导读:本文包含了牺牲层材料论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微机械系统,残余应力,薄膜,牺牲层
牺牲层材料论文文献综述
王莎莎,陈兢,张海霞[1]（2005）在《不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究》一文中研究指出测量了淀积在叁种不同的牺牲层材料(热氧SiO2、LPCVD SiO2、LPCVD PSG)上LPCVD氦化硅薄膜的应力,结果表明,不同牺牲层上淀积的氮化硅薄膜残余应力存在较大的差异。从多方面分析了残余应力差异产生的原因,实验得到的结果为器件的设计提供了更准确的依据。(本文来源于《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）》期刊2005-08-01）
崔铮,Ｄ．Ｐｒｅｗｅｔｔ[2]（1997）在《用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械》一文中研究指出报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械，动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比，光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先，光致抗蚀剂能直接涂敷，能直接光刻成形。此外，用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后，结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。(本文来源于《光电工程》期刊1997年S1期）
牺牲层材料论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械，动件和固定件同时制作。要求的掩模数减到最少。同现有的牺牲层材料相比，光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先，光致抗蚀剂能直接涂敷，能直接光刻成形。此外，用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后，结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
牺牲层材料论文参考文献
[1].王莎莎,陈兢,张海霞.不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究[C].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005
[2].崔铮,Ｄ．Ｐｒｅｗｅｔｔ.用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械[J].光电工程.1997