本文主要研究内容
作者陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源（2019）在《基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究》一文中研究指出：采用等离子体增强化学气相沉积方法（PECVD）制备了应用于微测辐射热计的非晶硅锗薄膜（a-SixGey）,并研究了不同反应气体流量比GeH4/SiH4对薄膜电学性能参数（电阻温度系数TCR和电导率）的影响。研究结果表明,随着流量比GeH4/SiH4的增大,薄膜电阻温度系数降低,电导率则呈现上升趋势。所制备的薄膜表现出了高TCR值(约3.5%/K-1),适中的电导率(1.47×10-3（Ω·cm）-1)和优良的薄膜电阻均匀性（非均匀性<5%）,在微测辐射热计热敏材料领域具有良好的应用前景。
Abstract
cai yong deng li zi ti zeng jiang hua xue qi xiang chen ji fang fa （PECVD）zhi bei le ying yong yu wei ce fu she re ji de fei jing gui du bao mo （a-SixGey）,bing yan jiu le bu tong fan ying qi ti liu liang bi GeH4/SiH4dui bao mo dian xue xing neng can shu （dian zu wen du ji shu TCRhe dian dao lv ）de ying xiang 。yan jiu jie guo biao ming ,sui zhao liu liang bi GeH4/SiH4de zeng da ,bao mo dian zu wen du ji shu jiang di ,dian dao lv ze cheng xian shang sheng qu shi 。suo zhi bei de bao mo biao xian chu le gao TCRzhi (yao 3.5%/K-1),kuo zhong de dian dao lv (1.47×10-3（Ω·cm）-1)he you liang de bao mo dian zu jun yun xing （fei jun yun xing <5%）,zai wei ce fu she re ji re min cai liao ling yu ju you liang hao de ying yong qian jing 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自激光与红外的陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源，发表于刊物激光与红外2019年03期论文，是一篇关于非晶硅锗薄膜论文,电阻温度系数论文,电导率论文,微测辐射热计论文,激光与红外2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自激光与红外2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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