本文主要研究内容
作者张圣贤,孙庆龙,惠相君,周鹏飞,汪家乐,孙靖康,崔玉国（2019）在《两平动一转动三维并联压电微动平台的设计》一文中研究指出：为提高微定位系统的灵敏性,设计了三自由度并联压电微定位系统的新构型。首先,在考虑平台结构具有对称性的基础上,采用双平行四连杆机构对台体进行设计,并设计了可集成于台体的承载模块及传感器安装模块;接着,采用有限元法对平台的位移、应力、刚度及模态进行了分析;最后,基于所搭建的实验系统,对平台的位移及频率响应特性进行了测试。实验结果表明,在120V电压的作用下,平台沿x向的最大位移为26.0μm(此时沿y向产生的寄生位移为141.0nm),沿y向的最大位移为25.9μm(此时沿x向产生的寄生位移为39.7nm),绕z轴的最大转角为210μrad;平台x、y向的位移分辨率均为6.5nm;平台x、y、θz向的固有频率分别为328.0Hz、481.3Hz、402.8Hz。
Abstract
wei di gao wei ding wei ji tong de ling min xing ,she ji le san zi you du bing lian ya dian wei ding wei ji tong de xin gou xing 。shou xian ,zai kao lv ping tai jie gou ju you dui chen xing de ji chu shang ,cai yong shuang ping hang si lian gan ji gou dui tai ti jin hang she ji ,bing she ji le ke ji cheng yu tai ti de cheng zai mo kuai ji chuan gan qi an zhuang mo kuai ;jie zhao ,cai yong you xian yuan fa dui ping tai de wei yi 、ying li 、gang du ji mo tai jin hang le fen xi ;zui hou ,ji yu suo da jian de shi yan ji tong ,dui ping tai de wei yi ji pin lv xiang ying te xing jin hang le ce shi 。shi yan jie guo biao ming ,zai 120Vdian ya de zuo yong xia ,ping tai yan xxiang de zui da wei yi wei 26.0μm(ci shi yan yxiang chan sheng de ji sheng wei yi wei 141.0nm),yan yxiang de zui da wei yi wei 25.9μm(ci shi yan xxiang chan sheng de ji sheng wei yi wei 39.7nm),rao zzhou de zui da zhuai jiao wei 210μrad;ping tai x、yxiang de wei yi fen bian lv jun wei 6.5nm;ping tai x、y、θzxiang de gu you pin lv fen bie wei 328.0Hz、481.3Hz、402.8Hz。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自压电与声光的张圣贤,孙庆龙,惠相君,周鹏飞,汪家乐,孙靖康,崔玉国，发表于刊物压电与声光2019年01期论文，是一篇关于微动平台论文,并联结构论文,对称解耦论文,柔性薄板论文,压电执行器论文,压电与声光2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自压电与声光2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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