本文主要研究内容
作者伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超,周长伟,江均均,吴迪（2019）在《高频高压低温等离子体发生研究》一文中研究指出：针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统。该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定发生。实验结果表明,系统工作频率稳定在262kHz,系统能够稳定发生低温等离子体,等离子体束长可达13.1cm,系统工作稳定后,零电压软开关系统的效率为87.4%,与传统直流等离子体发生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,实现了驱动管耗的降低和输入电源效率的提升。
Abstract
zhen dui chuan tong qi ti fang dian shi deng li zi ti fa sheng qi dian yuan xiao lv bu gao 、shi yong shou ming you xian deng wen ti ,di chu le yi chong ling dian ya ruan kai guan gao pin gao ya di wen deng li zi ti fa sheng fang fa ,bing she ji le yi ge gao xiao lv di sun hao de gao pin gao ya di wen deng li zi ti fa sheng ji tong 。gai ji tong tong guo yi xiang quan qiao ruan kai guan kong zhi dian lu di gong kong zhi xin hao ,guang ou ge li dian lu jiang di jiang dian gan rao ,zai ling dian ya ruan kai guan qu dong xia ,jing gao pin xie zhen sheng ya dian lu dui shu ru xin hao sheng ya ,shi xian di wen deng li zi ti de wen ding fa sheng 。shi yan jie guo biao ming ,ji tong gong zuo pin lv wen ding zai 262kHz,ji tong neng gou wen ding fa sheng di wen deng li zi ti ,deng li zi ti shu chang ke da 13.1cm,ji tong gong zuo wen ding hou ,ling dian ya ruan kai guan ji tong de xiao lv wei 87.4%,yu chuan tong zhi liu deng li zi ti fa sheng ju zui gao 77%xiao lv xiang bi ,di gao le 10.4%,shi xian le qu dong guan hao de jiang di he shu ru dian yuan xiao lv de di sheng 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自真空科学与技术学报的伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超,周长伟,江均均,吴迪，发表于刊物真空科学与技术学报2019年09期论文，是一篇关于低温等离子体论文,全桥移相论文,零电压软开关论文,高频谐振论文,真空科学与技术学报2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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