导读:本文包含了声表面横波谐振器论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:声表面波,回波信号,数字频率,有效数字
声表面横波谐振器论文文献综述
刘伯权,郭佳佳,罗治民[1]（2019）在《声表面波谐振器回波信号的频率估计》一文中研究指出声表面波(SAW)谐振器测量技术能在高温、高压、强电磁辐射和强电磁干扰等恶劣环境下,实现无线无源的参数检测。针对声表面波谐振器回波信号的非平稳特点,该文提出一种回波信号的频率测量方法"数字频率有效位数跟进法"(DFSPT)。仿真结果表明,该方法与现有的基于傅里叶变换法(FFT)和奇异值分解法(SVD)的方法相比,其能根据信噪比的不同,自行确定数字频率有效数字的位数,提高了频率估计的精度和稳定性。无线SAW温度传感器实验表明,该方法的频率估计标准差小,鲁棒性高。(本文来源于《电子与信息学报》期刊2019年09期）
姜建利[2]（2019）在《基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁声表面波谐振器研究》一文中研究指出近年来,人们致力于将层状磁电材料和声表面波技术相结合来实现磁场探测,研究磁电声表面波在磁传感领域有着十分重要的学术意义和应用价值。本论文提出了一种基于ScAlN/FeGa多层结构的集成化磁声表面波谐振器,可用于直流和宽频磁场的高灵敏度探测。本论文的主要工作如下:首先,从各向异性介质中任意方向的弹性模量出发,得到了FeGa晶体的杨氏模量叁维各向异性图像,梳理了应力和磁致负泊松比效应及其机理,然后计算各向异性介质中的弹性波,得到不同成分FeGa合金面内和对角面内的慢度曲线,讨论了负泊松比对慢度曲线的影响。其次,采用数值分析和有限元仿真软件计算了ScAlN/FeGa半无限异质结构中瑞利波在不同方向传播的频散曲线、机电耦合系数和截止频率。计算结果表明:瑞利波在Fe_(81.3)Ga_(18.7)(001)[100]方向传播时,谐振频率和压电薄膜厚度乘积fh的截止值仅为0.3 GHz·μm,相速度v_p变化范围为2175～2250 m/s,机电耦合系数K~2变化范围为0～0.4%;而在具有负泊松比的Fe_(81.3)Ga_(18.7)(001)[110]方向传播时,fh的截止值提高至1.58 GHz·μm,v_p变化范围为3000～3300 m/s,K~2变化范围为0.2～1.2%。通过COMSOL仿真上述不同方向传播时的振型、导纳特性,得出了FeGa负泊松比效应对瑞利波传播特性的重要影响。接着,在FeGa合金衬底上采用射频磁控溅射法制备c轴高度取向的ScAlN薄膜,其摇摆曲线半高宽仅为3.68°,厚度1.2～2μm,表面粗糙度为5 nm,膜-基附着力为22 N,各项性能指标满足SAW谐振器的制备要求。最后,采用lift-off工艺在ScAlN/FeGa结构上制备了叉指换能器,线宽和波长分别为4μm、16μm。采用矢量网络分析仪和微波探针台对单端口磁电SAW谐振器进行测试,测试结果表明:Sc_(21.3)Al_(78.7)N/Fe_(81.3)Ga_(18.7)结构SAW谐振器的谐振频率f_r为176 MHz,机电耦合系数K~2为0.7%;Sc_(21.3)Al_(78.7)N/Fe_(72.8)Ga_(27.2)结构SAW谐振器中出现多种模式,其中瑞利波的谐振频率f_r为259 MHz,K~2为1%。对谐振器的磁场灵敏度分析得出:当频率分辨率为100 Hz时,谐振器磁场灵敏度可达4.2×10~(-9) Tesla,可实现高灵敏磁场探测。(本文来源于《电子科技大学》期刊2019-04-01）
姜建利,杨雪梅,刘婉,白飞明[3]（2019）在《基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器》一文中研究指出该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器。首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAlN薄膜进行结构分析;最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台测试S参数和群时延。结果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱状生长且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;当ScAlN压电薄膜厚为0.7μm,波长为15.74μm时,SAW谐振器的谐振频率为218.75 MHz,相速度为3 443m/s,机电耦合系数为0.06%,与COMSOL仿真计算结果较吻合。(本文来源于《压电与声光》期刊2019年01期）
谢小伟,彭斌,喻恒,李凌,张万里[4]（2018）在《聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响》一文中研究指出该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。(本文来源于《压电与声光》期刊2018年06期）
陈赵兴,陈智军,李庆亮,陈涛,赵文玉[5]（2018）在《采用双本振源激励的声表面波谐振器无线测量系统》一文中研究指出在声表面波无线传感的实际应用中,针对以差动形式同时出现的两个声表面波谐振器设计了一种采用双本振源激励的阅读器,每次产生包括两个载波频率的激励信号,使两个谐振器同时响应。实际搭建了无线测量系统,对阅读器的发射和接收链路进行了测试,并通过上位机实时显示谐振频率,测量结果表明了系统的可靠性。最后,实验分析了系统在不同载波频率激励信号下的差动频率测量结果和最远测量距离。(本文来源于《计量学报》期刊2018年05期）
周卫[6]（2018）在《GHz石英基片声表面横波谐振器和谐振滤波器》一文中研究指出压电石英基片上激励的声表面波,具有一阶温度系数为0的特点。声表面横波器件,高品质因数Q值的谐振器在频率源中作为频率控制元件,窄带谐振滤波器可滤除信号近端的杂波,具有工作频率高,损耗小的特点。该文描述了采用声表面横波模式制作的吉赫兹谐振器,有载Q值可达3 813;频率达1GHz的窄带低损耗谐振滤波器,损耗仅为2.74dB。(本文来源于《压电与声光》期刊2018年02期）
艾玉杰[7]（2017）在《氮化铝基声表面波谐振器》一文中研究指出基于铌酸锂的声表面波(SAW)器件已经在射频移动通讯前端实现大规模商用化。但伴随移动通讯技术的迅猛发展,通讯系统的工作频率不断升高,由于受到声速和换能器插指间距的限制,传统的铌酸锂SAW难以满足不断提升的工作频率的需求。因此,基于高声速、低声学损耗的AIN薄膜制备高频SAW器件成为目前研究的热点问题。在本文中我们采用相同的器件结构和工艺制备条件,首次系统研究了AIN薄膜生长技术对AIN基SAW谐振器性能的影响。结果表明:相比磁控溅射的AIN薄膜,MOCVD制备的AIN薄膜具有更高的(002)和(102)结晶质量和更低的表面粗糙度。因此,与基于磁控溅射AIN的SAW谐振器相比,基于MOCVD AIN的SAW谐振器的谐振频率提高0.5%,有效机电耦合系数增加5%。我们认为MOCVD技术在制备高性能AIN基SAW器件方面具有重要的应用前景(本文来源于《2017第六届国际新材料大会会刊》期刊2017-06-14）
文理为[8]（2017）在《基于AlN薄膜的声表面波谐振器设计方法研究》一文中研究指出声表面波谐振器(Surface Acoustic Wave Resonator)是一种良好的声波信号选择器件,其主要作用是对特定声波信号的频率选择,达到滤波目的。声表面波谐振器的应用非常广泛,涉及移动通信、航空航天、军事设备、雷达、智能家居以及广播电视等多个领域,特别是在现代通信方面的应用极其普遍。随着当代无线通讯技术向高频化、微型化的发展势头,对声表面波谐振器的性能要求也随之变高,因此对声表面波谐振器的研究也就显得十分必要了。本文研究的是基于氮化铝(AlN)薄膜的声表面波谐振器的设计方法,从研究叉指换能器(Interdigital Transducer,IDT)的构造特征出发,在IDT改进型?函数模型的基础上,构造了单端梯形声表面波谐振器、单端叁角形声表面波谐振器以及单端圆形声表面波谐振器叁种声表面波谐振器结构。本文以课题的研究背景以及研究意义为出发点,简单分析了声表面波技术以及课题的海内外发展现状。然后以石英晶体谐振器和压电陶瓷谐振器为例,从其工作原理及性能特点出发对传统谐振器做了简要分析,比较了各谐振器的优劣差别,并分析了声表面波谐振器的基本工作机理。接着分析了声表面波谐振器的基本结构,重点分析了声表面波谐振器的核心器件—叉指换能器,介绍了叉指换能器的工作原理以及各参数之间的关系。分析了声表面波的传播载体压电材料,简单介绍了几种常见的压电材料的特性,着重介绍了本课题所选择的氮化铝压电薄膜,然后给出了判断声表面波谐振器性能的衡量参数。再然后研究了声表面波谐振器的建模方法以及数学表达方法,按照改进型?函数模型对所设计的叁种声表面波谐振器进行数学建模,并用MATLAB进行仿真分析。最后,总结全文,提出下一步工作计划和改进建议。(本文来源于《贵州大学》期刊2017-04-01）
杨雪梅[9]（2017）在《基于压电/磁致伸缩层状复合薄膜的磁电声表面波谐振器的研究》一文中研究指出本论文针对现阶段磁场传感器灵敏度不高、体积大等问题,提出基于磁电复合多层膜结构和声表面波结合的技术实现磁场探测的声表面波谐振器。本论文的声表面波谐振器是基于ScAlN/FeGa磁电复合多层膜结构,可以应用于直流或者低频磁场环境的探测。本论文的主要的研究内容有:1、采用散射矩阵法和COMSOL Multiphysics两种方法分别计算了ScAl N/FeGa多层结构的传播特性,包括瑞利波的频散曲线和机电耦合系数以及截止杨氏模量。散射矩阵法计算结果表明ScAlN/FeGa多层结构在谐振频率和压电薄膜厚度的乘积f*hScAlN小于0.32GHZ?μm区间内声表面波波速的变化范围为2089m/s到2249m/s,机电耦合系数从0.2%增加至0.8%,然后又降低至0.02%。多层膜结构存在一个杨氏模量下限,低于截止杨氏模量,SAW不能激发,因此需将f*hSc AlN的值限制在0.29GHZ.μm以下的区间。COMSOL仿真结果与散射矩阵方法得到的声表面波波速和机电耦合系数的结果一致,验证了计算的正确性。2、采用射频磁控溅射镀膜制备了AlN薄膜,在此基础上使用贴片靶材制备Sc含量不同的ScAlN薄膜。详细研究了溅射工艺条件对于薄膜取向和表面形貌等的影响,得到制备高度c轴取向压电薄膜的最优条件。其中,AlN薄膜的摇摆曲线半高宽为5o,表面粗糙度为2.8nm;Sc含量为14.5%的ScAlN薄膜的摇摆曲线半高宽为3.6o,表面粗糙度为2.36nm。探索了Sc的掺杂量不同对于ScAlN薄膜的生长速率和晶体结构的影响。针对制备AlN和ScAlN过程中对于N2分压的需求量的显着差异,采用第一性原理计算了薄膜生长过程,提出了较为可信的解释。3、为了制备SAW谐振器,首先对FeGa基片进行了抛光处理并测试其表面粗糙度。接着采用机械共振方法测试了退火之后的FeGa基片的巨杨氏模量效应和磁机耦合系数。在此基础上,研究了光刻叉指结构的工艺条件,采用光刻胶AZ5214在基片表面光刻制备叉指宽度为4μm的叉指电极,完成了磁电SAW谐振的制备。最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台对单端口磁电SAW谐振器进行了测试,其中心频率为218MHz,即声表面波波速为3488m/s。ScAlN/FeGa多层结构的引入降低了制备工艺难度的同时,提高了器件的声表面波波速,为压电/磁致伸缩多层结构的SAW器件应用到实际中提供了可能性。(本文来源于《电子科技大学》期刊2017-03-15）
陈硕,尤政[10]（2016）在《基于AlN/α-SiC的声表面波谐振器应变响应特性》一文中研究指出面向高温环境应用的微纳传感器在燃气轮机健康监控、地热井环境监控等领域具有广泛的应用前景。该文主要介绍了一种基于AlN薄膜和α-SiC衬底的声表面波谐振器,讨论了谐振器的应变敏感性来源,提出了一种基于应变场-波速关系计算谐振器应变敏感系数的方法。采用微纳米加工工艺加工了谐振器,并进行了材料表征。测量了谐振器的应变敏系数:具有1.5μm厚AlN压电薄膜的AlN/α-SiC基声表面波谐振器在298K下应变敏感系数为0.515×10-6/με,与计算结果具有较好一致性。(本文来源于《清华大学学报(自然科学版)》期刊2016年10期）
声表面横波谐振器论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
近年来,人们致力于将层状磁电材料和声表面波技术相结合来实现磁场探测,研究磁电声表面波在磁传感领域有着十分重要的学术意义和应用价值。本论文提出了一种基于ScAlN/FeGa多层结构的集成化磁声表面波谐振器,可用于直流和宽频磁场的高灵敏度探测。本论文的主要工作如下:首先,从各向异性介质中任意方向的弹性模量出发,得到了FeGa晶体的杨氏模量叁维各向异性图像,梳理了应力和磁致负泊松比效应及其机理,然后计算各向异性介质中的弹性波,得到不同成分FeGa合金面内和对角面内的慢度曲线,讨论了负泊松比对慢度曲线的影响。其次,采用数值分析和有限元仿真软件计算了ScAlN/FeGa半无限异质结构中瑞利波在不同方向传播的频散曲线、机电耦合系数和截止频率。计算结果表明:瑞利波在Fe_(81.3)Ga_(18.7)(001)[100]方向传播时,谐振频率和压电薄膜厚度乘积fh的截止值仅为0.3 GHz·μm,相速度v_p变化范围为2175～2250 m/s,机电耦合系数K~2变化范围为0～0.4%;而在具有负泊松比的Fe_(81.3)Ga_(18.7)(001)[110]方向传播时,fh的截止值提高至1.58 GHz·μm,v_p变化范围为3000～3300 m/s,K~2变化范围为0.2～1.2%。通过COMSOL仿真上述不同方向传播时的振型、导纳特性,得出了FeGa负泊松比效应对瑞利波传播特性的重要影响。接着,在FeGa合金衬底上采用射频磁控溅射法制备c轴高度取向的ScAlN薄膜,其摇摆曲线半高宽仅为3.68°,厚度1.2～2μm,表面粗糙度为5 nm,膜-基附着力为22 N,各项性能指标满足SAW谐振器的制备要求。最后,采用lift-off工艺在ScAlN/FeGa结构上制备了叉指换能器,线宽和波长分别为4μm、16μm。采用矢量网络分析仪和微波探针台对单端口磁电SAW谐振器进行测试,测试结果表明:Sc_(21.3)Al_(78.7)N/Fe_(81.3)Ga_(18.7)结构SAW谐振器的谐振频率f_r为176 MHz,机电耦合系数K~2为0.7%;Sc_(21.3)Al_(78.7)N/Fe_(72.8)Ga_(27.2)结构SAW谐振器中出现多种模式,其中瑞利波的谐振频率f_r为259 MHz,K~2为1%。对谐振器的磁场灵敏度分析得出:当频率分辨率为100 Hz时,谐振器磁场灵敏度可达4.2×10~(-9) Tesla,可实现高灵敏磁场探测。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
声表面横波谐振器论文参考文献
[1].刘伯权,郭佳佳,罗治民.声表面波谐振器回波信号的频率估计[J].电子与信息学报.2019
[2].姜建利.基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁声表面波谐振器研究[D].电子科技大学.2019
[3].姜建利,杨雪梅,刘婉,白飞明.基于ScAlN/FeGa结构的磁电声表面波谐振器[J].压电与声光.2019
[4].谢小伟,彭斌,喻恒,李凌,张万里.聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响[J].压电与声光.2018
[5].陈赵兴,陈智军,李庆亮,陈涛,赵文玉.采用双本振源激励的声表面波谐振器无线测量系统[J].计量学报.2018
[6].周卫.GHz石英基片声表面横波谐振器和谐振滤波器[J].压电与声光.2018
[7].艾玉杰.氮化铝基声表面波谐振器[C].2017第六届国际新材料大会会刊.2017
[8].文理为.基于AlN薄膜的声表面波谐振器设计方法研究[D].贵州大学.2017
[9].杨雪梅.基于压电/磁致伸缩层状复合薄膜的磁电声表面波谐振器的研究[D].电子科技大学.2017
[10].陈硕,尤政.基于AlN/α-SiC的声表面波谐振器应变响应特性[J].清华大学学报(自然科学版).2016