx的最高排放率为0.0673、0.706和0.0178g/s,都集中在高速(速度(v)>30km/h,加速度(a)>0.5m/s2)工况范围内.通过拟合发现,HC、CO和NOx的排放率与比功率(Vehicle Specific Power,简称VSP)之间的拟合决定系数分别为0.71、0.86和0.85,相关性较高,说明VSP可以作为评价车辆排放率的一个重要参考性指标.(本文来源于《中国环境科学》期刊2012年08期)
速度加速度耦合论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
介绍了一种减小交叉耦合的叁维微加速度计的设计,该设计采用全差分电容式结构,X轴和Y轴采用梳齿电容式加速度计,Z轴采用扭摆电容式加速度计,叁个轴向各自具有不同的敏感质量块,能够有效减小交叉耦合度。通过公式计算得到叁个轴向的机械噪声,X轴为-60μg/Hz,Y轴为-66μg/Hz,Z轴为-53μg/Hz。从计算结果来看,叁个维度的噪声系数较低,在电路噪声保证足够小的情况下,该叁维微加速度计能够达到较高的精度。最后,采用COMSOL MULTIPHYSICS软件对该结构叁个维度进行了模态仿真,仿真结果表明该设计能够有效减小叁个维度的交叉耦合度。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
速度加速度耦合论文参考文献
[1].李波,张宾.单轴微加速度器机电耦合分析[J].内蒙古煤炭经济.2016
[2].陈颖慧,唐彬,施志贵,谢国芬.减小交叉耦合的叁维微加速度计的设计[J].微纳电子技术.2013
[3].曲亮,李孟良,高佳佳,高继东,赵彦琳.机动车排放污染的速度-加速度耦合影响分析[J].中国环境科学.2012