导读:本文包含了自持金刚石厚膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:金刚石厚膜,表征,GaN
自持金刚石厚膜论文文献综述
张东,白亦真,秦福文,贾福超,赵纪军[1]（2009）在《自持金刚石厚膜上GaN薄膜的沉积及其表征》一文中研究指出利用金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD),改变氮气流量,在自持金刚石厚膜上沉积GaN薄膜,采用X射线衍射谱,反射式高能电子衍射谱、扫描电子显微镜和原子力显微镜对薄膜进行表征,结果表明:GaN薄膜有较好的择优取向,表面较平整、均匀,满足SAW器件的制备要求。(本文来源于《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》期刊2009-08-15）
孙剑,白亦真,谷建峰,刘明,张庆瑜[2]（2008）在《自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性》一文中研究指出采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好。(本文来源于《发光学报》期刊2008年03期）
孙剑[3]（2007）在《自持金刚石厚膜上磁控溅射法沉积ZnO薄膜的研究》一文中研究指出ZnO是一种新型的直接带隙宽带半导体，室温禁带宽度约为3.37eV，具有较大的激子束缚能(60meV)，可以实现室温紫外激光发射。作为新一代的宽带半导体材料，以其优异的电学、光学、压电等性能，在发光二极管、光探测器、声表面波(SAW)器件等诸多领域有着广泛的应用。工作频率超过1GHz的SAW器件在今后高频无线电通讯中具有极其广泛的需求。但是工作频率超过2.5GHz的声表面波滤波器，对叉指换能器电极宽度的要求将达到传统光刻技术的极限。ZnO／金刚石结构的声表面滤波器可以充分利用ZnO的压电性和金刚石最高弹性刚度系数以及最高声速的优异性能。ZnO／自持金刚石厚膜这种结构作为SAW器件的基片，既能避免其他基片带来的散热差的缺点，又可以充分利用金刚石的优异性能。选择较光洁的成核面作为功能表面还可以大大降低机械抛光的困难，同时这种简单的方法有利于获得高质量、高功率持久性的SAW滤波器。本文用超高真空磁控溅射设备在不同参数下于自持金刚石厚膜上沉积了ZnO薄膜，并利用X射线衍射(XRD)仪，扫描电镜(SEM)，电子探针(EPMA)，光致发光(PL)光谱和霍尔测量系统对样品进行了检测。结论如下：Ⅰ不同沉积温度下ZnO的特性分析(ⅰ) XRD表明随着沉积温度的升高，ZnO薄膜的晶体质量有所提高。(ⅱ) SEM结果表明：在基片温度从300℃升高到600℃的过程中，薄膜表面上岛状团簇变小，粗糙度降低；在基片温度从600℃升高到750℃时，岛状团簇变大，粗糙度有所升高。(ⅲ)基片温度为750℃的PL谱表明，高温条件有利于ZnO薄膜的光学性能的提高，此时由EPMA测得的薄膜中Zn／O成分比接近ZnO的化学计量比。(ⅳ)霍尔测量表明样品均呈现出高阻状态，满足声表面波滤波器的制备条件。Ⅱ不同Ar／O_2比条件下ZnO的特性分析(ⅰ) XRD表明随着氧分压的增大，ZnO薄膜的晶体质量趋于下降。(ⅱ) PL谱测量表明，随着氧气流量的增加，PL谱强度先增后减，半高宽的值先减后增，其峰位基本不变。并且分析表明在优化的氧分压条件下(Ar／O_2≈1)，样品的发光性能最好，具有较低的内部缺陷，会相应降低SAW滤波器的插入损耗和传输损耗。(ⅲ)霍尔测量表明样品均呈现出高阻状态，满足SAW滤波器的制备条件。Ⅲ不同射频功率条件下ZnO的特性分析(ⅰ) XRD，PL谱，EPMA结果表明在射频功率为70W的条件下，样品具有最好的结晶性能，最强的PL谱强度以及最高的Zn／O含量。(ⅱ) SEM表明样品表面较平整，这是SAW器件获得较高的机电耦合系数的必要条件。(ⅲ)霍尔测量表明样品均呈现出高阻状态，符合SAW滤波器的要求。(本文来源于《大连理工大学》期刊2007-12-12）
孙剑,白亦真,杨天鹏,孙景昌,杜国同[4]（2007）在《自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性》一文中研究指出采用金属有机化合物气相沉积(MOCVD)两步生长法在自持化学气相沉积(CVD)金刚石厚膜的成核面上制备ZnO薄膜,并研究了薄膜的生长特性和电学特性.结果表明,在基片温度为600℃时沉积得到的ZnO薄膜表面均匀,取向较一致,为c轴取向生长.其载流子迁移率为3.79 cm2/(V.s).(本文来源于《吉林大学学报(理学版)》期刊2007年05期）
孙剑,杨天鹏,白亦真,徐艺滨,王新胜[5]（2006）在《自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究》一文中研究指出ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量。本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征。结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好。(本文来源于《全国薄膜技术学术研讨会论文集》期刊2006-09-01）
孙剑,杨天鹏,徐艺滨,白亦真,王新胜[6]（2005）在《自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究》一文中研究指出表面声学波器件(SAW)是宽带数字通信系统和视频系统的核心部件。随着移动通信行业的迅猛发展,ZnO薄膜式声表面波低损高频滤波以其体积小,可集成化,滤波频率高等突出特性,已成为未来3G通信所关注的焦点。从发展的角度看,工作频率超过1GHz的SAW器件在今后的高频无线通讯中具有及其广泛的需求。为了获得更高的工作频率,SAW器件的相速度需要进一步增加,这可以通过淀积ZnO在高相速度的衬底上来实现。金刚石材料,虽不具备压电特性,但具有最高的弹性刚度常数,声波速度能高达11000ms~(-1)。因此在金刚石上淀积ZnO薄膜,SAW能耦合到金刚石表面,因此能获得高频的SAW器件。(本文来源于《TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》期刊2005-09-01）
自持金刚石厚膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
自持金刚石厚膜论文参考文献
[1].张东,白亦真,秦福文,贾福超,赵纪军.自持金刚石厚膜上GaN薄膜的沉积及其表征[C].TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2009
[2].孙剑,白亦真,谷建峰,刘明,张庆瑜.自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性[J].发光学报.2008
[3].孙剑.自持金刚石厚膜上磁控溅射法沉积ZnO薄膜的研究[D].大连理工大学.2007
[4].孙剑,白亦真,杨天鹏,孙景昌,杜国同.自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性[J].吉林大学学报(理学版).2007
[5].孙剑,杨天鹏,白亦真,徐艺滨,王新胜.自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究[C].全国薄膜技术学术研讨会论文集.2006
[6].孙剑,杨天鹏,徐艺滨,白亦真,王新胜.自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究[C].TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2005