导读:本文包含了光热微驱动机构论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:光热膨胀,光热微驱动机构(OTMA),动态响应特性,偏转量
光热微驱动机构论文文献综述
尤清扬,王英达,秦春,章海军[1]（2017）在《光热微驱动机构动态响应特性的理论与实验研究》一文中研究指出理论和实验研究了脉冲激光照射下光热微驱动机构的动态响应特性,建立了微膨胀臂的光热温升及光热膨胀的动态模型,导出了动态光热膨胀伸长量及振幅的计算公式,并通过Matlab仿真得到它们与激光脉冲频率之间的理论关系曲线。设计与微加工制作了一种总长为700μm的非对称型光热微驱动机构(A-OTMA),在功率为2 mW、频率为2~18Hz可调的脉冲激光照射控制下开展了动态光热驱动实验。采用显微视频成像系统及运动测量软件,对A-OTMA光热微驱动过程进行了实时监测和测量。实验结果表明,A-OTMA能够以与激光脉冲相同的频率实现周期性偏转运动,光热偏转量及振幅随激光脉冲频率的增大而减小,其变化趋势与理论曲线吻合,获得的最大偏转量振幅为14.9μm(2 Hz时),最大响应频率至少达到18Hz。本文的动态响应特性的理论和实验研究,为OTMA在微光机电系统(MOEMS)及微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础。(本文来源于《光电子·激光》期刊2017年05期）
赵冬伟[2]（2012）在《基于LIGA技术的光热微驱动机构研究》一文中研究指出微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要组成部分,已成为各国学者研究的热点。本文提出了一种新型微驱动技术——光热微驱动技术,设计了多种光热微驱动机构,并采用LIGA(Lithographe Galvanoformung Abformtechnik,德文,可翻译为：同步辐射X光光刻电铸成型)技术加工制备了多种金属光热微驱动器,对其进行了实验研究和探索性应用研究。光热微驱动器具有原理新颖、结构简单、选材广泛、操控简便、输出力大、可非接触控制、易于微小化和集成化等优点,是一种具有广泛发展和应用前景的新型微驱动器。本文首先介绍了MOEMS技术和微驱动器的发展历史及现状。随后介绍了与微驱动器加工密切相关的微纳米加工技术的发展现状。回顾了LIGA加工技术的发展历史,详细描述了LIGA技术的典型工艺流程、各种应用及优点。介绍了北京同步辐射装置LIGA工作站的相关情况以及LIGA加工过程中涉及到的一些工艺与参数的选择。开展了对光热膨胀机制的理论及仿真研究。分析了光热膨胀的微观机制,建立了微膨胀臂热学模型。用有限元分析软件ANSYS对所建模型进行了仿真研究,分析了导热系数、激光功率、光斑照射位置等因素对微膨胀臂温度场及形变量的影响。在对微膨胀臂光热膨胀机制理论及仿真研究的基础上,设计了多种光热微驱动机构。重点对开关型和V型光热微驱动器的驱动机制开展了理论及仿真研究,并利用纯镍与黑镍等金属材料及LIGA技术加工制备了开关型、V型光热微驱动器及其他一些光热微驱动机构。建立了光热微驱动机构的驱动控制及显微观测系统。根据需要设计了整个实验系统,包括激光光源的选择、驱动控制光路的构建、显微成像光路及CCD成像模块的设计。编制和优化了用于光热微驱动测量与分析的软件系统。开展了光热微驱动机构的一系列实验研究。重点对开关型光热微驱动器和V型光热微驱动器进行了实验研究,包括不同激光光斑照射位置、不同激光功率对微驱动器驱动量的影响,不同激光频率下微驱动器的驱动量及响应速度。同时还开展了一些光热微驱动器的探索性应用研究。最后,本文对课题的研究内容和研究成果作了总结,阐述了研究的特色和创新之处,同时也指出了工作中的不足和有待完善的地方,并对今后的工作给出了方向性的建议。(本文来源于《浙江大学》期刊2012-02-10）
光热微驱动机构论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
微纳米技术及微光机电系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical System, MOEMS)代表着未来科技的发展趋势。微驱动机构作为MOEMS的重要组成部分,已成为各国学者研究的热点。本文提出了一种新型微驱动技术——光热微驱动技术,设计了多种光热微驱动机构,并采用LIGA(Lithographe Galvanoformung Abformtechnik,德文,可翻译为：同步辐射X光光刻电铸成型)技术加工制备了多种金属光热微驱动器,对其进行了实验研究和探索性应用研究。光热微驱动器具有原理新颖、结构简单、选材广泛、操控简便、输出力大、可非接触控制、易于微小化和集成化等优点,是一种具有广泛发展和应用前景的新型微驱动器。本文首先介绍了MOEMS技术和微驱动器的发展历史及现状。随后介绍了与微驱动器加工密切相关的微纳米加工技术的发展现状。回顾了LIGA加工技术的发展历史,详细描述了LIGA技术的典型工艺流程、各种应用及优点。介绍了北京同步辐射装置LIGA工作站的相关情况以及LIGA加工过程中涉及到的一些工艺与参数的选择。开展了对光热膨胀机制的理论及仿真研究。分析了光热膨胀的微观机制,建立了微膨胀臂热学模型。用有限元分析软件ANSYS对所建模型进行了仿真研究,分析了导热系数、激光功率、光斑照射位置等因素对微膨胀臂温度场及形变量的影响。在对微膨胀臂光热膨胀机制理论及仿真研究的基础上,设计了多种光热微驱动机构。重点对开关型和V型光热微驱动器的驱动机制开展了理论及仿真研究,并利用纯镍与黑镍等金属材料及LIGA技术加工制备了开关型、V型光热微驱动器及其他一些光热微驱动机构。建立了光热微驱动机构的驱动控制及显微观测系统。根据需要设计了整个实验系统,包括激光光源的选择、驱动控制光路的构建、显微成像光路及CCD成像模块的设计。编制和优化了用于光热微驱动测量与分析的软件系统。开展了光热微驱动机构的一系列实验研究。重点对开关型光热微驱动器和V型光热微驱动器进行了实验研究,包括不同激光光斑照射位置、不同激光功率对微驱动器驱动量的影响,不同激光频率下微驱动器的驱动量及响应速度。同时还开展了一些光热微驱动器的探索性应用研究。最后,本文对课题的研究内容和研究成果作了总结,阐述了研究的特色和创新之处,同时也指出了工作中的不足和有待完善的地方,并对今后的工作给出了方向性的建议。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光热微驱动机构论文参考文献
[1].尤清扬,王英达,秦春,章海军.光热微驱动机构动态响应特性的理论与实验研究[J].光电子·激光.2017
[2].赵冬伟.基于LIGA技术的光热微驱动机构研究[D].浙江大学.2012
标签：光热膨胀; 光热微驱动机构(OTMA); 动态响应特性; 偏转量;