导读:本文包含了悬浮式结构论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微气体传感器,悬浮薄膜堆迭式,ANSYS,结构设计
悬浮式结构论文文献综述
朱思敏,谭秋林,裴向东,熊继军[1]（2012）在《基于悬浮薄膜堆迭式结构的微气体传感器设计》一文中研究指出本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能。该传感器采用悬浮薄膜式堆迭结构,堆迭层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜。这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响。利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2012年11期）
江礼茂,许羿[2]（2011）在《爆炸挤淤置换法与悬浮式结构海堤工程》一文中研究指出介绍了"控制加载爆炸挤淤置换法"专利技术及其在漩门叁期围垦工程海堤的施工控制及检测情况,通过工程实践说明,对软基深厚的工程,采用悬浮式堤身结构是经济可行的,应用爆炸挤淤置换法技术施工可保证工程质量并控制工程造价,该工程的设计和施工方法及经验参数可作为以后工程的重要参考。(本文来源于《水运工程》期刊2011年12期）
悬浮式结构论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
介绍了"控制加载爆炸挤淤置换法"专利技术及其在漩门叁期围垦工程海堤的施工控制及检测情况,通过工程实践说明,对软基深厚的工程,采用悬浮式堤身结构是经济可行的,应用爆炸挤淤置换法技术施工可保证工程质量并控制工程造价,该工程的设计和施工方法及经验参数可作为以后工程的重要参考。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
悬浮式结构论文参考文献
[1].朱思敏,谭秋林,裴向东,熊继军.基于悬浮薄膜堆迭式结构的微气体传感器设计[J].传感器与微系统.2012
[2].江礼茂,许羿.爆炸挤淤置换法与悬浮式结构海堤工程[J].水运工程.2011