导读:本文包含了硅传声器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:硅传声器,振动膜片,电声器件,声电器件
硅传声器论文文献综述
杨锦刚[1]（1999）在《硅传声器微型化的研究进展》一文中研究指出引言电声设备或系统中，电声器件（如传声器、扬声器山、送话器、受话器等）的作用显得特别重要，它们的性能与质量往往会决定电声设备或系统的水平，所以电声器件的研究开发和进展会引起声学界各方面的关注、1999年3月在柏林召开的第25届德国声学DAGA会议上，若干(本文来源于《声学学报》期刊1999年05期）
张凤超[2]（1997）在《硅传声器》一文中研究指出换能器工程中的新工作是朝向使用硅工艺制造微小的传声器。对于这种器件，一些传统的换能方法是适用的，例如电容、压电、压阻原理。正在研究的还有一些传声器，它们以场效应晶体管漏电流或者声学传感器中声波诱导的调制为基础，取决于微加工波导中光波传播的调制。最近已经制成了按照所有这些原理的实验硅传感器，其中有些表现出良好的声学性质。最先进的是具有外偏置的双芯片电容式传声器。采用牺牲层工艺制作的驻极体偏置和单芯片设计也在研究之中。将来的工作将关系到所有的硅传声器特性的改善和在传声器芯片上集成放大器或者信号处理电路。硅传声器的优点是尺寸小（膜片面积约为１ｍｍ２）、由于膜片厚度小（＜１μｍ）有低的振动敏感度、有可能在单个芯片上集成传感器与放大器、由于成批处理而有低成本潜力。(本文来源于《电声技术》期刊1997年09期）
朱海军[3]（1996）在《采用电化学自终止腐蚀制造硅传声器》一文中研究指出简述了单晶硅压阻式传声器的结构参数设计和工艺制造技术，采用ｐｎ结自终止电化学腐蚀技术获得薄且平整性较好的振膜。测试结果表明：１ｋＨｚ时灵敏度为－５８．４ｄＢ／Ｐａ。(本文来源于《半导体技术》期刊1996年04期）
硅传声器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
换能器工程中的新工作是朝向使用硅工艺制造微小的传声器。对于这种器件，一些传统的换能方法是适用的，例如电容、压电、压阻原理。正在研究的还有一些传声器，它们以场效应晶体管漏电流或者声学传感器中声波诱导的调制为基础，取决于微加工波导中光波传播的调制。最近已经制成了按照所有这些原理的实验硅传感器，其中有些表现出良好的声学性质。最先进的是具有外偏置的双芯片电容式传声器。采用牺牲层工艺制作的驻极体偏置和单芯片设计也在研究之中。将来的工作将关系到所有的硅传声器特性的改善和在传声器芯片上集成放大器或者信号处理电路。硅传声器的优点是尺寸小（膜片面积约为１ｍｍ２）、由于膜片厚度小（＜１μｍ）有低的振动敏感度、有可能在单个芯片上集成传感器与放大器、由于成批处理而有低成本潜力。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
硅传声器论文参考文献
[1].杨锦刚.硅传声器微型化的研究进展[J].声学学报.1999
[2].张凤超.硅传声器[J].电声技术.1997
[3].朱海军.采用电化学自终止腐蚀制造硅传声器[J].半导体技术.1996