导读:本文包含了微细电解加工实验论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:气膜屏蔽微细电解加工,多物理场耦合,动态成形,深径比
微细电解加工实验论文文献综述
邱国志[1]（2018）在《气膜屏蔽微细电解加工材料动态成形演变规律及实验研究》一文中研究指出在金属表面加工出一定尺寸的非光滑形态表面微织构可大幅提高产品性能,如耐高温、耐摩擦、耐腐蚀、提高承载能力等,该类结构有望被广泛应用于农业机械、航空航天、机械工程等多个领域。气膜屏蔽微细电解加工法可用于金属表面微织构的加工,其原理为利用气膜对间隙电解液范围的约束、电解液特性的改变和电场屏蔽等作用,控制电解液使其聚焦于工具电极正对工件的区域内,使材料溶解集中于工件表面特定区域。论文针对气膜屏蔽微细电解加工材料动态成形演变规律及实验进行研究,主要工作包括:(1)基于电解加工和气膜屏蔽微细电解加工原理,从机理上揭示了气膜屏蔽微细电解加工中动态流场的流动特性,并分析气膜作用下间隙多物理场相互作用机制及其对材料去除的影响规律,建立起与气膜屏蔽微细电解加工较吻合的动态成形演变规律数学模型,同时搭建了气膜屏蔽微细电解加工实验系统,为后续的模拟仿真及加工实验提供了理论依据及实验基础。(2)采用计算机仿真软件模拟分析层流、湍流两相流工况下电化学射流加工和气膜屏蔽微细电解加工间隙内气液分布、电解液速度、加工电压、加工间隙、间隙电导率和温度等耦合参数下工件表面动态成形演变规律,并进行基础实验验证,模拟误差控制在17%左右,论证了气膜屏蔽微细电解加工相校于电化学射流加工的优越性。同时基于气膜屏蔽微细电解加工工艺实验与模拟仿真,详细研究了不同电极尺寸、加工间隙、加工电压、气压等工艺参数对材料动态成形的影响规律。(3)将气膜屏蔽微细电解加工技术应用于摩擦副表面,在摩擦副表面进行气膜屏蔽微细电解加工工艺试验研究。工艺实验结果表明,加工出的微凹槽表面摩擦系数平均降低14.9%、深径比平均增大31.93%,加工阵列槽型织构一致性较好,加工尺寸精度提高且深径比提高。通过SEM、EDS能谱元素测试比较分析电化学射流加工技术及气膜屏蔽微细电解加工技术对工件表面摩擦性能的影响。通过优选实验分析,实现了摩擦副表面深径比为0.150,表面摩擦系数为0.129的微凹槽阵列织构的加工制作。论文研究表明气膜屏蔽微细电解加工在金属表面微织构加工具有优越性,可为相关研究领域提供参考,同时有助于促进微织构加工在工业应用领域的进一步发展。(本文来源于《浙江工业大学》期刊2018-06-01）
余宁,房晓龙,曾永彬,邹祥和[2]（2018）在《NaCl-乙二醇溶液微细电解加工Ti6Al4V实验研究》一文中研究指出采用NaCl-乙二醇的有机盐溶液作为电解液,其具有的少、无氧环境可避免电解加工过程中钛合金表面产生钝化膜,且能提高钛合金的可加工性。通过实验对比了加工电压、脉冲频率、占空比、主轴转速对加工缝宽的影响,进而得到最优的加工参数,并在厚度为0.7 mm的Ti6Al4V工件上加工出了微细结构。(本文来源于《电加工与模具》期刊2018年01期）
刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊[3]（2017）在《微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验》一文中研究指出在微细电解加工中,工具电极尺寸及侧壁绝缘层对微结构加工的尺寸和形状精度具有重要影响。本文提出一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到了电极加工部尺寸为100μm左右,绝缘层厚度为800nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18CrNi8上加工出微细沟槽结构和微细通孔。微细槽深度为160μm,其侧壁与竖直面锥角小于5.5°。微细孔直径约为145μm,其锥角为0.58°。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96min的持续加工试验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）》期刊2017-11-17）
艾海红,张长富,贠康[4]（2017）在《软质材料黄铜微细电解加工深孔实验研究》一文中研究指出为解决软质材料黄铜上微结构的成形加工难题,在分析加工速度、脉冲电压、电解液浓度及成分等加工参数对黄铜加工精度的工艺实验的基础上,进行了深径比高的微细孔的电解加工工艺实验,加工出了深径比大于10:1的微细深孔,具有较好的形状精度。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）》期刊2017-11-17）
贠康,张长富,梁若云,郑丕显[5]（2017）在《磁场对微细电解加工微孔的影响实验研究》一文中研究指出微细电解加工在加工微孔过程中存在加工定域性差以及加工精度难以提高、杂散腐蚀较大等难题。为提高微细电解微孔的定域性和加工精度、减小杂散腐蚀,针对高弹性材料3J21进行了迭加与不迭加磁场的微细电解加工微孔对比实验。研究表明:磁场对微孔的加工质量(表面质量、精度)都会产生影响,当磁场强度为0.1T时,对微孔的加工质量影响最大。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）》期刊2017-11-17）
刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊[6]（2017）在《微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验》一文中研究指出具有微细结构的机械零件在汽车、生物医疗和精密仪器等领域具有广泛应用,如发动机喷油嘴上的微喷孔和微流控芯片模具上的微结构等,其尺寸形状精度、表面质量的要求越来越高。微细电解加工将合金材料以离子形式溶解,可得到表面光滑的微结构,保证零件材料的表面完整性,在微结构加工中具有潜在优势。在微细电解加工中,制备微细工具电极及其侧壁绝缘层以达到对加工材料蚀除区域的定域约束是首先需要解决的问题。尤其是侧壁绝缘层需具备绝缘性能好、壁厚小且均匀和绝缘层不易脱落等特点,目前的工艺难以得到微小尺度下可靠的绝缘层。因此,本文提出一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。工具电极由电极夹持部和电极加工部组成,电极夹持部的尺寸为毫米量级,便于工具电极的精确安装和夹持。电极加工部尺寸在100μm左右,硅工具电极加工部分端面形状为等腰梯形,工具电极安装在高速旋转的主轴上,实现电极加工部端面的圆形轮廓包络。硅工具电极在旋转过程中,相对于电解液流动方向的侧面加工间隙周期性变化,使电解液处于扰动状态,便于不溶性的电解产物和气泡的顺利排出。另外,利用COMSOL软件仿真比较了利用硅工具电极与金属电极加工特性,仿真结果说明了高浓度掺杂硅电极作为电极的可行性。在此基础上,本文设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形、化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。具体地,光刻技术实现工具电极形状在硅片上的图形化,体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备二氧化硅/氮化硅绝缘层,金属溅射工艺制备金属层。初步实验得到了电极加工部的尺寸为90μm×52μm。电极夹持部尺寸为8000μm×6000μm、绝缘层厚度为800nm的硅工具电极。在4英寸的硅片上共分布有硅工具电极80个,该工艺可以实现硅工具电极的批量制作。利用高速旋转的微细硅工具电极在18CrNi8上加工出微细沟槽结构和微细通孔。微细槽深度为160μm,其侧壁与竖直面锥角小于5.5°。其边沿形状规则,底面光滑,无明显的加工缺陷,微沟槽底面的粗糙度值Ra为0.49μm。在120μm厚的工件上,加工得到的微细孔直径约为145μm,其锥角为0.58°。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96min的持续加工试验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果,实验结果表明了二氧化硅/氮化硅绝缘层的可靠性。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
艾海红,张长富,贠康[7]（2017）在《软质材料黄铜微细电解加工深孔实验研究》一文中研究指出铜是除钢铁和铝以外使用最多的金属材料,广泛用于航天推进器燃烧室喷嘴、集成电路等研究领域。微孔或微细深小孔是常用的微结构,在铜上钻削或加工深小孔,由于深小孔自身尺寸、刀具要求、排屑和冷却困难的限制,传统的机械加工难以实现,并且微细机械加工、超声微加工、微细电火花等微细加工技术由于存在加工变质层或表面粗糙度差或排屑和切削等加工难题,也无法实现铜上微细深小孔的无应力和无变质层的电化学加工。微细电解加工技术是利用电化学原理使工件材料以离子形式被溶解蚀除,在微细制造领域有着巨大的发展潜能。微细电解加工技术中工件和工具阴极是不发生接触的,所以工具没有磨损、加工应力、变形以及热影响区等传统机械加工的缺陷,是实现铜上微孔加工的理想方法。在采用脉冲电源后,电解加工的定域性能力得到了提高。本文采用的加工对象为黄铜,在加工黄铜之前,需制备柱状电极。利用微细电解加工平台,以纳秒脉冲电源进行电解加工实验,采用优化后的工艺参数加工深小孔,期望获得满意的加工结构。为解决软质材料黄铜上微结构的成形加工难题,本文先利用直径为0.3mm较直的钨丝在线制备出了直径约为50μm,并在分析加工速度、脉冲电压、电解液浓度及成分等加工参数对黄铜加工精度的工艺实验的基础上,进行了深径比高的微细孔的电解加工工艺实验。基于以上实验研究与分析,选择优化参数进行微细电解加工深径比接近10:1的微孔。实验中选择质量分数为15%NaNO_3溶液和少量0.2mol/L稀硫酸,加工脉宽1μs,加工电压5V,加工频率500kHz,进给速度0.5μm/min。最终加工出了直径68μm、深692μm、深径比大于10:1的微细深孔,具有良好的形状精度,与设计要求的尺寸(设计孔直径70μm,深700μm)基本吻合,误差较小,显示了良好的定域性和加工能力。通过微细电解加工技术可较好地实现软质材料铜上深小孔的加工成形,具有较高的成形精度和表面质量;实验证明,采用低浓度的电解液,较低的加工电压,合理的进给速度,可获得较好的加工质量。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
贠康,张长富,梁若云,郑丕显[8]（2017）在《磁场对微细电解加工微孔的影响实验研究》一文中研究指出微细电解加工具有加工材料范围广、工具无损耗、表面质量好、结构表面光滑、无内应力、无微裂纹、不受材料硬度影响、材料去除率高等优点。目前微细电解加工技术中还存在很多难题:加工定域性差、表面杂散腐蚀、加工精度不高以及加工产物堆积在加工间隙导致短路等问题。因此提高微细电解加工微孔的定域性和加工精度成为了研究的热点。磁场对电解质溶液中的带电粒子产生洛伦兹力作用,会增强电解质溶液中的粒子活性,减小电极间阻力,提高粒子的迁移率。因此本文将磁场与微细电解加工结合,设计了迭加磁场与不迭加磁场的微孔加工对比实验,研究了磁场对微细电解加工微孔的影响。依据前期的实验研究结果,文中实验所采用的磁场均为垂直方向磁场。实验中的磁场由不同大小、不同强度的永磁体通过迭加的方式来提高。实验中采用质量分数为5%的NaNO_3作为电解液;使用脉冲电源;阳极材料为高弹性合金3J21薄片,阴极材料为圆柱钨丝。所有实验分为四组,且均为对照实验。第一组对比实验中采用0.05T磁场强度;第二组对比实验中采用0.1T磁场强度;第叁组对比实验中的磁场强度为0.15T;第四组对比实验中磁场强度为0.2T。由扫描电镜观测图结果可知:使用脉冲电源和硝酸钠电解液加工的微孔表面质量较好。不加磁场时微孔的表面材料去除较多,入口直径较大,同时微孔出口直径较小;加0.05T磁场强度时,微孔的出口直径相比无磁场强度时显着增加;加0.1T磁场强度时,微孔的出口直径继续增加,同时微孔的入口直径相比不加磁场和加0.05T时减小;加0.15T磁场强度时,微孔入口直径扩大,同时出口直径减小,接近无磁场条件的微孔出口直径;加0.2T磁场强度时,微孔的出口直径显着减小。同时发现:随着磁场强度的变化,微孔的孔径差会出现先减小后增大的过程。不加磁场时,微孔的出入口直径差值最大,微孔呈现为锥形孔;随着磁场强度增加,微孔的出口直径增大,出入口直径差值减小;当磁场强度增加到0.1T时,微孔的出入口直径差值最小,形状最接近加工要求;磁场强度继续增加,微孔的出口直径开始减小,出入口的直径差又开始增加。磁场对微细电解加工微孔的尺寸会产生影响,磁场既可以增大微孔尺寸又可以减小微孔尺寸。通过复合磁场进行微细电解加工微孔,对提高微细电解加工定域性和加工精度等方面有重要意义(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊[9]（2017）在《微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验》一文中研究指出提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工。设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺。初步实验得到电极加工部尺寸约为100μm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极。利用高速旋转的微细硅工具电极在18Cr Ni8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔。实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性。经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果。(本文来源于《电加工与模具》期刊2017年05期）
于立秋,刘桂礼,李勇,孔全存,刘国栋[10]（2017）在《变参数微细电解加工变截面孔的实验研究》一文中研究指出为提高微细电解加工高深宽比变截面孔的形状精度,通过仿真分析加工过程中不同的参数变化时间间隔对变截面孔形状精度的影响,设计并实现了一种变参数加工控制方法。在1 mm厚的18CrNi8工件上进行变参数微细电解加工实验,加工出孔径200~320μm(深宽比约为5)的变截面孔。结果表明:参数变化时间间隔为1 s时,形状平均误差为9μm,相比于其他时间间隔,其平均误差减小约85%,较好地满足了设计要求,也验证了该变参数加工控制方法的有效性。(本文来源于《电加工与模具》期刊2017年03期）
微细电解加工实验论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用NaCl-乙二醇的有机盐溶液作为电解液,其具有的少、无氧环境可避免电解加工过程中钛合金表面产生钝化膜,且能提高钛合金的可加工性。通过实验对比了加工电压、脉冲频率、占空比、主轴转速对加工缝宽的影响,进而得到最优的加工参数,并在厚度为0.7 mm的Ti6Al4V工件上加工出了微细结构。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微细电解加工实验论文参考文献
[1].邱国志.气膜屏蔽微细电解加工材料动态成形演变规律及实验研究[D].浙江工业大学.2018
[2].余宁,房晓龙,曾永彬,邹祥和.NaCl-乙二醇溶液微细电解加工Ti6Al4V实验研究[J].电加工与模具.2018
[3].刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊.微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）.2017
[4].艾海红,张长富,贠康.软质材料黄铜微细电解加工深孔实验研究[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）.2017
[5].贠康,张长富,梁若云,郑丕显.磁场对微细电解加工微孔的影响实验研究[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（上册）.2017
[6].刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊.微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[7].艾海红,张长富,贠康.软质材料黄铜微细电解加工深孔实验研究[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[8].贠康,张长富,梁若云,郑丕显.磁场对微细电解加工微孔的影响实验研究[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[9].刘国栋,李勇,孔全存,佟浩,钟昊.微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验[J].电加工与模具.2017
[10].于立秋,刘桂礼,李勇,孔全存,刘国栋.变参数微细电解加工变截面孔的实验研究[J].电加工与模具.2017
标签：气膜屏蔽微细电解加工; 多物理场耦合; 动态成形; 深径比;