导读:本文包含了二氧化硅波导论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光子器件,光学相控阵,硅基二氧化硅,热光调制
二氧化硅波导论文文献综述
颜跃武,安俊明,张家顺,王亮亮,李建光[1]（2019）在《硅基二氧化硅波导阵列相位控制芯片》一文中研究指出设计并制作了硅基二氧化硅波导阵列相控芯片,该芯片由分束单元、相位调制单元、输出波导阵列叁部分构成,分束单元采用叁级1×2的光分束器级联而成,相位调制单元采用热光调制方式,输出部分包含8根密集阵列波导.8根波导输出的光在远场发生干涉,形成扫描光束,加电后通过二氧化硅热光效应,折射率变化0.027%(0.000 4)时,扫描光束偏转5.5°.该波导相控阵列采用2.0%超高折射率差的硅基二氧化硅波导为材料,经等离子体增强化学气相沉积法进行材料生长及退火,再经电感耦合等离子体干法刻蚀技术进行刻蚀,最后切割抛光制作而成.测试结果表明,静态下该芯片8条输出阵列波导形成清晰干涉光斑,在电压达到130V时,热调制相位后,光斑移动5.5°.(本文来源于《光子学报》期刊2019年04期）
王军,付秀华,郭丽君[2]（2016）在《二氧化硅波导马赫-泽德型2×2热光开关损耗对设计与加工精度的依赖性研究》一文中研究指出用有限差分光束传播法(Three-dimensional beam Propagation Model,3D-BPM)叁维模拟技术,系统研究了基于单模波导定向耦合器的马赫-泽德2×2热光开关对器件的设计方法及加工精度的依赖关系。由于器件的光学损耗与器件结构误差有很大的影响,所以将实际测得的加工误差转换为公差后引入到设计中,对器件的性能进行优化,使器件的插入损耗改进到1.5d B以下,即芯片上的光损耗减小到0.5d B以下,隔离度提高到20d B以上,可提高实际产品设计与生产的成功率。(本文来源于《长春理工大学学报(自然科学版)》期刊2016年02期）
杨淑英,安俊明[3]（2009）在《Si衬底减薄及氧化对硅基二氧化硅波导应力双折射影响的数值分析》一文中研究指出采用有限元法对硅基二氧化硅波导在玻璃化过程中的应力与Si衬底厚度和背面氧化层厚度的关系进行了系统的分析;在此基础上,应用全矢量有限差分束传播法(FD-BPM)对应力光波导的双折射进行了分析.结果表明随着Si衬底厚度的减薄,波导附近水平方向和垂直方向所受应力趋于一致,双折射系数B可小于10-4;Si衬底背面氧化层的存在使双折射系数略有增大,但随氧化层厚度的增加可减缓其增加量.(本文来源于《内蒙古大学学报(自然科学版)》期刊2009年06期）
何忠蛟[4]（2006）在《硅基二氧化硅波导和SOI脊型波导应力双折射研究》一文中研究指出采用有限元方法分析了硅基二氧化硅波导和SOI(Silicon on Insulator)脊型波导内部残留热应力引起的双折射·对于硅基二氧化硅波导,应力双折射系数的数量级为10-4,对于上包层为空气的SOI脊型波导,该系数的数量级为10-5,对于上包层为Si O2的SOI脊型波导,该系数的数量级为10-3,可见在硅基二氧化硅波导和上包层为Si O2的SOI脊型波导中产生了大的应力双折射,而在上包层为空气的SOI脊型波导中应力双折射较小·(本文来源于《光子学报》期刊2006年02期）
邓晓清,杨沁清,王红杰,胡雄伟,王启明[5]（2002）在《硅基二氧化硅波导的双折射效应补偿理论分析》一文中研究指出使用有限元方法分析了硅基二氧化硅波导的两种偏振补偿方法的可行性 .结果表明采用应力释放槽和调节上包层热膨胀系数都可改善波导的偏振相关性 .采用应力释放槽可以释放波导中的由于硅衬底与二氧化硅热膨胀系数失配造成的压应力 ,可以影响芯区附近的应力分布 ,但是只有释放槽的深度达到一定值时才能改善波导的偏振相关性 ,增大槽的宽度也在一定程度改善偏振相关性 ,但效果较差 .调节波导上包层的热膨胀系数可以很好的解决波导的偏振相关问题 ,而调节波导的其它层的热膨胀系数对波导的偏振相关作用较小 .(本文来源于《半导体学报》期刊2002年12期）
邓晓清,杨沁清,王红杰,胡雄伟,王启明[6]（2002）在《硅基二氧化硅波导的应力和偏振相关性的数值分析》一文中研究指出使用有限元方法分析了硅基二氧化硅光波导的应力分布 ,结果表明波导主要受横向压应力影响 ,而且应力主要集中在芯区和包层的界面附近 .根据波导的应力分布 ,得出波导的折射率分布 ,并使用 ADI全矢量方法求解出波导的模式折射率 .比较考虑应力和未考虑应力的波导模式折射率可以得出 :波导的双折射效应主要是由于波导应力引起的 ,阵列波导光栅的偏振相关与中心波长的漂移是受阵列波导的应力分布的影响(本文来源于《半导体学报》期刊2002年11期）
[7]（1975）在《二氧化硅波导中的叁波混频》一文中研究指出美国贝耳实验室报道了所观察到的9厘米二氧化硅纤维光波导中相位匹配的叁波混频。在一个使人想起光参量振荡器的实验装置中,他们在光纤维中把倍频的Nd:YAG激光和染料激光(590～630毫微米)合并起来,产生光谱蓝色端的输出(对前述染料激光摆动是482～460毫微米)。把两个"绿光光子"和一个"红光光子"进行混频,当较高阶波导模的色散抵消了二氧化硅材料的体色散时,便产生一个"蓝光光子"。如对蓝光输出的模结构和相位匹配曲线给予充分的注意,就有可能得到关于波导均匀度和折射率分布的非常精确的定性测量。在一个情况(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊1975年01期）
二氧化硅波导论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
用有限差分光束传播法(Three-dimensional beam Propagation Model,3D-BPM)叁维模拟技术,系统研究了基于单模波导定向耦合器的马赫-泽德2×2热光开关对器件的设计方法及加工精度的依赖关系。由于器件的光学损耗与器件结构误差有很大的影响,所以将实际测得的加工误差转换为公差后引入到设计中,对器件的性能进行优化,使器件的插入损耗改进到1.5d B以下,即芯片上的光损耗减小到0.5d B以下,隔离度提高到20d B以上,可提高实际产品设计与生产的成功率。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
二氧化硅波导论文参考文献
[1].颜跃武,安俊明,张家顺,王亮亮,李建光.硅基二氧化硅波导阵列相位控制芯片[J].光子学报.2019
[2].王军,付秀华,郭丽君.二氧化硅波导马赫-泽德型2×2热光开关损耗对设计与加工精度的依赖性研究[J].长春理工大学学报(自然科学版).2016
[3].杨淑英,安俊明.Si衬底减薄及氧化对硅基二氧化硅波导应力双折射影响的数值分析[J].内蒙古大学学报(自然科学版).2009
[4].何忠蛟.硅基二氧化硅波导和SOI脊型波导应力双折射研究[J].光子学报.2006
[5].邓晓清,杨沁清,王红杰,胡雄伟,王启明.硅基二氧化硅波导的双折射效应补偿理论分析[J].半导体学报.2002
[6].邓晓清,杨沁清,王红杰,胡雄伟,王启明.硅基二氧化硅波导的应力和偏振相关性的数值分析[J].半导体学报.2002
[7]..二氧化硅波导中的叁波混频[J].激光与光电子学进展.1975