本文主要研究内容
作者许钊(2019)在《圆弧轨迹拟合的步进电机模糊控制系统》一文中研究指出:制作高闪耀角一致性的曲面闪耀光栅需要工作台能够进行曲线拟合运动,而工作台的运动控制是由步进电机完成的,因此为了得到高精度的运动轨迹,需要对控制工作台运功的步进电机控制算法进行研究。首先,介绍了曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的原理方案和一种适用于工作台的圆弧拟合算法,提出了一种适用于步进电机的模糊控制算法。随后,开展了三维工作台运动轨迹拟合实验,并对不同控制方法下的拟合轨迹进行了对比。实验结果表明:工作台进行15个周期的凸面曲线拟合运动的累积定位误差小于0.15mm,角度误差小于0.02°。进一步提升了三维运动工作平台的稳定性和精度。
Abstract
zhi zuo gao shan yao jiao yi zhi xing de qu mian shan yao guang shan xu yao gong zuo tai neng gou jin hang qu xian ni ge yun dong ,er gong zuo tai de yun dong kong zhi shi you bu jin dian ji wan cheng de ,yin ci wei le de dao gao jing du de yun dong gui ji ,xu yao dui kong zhi gong zuo tai yun gong de bu jin dian ji kong zhi suan fa jin hang yan jiu 。shou xian ,jie shao le qu mian shan yao guang shan li zi shu ke shi ji san wei gong zuo tai de yuan li fang an he yi chong kuo yong yu gong zuo tai de yuan hu ni ge suan fa ,di chu le yi chong kuo yong yu bu jin dian ji de mo hu kong zhi suan fa 。sui hou ,kai zhan le san wei gong zuo tai yun dong gui ji ni ge shi yan ,bing dui bu tong kong zhi fang fa xia de ni ge gui ji jin hang le dui bi 。shi yan jie guo biao ming :gong zuo tai jin hang 15ge zhou ji de tu mian qu xian ni ge yun dong de lei ji ding wei wu cha xiao yu 0.15mm,jiao du wu cha xiao yu 0.02°。jin yi bu di sheng le san wei yun dong gong zuo ping tai de wen ding xing he jing du 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自科技创新与应用的许钊,发表于刊物科技创新与应用2019年08期论文,是一篇关于步进电机论文,模糊控制论文,轨迹拟合论文,科技创新与应用2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自科技创新与应用2019年08期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。
标签:步进电机论文; 模糊控制论文; 轨迹拟合论文; 科技创新与应用2019年08期论文;