导读:本文包含了扫描场畸变论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:电子束曝光机,偏转系统,畸变校正
扫描场畸变论文文献综述
张明,张玉林,王国瑕,赵春民[1]（1995）在《电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正》一文中研究指出本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。(本文来源于《微细加工技术》期刊1995年02期）
王绍钧[2]（1989）在《电子束曝光系统扫描场的畸变校正》一文中研究指出根据平面区域变换的原理,导出电子束曝光机扫描场的畸变校正函数,并给出计算机模拟校正的结果。(本文来源于《山东工业大学学报》期刊1989年02期）
向钟慧[3]（1989）在《对电子束扫描场畸变表达式的研究》一文中研究指出电子束扫描场的畸变校正是电子束曝光机的关键技术之一。在圆形束曝光机的研制中,首次开展了对电子束扫描场的校正工作。本文探讨了扫描场畸变表达式并叙述了获得最佳校正的途径。(本文来源于《电工电能新技术》期刊1989年01期）
扫描场畸变论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
根据平面区域变换的原理,导出电子束曝光机扫描场的畸变校正函数,并给出计算机模拟校正的结果。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
扫描场畸变论文参考文献
[1].张明,张玉林,王国瑕,赵春民.电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正[J].微细加工技术.1995
[2].王绍钧.电子束曝光系统扫描场的畸变校正[J].山东工业大学学报.1989
[3].向钟慧.对电子束扫描场畸变表达式的研究[J].电工电能新技术.1989