导读:本文包含了溅镀反应论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:力学性能,ZrCN薄膜,直流磁控反应溅射,正交实验设计
溅镀反应论文文献综述
陈正士,朱敏,万自成,孙代育[1]（2009）在《直流磁控反应溅镀ZrCN薄膜及其力学性能研究》一文中研究指出采用直流磁控反应溅射方法在不锈钢基体上沉积ZrCN薄膜,通过正交实验设计,重点分析偏压、C_2H_2流量和N_2流量等因子对薄膜力学性能的影响作用。利用扫描电镜(SEM)和辉光放电发射光谱仪(GD-OES)对薄膜表面形貌及成份进行表征,用洛氏硬度计、维氏硬度计等测评薄膜的力学性能。结果表明:偏压对膜层硬度和膜层厚度影响最为显着,而N_2流量对膜层附着性能影响最为显着,性能优化参数组合为偏压250V,N_2流量45sccm,C_2H_2流量10sccm。(本文来源于《第六届华东叁省一市真空学术交流会论文集》期刊2009-10-22）
陈正士,徐华阳,陈晓强,马闯[2]（2009）在《直流磁控反应溅镀NiCr-CN薄膜性能研究》一文中研究指出采用直流磁控溅射技术在不锈钢304基体上沉积NiCr-CN膜层。利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)和辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分别对膜层微观形貌及成分-深度分布进行分析:采用显微维氏硬度计及洛氏硬度计测评薄膜机械性能。结果表明:采用直流磁控溅射可沉积出表面光滑、颜色均匀、附着力与韧性较好之NiCr-CN薄膜,其硬度和附着性能优化参数组合为功率3000W,偏压20V,C_2H_2流量20sccm,N_2流量40sccm。(本文来源于《第六届华东叁省一市真空学术交流会论文集》期刊2009-10-22）
溅镀反应论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用直流磁控溅射技术在不锈钢304基体上沉积NiCr-CN膜层。利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)和辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分别对膜层微观形貌及成分-深度分布进行分析:采用显微维氏硬度计及洛氏硬度计测评薄膜机械性能。结果表明:采用直流磁控溅射可沉积出表面光滑、颜色均匀、附着力与韧性较好之NiCr-CN薄膜,其硬度和附着性能优化参数组合为功率3000W,偏压20V,C_2H_2流量20sccm,N_2流量40sccm。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
溅镀反应论文参考文献
[1].陈正士,朱敏,万自成,孙代育.直流磁控反应溅镀ZrCN薄膜及其力学性能研究[C].第六届华东叁省一市真空学术交流会论文集.2009
[2].陈正士,徐华阳,陈晓强,马闯.直流磁控反应溅镀NiCr-CN薄膜性能研究[C].第六届华东叁省一市真空学术交流会论文集.2009