导读:本文包含了去除速率论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:钴,钛,去除速率,选择比
去除速率论文文献综述
梁婷伟,王胜利,王辰伟,刘凤霞[1]（2019）在《钴与钛的去除速率选择比控制及电偶腐蚀》一文中研究指出研究了抛光液pH值、酒石酸钾(PTH)、双氧水(H_2O_2)和硅溶胶对钴插塞和钛阻挡层的去除速率及选择比的影响,并讨论了前3种因素与钴和钛电偶腐蚀的变化关系。采用正交抛光实验探讨了各因素对钴和钛抛光速率的主导度,利用塔菲尔曲线研究了各因素对钴和钛腐蚀电位差的影响趋势。结果显示,升高pH值(由8到10)可大幅降低钴的去除速率至27.7 nm/min,而对于钛的去除速率无明显影响;PTH的引入可同时提高钴与钛的去除速率,并降低二者腐蚀电位差;H_2O_2的增加可有效降低钴的去除速率而同时增大钛的去除速率。因此,升高pH值有利于实现钴和钛的去除速率一致性;固定pH值而改变PTH和H_2O_2体积分数可实现钴与钛的去除速率及选择比可控。(本文来源于《半导体技术》期刊2019年11期）
陆庆楠,贺宇欣,李龙国,张鹏晖[2]（2019）在《粉绿狐尾藻对氮磷的去除速率模型研究》一文中研究指出采用室外完全随机试验,研究粉绿狐尾藻在氨氮、硝氮、总磷叁因素作用下氨氮、硝氮、总磷的去除速率模型。结果表明:粉绿狐尾藻净水能力强弱受叁因素影响表现为总磷>氨氮>硝氮,尤其受总磷、氨氮交互影响,能显着改变粉绿狐尾藻净水能力。氨氮、硝氮、总磷去除速率模型基本符合负指数模型,但因浓度范围不同而表现出差异性。负指数模型中a、b值亦因氨氮、硝氮、总磷浓度不同而表现出较大差异性。以粉绿狐尾藻为主构建生态净水系统后,前0～12 d是净水关键时期,是去除能力最强、去除速率最快、去除污染物最多的时期,12 d后,对氨氮、硝氮、总磷的去除率分别可达60.4%～78.1%,40.20%～49.88%,78.6%～82.94%。研究成果可为实时把控污水污染物浓度提供参数依据,为更好发挥粉绿狐尾藻净水效果提供指导。(本文来源于《节水灌溉》期刊2019年10期）
季军,何平,潘国峰,王辰伟,张文倩[3]（2018）在《CMP工艺对Co/Cu去除速率及速率选择比的影响研究》一文中研究指出化学机械抛光(CMP)工艺中,选用了固定的抛光液组分,即3%体积百分比的FA/O型螯合剂、3%体积百分比的FA/O I型非离子表面活性剂、5% SiO_2。首先研究了不同抛光工艺参数,包括抛光压力、抛光头/抛光盘转速、抛光液流量等,对Co/Cu去除速率及选择比的作用机理。然后采用4因素、3水平的正交试验方法对抛光工艺进行优化实验,得到了较佳的工艺参数。在抛光压力为13.79kPa、抛光头/抛光盘转速为87/93r/min、抛光液流速为300mL/min的条件下,Co/Cu的去除速率选择比为3.26,Co和Cu的粗糙度分别为2.01、1.64nm。(本文来源于《微电子学》期刊2018年05期）
王庆伟,周建伟,王辰伟,王子艳,张佳洁[4]（2018）在《高碘酸钾和双氧水对Cu,Ru和TaN去除速率影响的对比》一文中研究指出Ru/TaN双分子层已经逐渐成为替代传统双分子阻挡层Ta/TaN的最佳选择,而在不同氧化体系中针对Cu,Ru和TaN叁种金属去除速率的研究并不多。分别在H_2O_2和KIO_4两种氧化体系中,通过化学机械抛光(CMP)和电化学研究了Cu,Ru和TaN的去除速率及去除机理。测试结果表明:H_2O_2和KIO_4均可以通过氧化Cu,Ru和TaN叁种金属的表面从而提高叁种材料的去除速率。不同的是,使用KIO_4作为氧化剂可以得到一个更高的Ru去除速率和更高的去除速率选择性,其原因为Ru在KIO_4溶液中更易于形成可溶的RuO_4~-和RuO_4~(2-)离子。此外,通过原子力显微镜(AFM)分别测试了Cu,Ru和TaN叁种金属的表面粗糙度,结果表明:对比KIO_4,在H_2O_2抛光体系中Cu,Ru和TaN可以得到更好的表面质量。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2018年11期）
周灿炜,刘小宁,陈光耀,应臻柯,陶益[5]（2018）在《通气速率对城市污水厂出水培养微藻的生长及氮磷去除促进作用》一文中研究指出利用微藻处理污水厂尾水可以进一步降低水中氮磷,实现污水深度处理和微藻生物质生产的耦合。提高微藻生长速率是提升系统效能的关键问题之一。本研究以普通小球藻处理实际城市污水厂二级出水,连续通入体积比10%的CO_2气体,考察了通气速率对微藻生物量和氮磷去除效果的影响。结果表明,提高CO_2通气速率可以显着提高处理二沉出水小球藻的比生长速率与生物量,其影响在3d后逐渐显着。通气速率600 mL·min~(-1)处理组的生物量最高可达0.59 g·L~(-1)的生物量,比生长速率最高达到0.76 d-1。通气速率提高有助于吹脱光合作用产生的氧气,但会使水体pH值降低至6~7的水平。40 mL·min~(-1)低通气速率最利于氮磷去除,在第3 d时总氮和总磷浓度已降低至1.0 mg·L~(-1)和0.1 mg·L~(-1)以下。高于200 mg·L~(-1)通气速率会造成氮磷去除速率下降。调控CO_2通气速率能够有助于同步优化氮磷污染物质去除和微藻生物质生产过程。(本文来源于《广东化工》期刊2018年14期）
荆建芬,张建,杨俊雅[6]（2018）在《高去除速率低碟形凹陷的铜化学机械抛光液》一文中研究指出随着集成电路技术节点的缩小,需要开发一种具有高去除速率低碟形凹陷的铜化学机械抛光液,而且对抛光后的残留,腐蚀和微划伤等表面缺陷的要求也更严格。这是一种具有优异性能的铜化学机械抛光液。研究了抛光液配方对抛光性能包括去除速率和轮廓,静态腐蚀速率,碟形凹陷,铜残留物的清除能力和铜腐蚀状况的影响。电化学方法也被用来研究和支持这些抛光结果和性能。通过优化配方和抛光工艺,该铜化学机械抛光液能在>0.9μm/min的去除速率下获得约300?的碟形凹陷。(本文来源于《集成电路应用》期刊2018年07期）
曾红波,艾新港,贺家伟,张倍恺,刘泳鸿[7]（2018）在《单流中间包挡墙对夹杂物去除速率的影响》一文中研究指出优化中间包结构去除钢液夹杂物是一项重要工作。本文建立某厂单流中间包的夹杂物去除的数学模型,计算不同挡墙高度及入口、出口位置对中间包内夹杂物去除的影响。结论表明:夹杂物去除速率最高时,下挡墙高为318 mm,上挡墙距钢包底部距离为532 mm,上下挡墙距离为600 mm,上挡墙距钢包入口距离为800 mm。(本文来源于《辽宁科技大学学报》期刊2018年03期）
张文倩,刘玉岭,王辰伟,牛新环,杜义琛[8]（2018）在《无氧化剂条件下铜钴CMP去除速率的控制》一文中研究指出利用不含氧化剂的碱性抛光液对铜和钴进行化学机械抛光,深入分析了抛光液组分包括硅溶胶磨料、FA/O螯合剂以及非离子表面活性剂对两种金属去除速率的影响规律及作用机理。实验结果表明,铜和钴的去除速率随着磨料质量分数的增加而升高,并且在磨料质量分数低于5%时钴的去除速率为20~30 nm/min,而铜的去除速率几乎为零;加入FA/O螯合剂可增强其与金属离子的络合,从而加快铜和钴的去除速率;非离子表面活性剂可以有效降低铜和钴的表面粗糙度。在抛光液各组分的协同作用下,可以达到两种材料的低表面粗糙度和高去除速率选择性。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2018年01期）
员建,栾萌竹,孙涛,苑宏英[9]（2016）在《搅拌速率和时间对强化混凝去除微污染水中镍(Ⅱ)及有机物的影响》一文中研究指出采用静态实验考察了投加高铁酸钾强化混凝的效果,通过控制不同的絮凝搅拌速率、絮凝时间及原水浊度来强化镍(Ⅱ)和有机物的去除。结果表明,絮凝搅拌速度和时间、原水浊度是影响镍(Ⅱ)和有机物的去除效果的重要因素。原水镍(Ⅱ)质量浓度为1 mg·L~(-1)、TOC为10 mg·L~(-1),在一级絮凝搅拌速率为200 r·min~(-1)、时间为2 min,二级絮凝搅拌速率为40 r·min~(-1)、时间为10 min,原水浊度为36.7 NTU时,出水剩余镍为0.018 mg·L~(-1),去除率达到98.2%,TOC去除率为58.8%,浊度去除率为73.8%。出水可满足《生活饮用水卫生标准》的要求。高铁酸钾强化混凝可作为给水厂应对镍污染的一种有效处理措施。(本文来源于《环境工程学报》期刊2016年10期）
张金,刘玉岭,闫辰奇,张文霞[10]（2016）在《抛光液成分对铝栅化学机械抛光过程中铝去除速率的影响》一文中研究指出在低工作压力(1 psi)和低磨料用量(纳米硅溶胶体积分数2.5%,后同)下,通过单因素实验探讨了碱性抛光液组分(包括氧化剂H_2O_2、FA/O型螯合剂和非离子型表面活性剂)含量对铝栅化学机械抛光过程中铝去除速率的影响,确定抛光液的组成为:氧化剂1.5%,螯合剂0.5%,表面活性剂1.0%。铝的去除速率为100 nm/min,抛光后的表面粗糙度为8.85 nm。(本文来源于《电镀与涂饰》期刊2016年11期）
去除速率论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用室外完全随机试验,研究粉绿狐尾藻在氨氮、硝氮、总磷叁因素作用下氨氮、硝氮、总磷的去除速率模型。结果表明:粉绿狐尾藻净水能力强弱受叁因素影响表现为总磷>氨氮>硝氮,尤其受总磷、氨氮交互影响,能显着改变粉绿狐尾藻净水能力。氨氮、硝氮、总磷去除速率模型基本符合负指数模型,但因浓度范围不同而表现出差异性。负指数模型中a、b值亦因氨氮、硝氮、总磷浓度不同而表现出较大差异性。以粉绿狐尾藻为主构建生态净水系统后,前0～12 d是净水关键时期,是去除能力最强、去除速率最快、去除污染物最多的时期,12 d后,对氨氮、硝氮、总磷的去除率分别可达60.4%～78.1%,40.20%～49.88%,78.6%～82.94%。研究成果可为实时把控污水污染物浓度提供参数依据,为更好发挥粉绿狐尾藻净水效果提供指导。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
去除速率论文参考文献
[1].梁婷伟,王胜利,王辰伟,刘凤霞.钴与钛的去除速率选择比控制及电偶腐蚀[J].半导体技术.2019
[2].陆庆楠,贺宇欣,李龙国,张鹏晖.粉绿狐尾藻对氮磷的去除速率模型研究[J].节水灌溉.2019
[3].季军,何平,潘国峰,王辰伟,张文倩.CMP工艺对Co/Cu去除速率及速率选择比的影响研究[J].微电子学.2018
[4].王庆伟,周建伟,王辰伟,王子艳,张佳洁.高碘酸钾和双氧水对Cu,Ru和TaN去除速率影响的对比[J].微纳电子技术.2018
[5].周灿炜,刘小宁,陈光耀,应臻柯,陶益.通气速率对城市污水厂出水培养微藻的生长及氮磷去除促进作用[J].广东化工.2018
[6].荆建芬,张建,杨俊雅.高去除速率低碟形凹陷的铜化学机械抛光液[J].集成电路应用.2018
[7].曾红波,艾新港,贺家伟,张倍恺,刘泳鸿.单流中间包挡墙对夹杂物去除速率的影响[J].辽宁科技大学学报.2018
[8].张文倩,刘玉岭,王辰伟,牛新环,杜义琛.无氧化剂条件下铜钴CMP去除速率的控制[J].微纳电子技术.2018
[9].员建,栾萌竹,孙涛,苑宏英.搅拌速率和时间对强化混凝去除微污染水中镍(Ⅱ)及有机物的影响[J].环境工程学报.2016
[10].张金,刘玉岭,闫辰奇,张文霞.抛光液成分对铝栅化学机械抛光过程中铝去除速率的影响[J].电镀与涂饰.2016