导读:本文包含了微纳加工技术论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微纳加工技术,教学探索,教学实践
微纳加工技术论文文献综述
袁光杰,张勇,田应仲[1]（2019）在《《微纳加工技术导论》课程教学的探索与实践》一文中研究指出微纳加工技术涵盖内容极其广泛且发展迅速,要求课程讲解内容与时俱进。此外,微纳加工技术是一门交叉学科,需要有物理和化学等学科的理论基础,也需要有多方面工程知识和相应的应用能力,这也同样给教学带来一定的挑战性。对于这些问题,通过结合国内外的教学经验,采用多种教学方式结合,将广而深的内容逐一精解,让学生抓住重点,自觉探索,提升学生的自主学习能力和创新意识。(本文来源于《产业与科技论坛》期刊2019年17期）
陈长军[2]（2018）在《第二届中国激光微纳加工技术大会在苏州圆满落幕》一文中研究指出2018年9月20日,第二届中国激光微纳加工技术大会在苏州独墅湖世尊酒店举行。此次大会由江苏省激光产业技术创新战略联盟、《激光制造商情》主办,苏州工业园区激光产业创新联盟协会、智造学堂、苏州纳米科技协同创新中心、江苏省纳米技术产业创新中心、广东省激光产业技术创新联盟承办,清华大学、中国科学院上海光学精密机械研究所、上海市激光技术研究所、苏州大学、广东省激光行业协会、广东星之球激光科技有限公司、中国科学院南京(本文来源于《表面工程与再制造》期刊2018年05期）
本刊编辑部[3]（2018）在《第二届中国激光微纳加工技术大会将于9月在苏州召开》一文中研究指出2018年9月19-21日,由江苏省激光产业技术创新战略联盟、广东省激光产业技术创新联盟等联合主办的第二届中国激光微纳加工技术大会将在苏州召开。此次大会将邀请国内来自于企业及高校研究所的知名专家参加,其中包括邀请清华大学材料学院激光材料加工研究中心钟敏霖教授、中科院上海光学(本文来源于《中国表面工程》期刊2018年04期）
马青[4]（2018）在《基于微纳加工技术的原位纳米电学测试芯片的设计与制备》一文中研究指出随着集成电路技术的发展,器件性能的提高主要是通过不断缩小集成电路的特征尺寸。而当特征尺寸缩小到纳米尺度,出现了以下问题:(1)随着时钟频率和漏电流功耗的增加,功耗密度也随之增加,器件功耗的增大严重影响器件速度的提高。和传统的摩尔定律时代相比,在More Moore时代,IC技术的发展已从性能驱动走向功耗驱动、性能功耗比驱动。(2)器件的结构越来越复杂,器件结构和材料性能的联系、器件的失效机制等相关研究也存在着一定困难。一种方法是引入新的结构、机理和新的材料,就新材料而言,旨在找到高迁移率沟道材料。此外,纳米材料由于纳米粒子独特的量子效应,电场加载下会出现新的物理特性。如何定量描述电场加载下原子尺度各类效应的影响程度,是在未来器件设计中的关键。要获得原位、动态、电场作用下的一体化材料性能与显微结构间关系的信息,需要借助原位透射电子显微镜。但是,目前基于原位透射电镜的电学测试难以同时解决接触面积小、原位构建多电极器件、样品尺寸限制等问题。本文主要针对目前原位电学测试的不足之处,提出了一种基于微纳加工技术的纳米尺度多电极电学测试芯片的设计和制备,通过和堵片相键合来搭建一种原位纳米多电极电学测试平台,这一平台相比于传统设计,具有以下优势:(1)多电极的设计可以实现电子器件的原位构建,避免了非原位构建电子器件制样过程带来的损伤;(2)电极尺寸达到纳米尺度,减小了对样品尺寸的限制;(3)多电极接触使得接触面积比较大,有利于接触电阻的减小。本文提出的这一设计对于原位研究纳米材料/器件的电学性能随结构演变过程,实现纳米电子器件的原位构建和性能研究有重要的意义。本文的主要研究内容和结果如下:(1)首先,针对目前两种基于原位电镜进行电学测试的研究,提出了本文的原位电学测试芯片的结构设计。然后着重介绍了芯片的MEMS加工流程,并对涉及到的主要工艺进行了对比讨论,最后给出了经过上述工艺流片出来的电学芯片器件阵列及其表征结果,对于一次流片金属引线脱落的问题,分析原因并改进加工工艺。(2)鉴于现有工艺无法使得电学芯片多电极的加工达到纳米尺寸,于是在MEMS工艺的基础上进行纳米加工,利用聚焦离子束对流片后的芯片尖端电极进行刻蚀,通过尝试线切割和矩形切割的各种组合找到了一种效率高且精度高的切割方式,使得电极间隙稳定在了100nm以内。为验证聚焦离子束切割后的电极处于断开状态,利用Keithley Instrument 4200-SCS型半导体器件特性分析系统分别测试了探针空载、探针放置在单电极和双电极上的C-V曲线,测试发现,单电极阻值约为14欧,双端电极在施加电压小于阈值电压4.25V时断开,电压大于阈值电压时电极导通。(3)最后,本文又在现有的可以搭载碳膜封装液体腔的光堵片基础上,完成了堵片的设计加工,并实现对电学测试芯片和堵片在STM-TEM样品杆中的成功置入。(本文来源于《东南大学》期刊2018-06-11）
史长坤[5]（2018）在《基于空间光调制技术的飞秒矢量光场微纳加工研究》一文中研究指出目前,飞秒激光微纳加工技术因其脉冲极短,瞬时功率极高,与材料作用区域热效应小的特点在工业生产和科学研究中得到广泛应用。但是由于飞秒激光微纳加工过程中常用的线偏振光场受到光学衍射极限的限制,在许多应用领域制约了飞秒激光微纳加工的精度和加工效率。因此,为了研究实现飞秒激光超分辨、高效率、高可靠性的加工,本文在飞秒激光微纳加工技术的理论基础上结合矢量光场,利用空间光调制技术开展了对飞秒激光矢量光场微纳加工技术的理论与实验研究。首先具体分析并讨论了飞秒激光微纳加工的特性、机理、应用,概述了矢量光场产生的方法以及利用径向偏振转换器产生径向偏振矢量光场的原理,进一步讨论了空间光调制器实现光场调控的原理并结合空间光调制器设计了一种正弦型叁元混合滤波器,对矢量光场的特性进行了优化,产生了超分辨的光针阵列;最后,搭建了飞秒激光矢量光场微纳加工系统实验平台,在此基础上利用超分辨的纵向偏振光针以及光针阵列对氧化石墨烯薄膜和石英玻璃进行了微孔加工,分析了飞秒矢量光场微纳加工的性能,主要研究工作如下:(1)提出了一种飞秒激光结合矢量光场的飞秒激光矢量光场微纳加工技术,理论分析了飞秒激光加工的特性、机理、应用,概述了矢量光场产生的方法以及利用径向偏振产生纵向偏振光针的原理,对比分析了线偏振光和矢量光场的紧聚焦特性;(2)基于径向偏振转换器搭建了产生径向偏振矢量光场的光路,研究了空间光调制器实现光场调控的原理并结合空间光调制器设计了正弦型叁元混合滤波器,利用粒子群优化算法对滤波器进行优化,产生了超分辨的光针阵列。在此基础上搭建了产生纵向偏振矢量光场的实验光路系统,对系统中的主要器件做了深入分析,在驱动软件平台上实现了对矢量光场的调控;(3)在矢量光场实验光路搭建完备的前提下,设计并搭建了飞秒激光微纳加工系统的实验平台,完善了飞秒激光矢量光场微纳加工系统的实验光路,并利用获得的超分辨纵向偏振光针以及光针阵列对氧化石墨烯薄膜进行了微孔加工的实验,详细分析了飞秒激光矢量光场微纳加工的空间分辨率,加工效率以及影响因素。(本文来源于《太原理工大学》期刊2018-06-01）
宋一然,陈庆堂,林振衡,唐群华,林昌[6]（2018）在《飞秒激光数控微纳加工及服务平台组建关键技术》一文中研究指出提出了以飞秒激光为光源,配合高精度的放大及光路、微加工数控系统,搭建了数控微纳加工及公共服务平台,探索了平台组建及加工应用中的关键技术问题,在玻璃、玉石等材料的实际微纳加工中取得了良好的应用效果。(本文来源于《莆田学院学报》期刊2018年02期）
易宁波[7]（2018）在《基于微纳加工技术改性半导体材料及其光电器件制备研究》一文中研究指出从20世纪以来,微纳加工技术的不断进步,推进了半导体工业的全面快速发展。很多科学理论上的预言受制于设备和制备手段的局限性,很难得到实验和应用上的验证。微纳制备技术的更新以及基础理论的不断完善,为这些科学预言走向现实应用提供了良好的平台。微纳加工技术的成熟赋予了材料在光学和电学上新的应用,比如激光微腔、光学超材料、光学超表面、光电探测、生物探测等。因此,基于微纳加工技术在新材料、新器件、新功能上的研究和探索,可以开发出更多具有科学意义的器件和材料特性。本论文利用微纳加工技术深入研究了半导体材料性质以及其光电器件上的应用。主要创新内容如下:利用光刻微纳加工技术制备了硅基光学磁性器件;利用简单电子束蒸镀制备了具有微纳结构的石墨烯表面拉曼增强光学器件,并应用于生物细胞探测;基于电子束微纳加工技术的电子与物质的相互作用,制备了卤素钙钛矿微纳光电器件以及探索了其离子传输特性。具体研究内容如下:基于大面积的微纳加工技术,研究了传统硅半导体材料在新型微纳光学器件上的应用。通过改变周期性的微结构参数改变了硅薄膜的光学性质,实现了在特定波长下的磁谐振。首先从理论模型计算得出,改变周期性微结构的参数,可以实现任意工作波长磁谐振全反射的新型硅基光学器件。采用“光刻-刻蚀”的微纳加工技术制备了厘米面积的新型硅基光学器件,该结构参数是宽度为1.95μm,厚度为2μm,周期为6μm。测试该器件两个偏振方向上的透射光谱,与计算结果一致。计算光谱在8.1μm处形成了较强的磁谐振峰,与实验光谱中分别在TE和TM方向的7.9μm和8.1μm谐振波长误差为-2.5%和0%。微纳加工技术在新型硅基微纳光学器件的应用,为拓宽传统半导体材料的应用范围提供了一种新的思路。利用电子束蒸镀纳米金属颗粒的技术,制备出低成本且具有叁明治结构的银/还原氧化石墨烯/金(Ag@r GO@Au)石墨烯表面拉曼增强(G-SERS)光器件。该器件实现了高达70倍的电磁场机理增强(EM)。利用数值模拟技术模拟了Ag纳米颗粒和Au纳米结构在入射光激发下产生的表面局域电场耦合,解释了金属天线局域表面等离子体电磁场增强机理。结合化学增强机理,可以根据石墨烯特征峰的变化判断癌细胞表面官能团与石墨烯的相互作用;利用增强光谱对癌细胞特征峰的分析,实现了对无标记癌细胞快速探测和鉴别。利用这种简单快速的微纳加工技术,实现了对石墨烯拉曼光谱的增强,同时也为无标记癌细胞检测和鉴别奠定了研究基础。基于电子束曝光技术的电子与物质相互作用,研究了有机/无机溴化铵钙钛矿(CH_3NH_3PbBr_3)表面改性技术以及新型发光器件。实验证明了在电子束照射以后晶体荧光发光(PL)衰减,晶体表面的Pb/Br比值增加,晶体表面形成金属Pb纳米颗粒。利用电子束曝光技术,制备出了一维低阈值钙钛矿微型激光器阵列,实现了钙钛矿晶体激光从WGM模式向F-P模式转变;通过电子束图案曝光的方式制备了二维的周期荧光发光结构和微型发光图案,为高分辨LED设计和制备提供一种新技术选择。基于电子束曝光的钙钛矿微纳制备技术在高分辨显示、发光器件上具有巨大的应用潜力。利用电子束曝光精确调控材料性质,研究了有机/无机溴化铵钙钛矿(CH_3NH_3PbBr_3)中离子传输机理及其光电探测器。根据电子束与物质相互作用的氧化还原过程,通过原子力显微镜观察到了钙钛矿中离子传输的距离大约为5.6μm,在实验上首次验证了钙钛矿中报道的Br离子传输的最优方向,即晶体的<110>方向。并且提出了钙钛矿中晶格空位相邻位置的离子补位传输方式的理论假设。由于电子束引起了Br离子的传输导致钙钛矿晶体的下表面析出金属Pb,其功函数低于钙钛矿的导带可以作为电子传输层材料,从而改善了钙钛矿光电探测器性能。研究结果表明,电子束作用后的光电流明显提高,1 V偏压下光电流提高117%,光电响应速率从79.2 ms提高到8.3 ms。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2018-03-01）
黄远[8]（2017）在《基于多材料微纳加工技术的叁维复杂结构研究》一文中研究指出以多材料微纳加工技术为基础,对叁维复杂结构的制备技术展开研究。重点研究了基于移动X光刻技术的微针阵列的制备,以及利用多种微纳加工技术制备可用于微流控系统的膜片式多材料压电微泵。利用移动X光刻工艺制备不同结构的微针阵列。通过两次90°交叉的移动X光刻工艺,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基板上制备出实心微针阵列;利用对准X光曝光工艺将实心微针阵列制成空心微针阵列。利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)转模工艺,可实现复杂叁维结构微针的批量转写,进一步降低微针的制备成本。针对显影条件对PMMA移动X光刻加工的重要性,本文从曝光剂量、显影温度、显影时间等PMMA加工影响因素入手,研究了显影条件对加工深度、表面粗糙度的影响,为基于移动X光光刻工艺的微结构加工提供了重要的参考依据。最后,利用微纳加工技术中的光刻工艺、刻蚀工艺、键合工艺、减薄工艺和准分子激光加工工艺等,设计并制备了锆钛酸铅-硅(PZT-Si)多材料的膜片式压电微泵。该微泵结构简单,可实现控制微米量级的液体驱动。所涉及的制备技术对其它相关器件的研制也有着重要的参考价值。(本文来源于《上海应用技术大学》期刊2017-05-23）
王凌云,杜晓辉,张方方,李岸林,孙道恒[9]（2016）在《航空微机电系统非硅材料微纳加工技术》一文中研究指出随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围;而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述,有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺,进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律,为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴。(本文来源于《航空制造技术》期刊2016年17期）
董世运,刚肖,闫世兴,王斌[10]（2016）在《基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望》一文中研究指出飞秒激光脉冲宽度超短、峰值功率超强,在表面微纳加工领域得到了广泛的关注和应用。简述了飞秒激光诞生至今的应用概况,然后依据不同的加工对象(金属、透明材料、聚合物)阐述了飞秒激光与其相互作用的机理,从激光烧蚀、双光子聚合加工、飞秒激光微纳加工系统3方面对飞秒激光表面微纳加工技术进行了综述,最后探讨了待解决问题并进行了展望。(本文来源于《装甲兵工程学院学报》期刊2016年03期）
微纳加工技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
2018年9月20日,第二届中国激光微纳加工技术大会在苏州独墅湖世尊酒店举行。此次大会由江苏省激光产业技术创新战略联盟、《激光制造商情》主办,苏州工业园区激光产业创新联盟协会、智造学堂、苏州纳米科技协同创新中心、江苏省纳米技术产业创新中心、广东省激光产业技术创新联盟承办,清华大学、中国科学院上海光学精密机械研究所、上海市激光技术研究所、苏州大学、广东省激光行业协会、广东星之球激光科技有限公司、中国科学院南京
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微纳加工技术论文参考文献
[1].袁光杰,张勇,田应仲.《微纳加工技术导论》课程教学的探索与实践[J].产业与科技论坛.2019
[2].陈长军.第二届中国激光微纳加工技术大会在苏州圆满落幕[J].表面工程与再制造.2018
[3].本刊编辑部.第二届中国激光微纳加工技术大会将于9月在苏州召开[J].中国表面工程.2018
[4].马青.基于微纳加工技术的原位纳米电学测试芯片的设计与制备[D].东南大学.2018
[5].史长坤.基于空间光调制技术的飞秒矢量光场微纳加工研究[D].太原理工大学.2018
[6].宋一然,陈庆堂,林振衡,唐群华,林昌.飞秒激光数控微纳加工及服务平台组建关键技术[J].莆田学院学报.2018
[7].易宁波.基于微纳加工技术改性半导体材料及其光电器件制备研究[D].哈尔滨工业大学.2018
[8].黄远.基于多材料微纳加工技术的叁维复杂结构研究[D].上海应用技术大学.2017
[9].王凌云,杜晓辉,张方方,李岸林,孙道恒.航空微机电系统非硅材料微纳加工技术[J].航空制造技术.2016
[10].董世运,刚肖,闫世兴,王斌.基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望[J].装甲兵工程学院学报.2016