导读:本文包含了绝对零位论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:干涉测量,绝对检测,共轭差分,计算全息
绝对零位论文文献综述
黄亚[1]（2018）在《基于零位干涉的共轭差分面形绝对检测技术研究》一文中研究指出光学零位干涉测试是一种相对测量方法,已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差,进一步提升检测精度,绝对检测技术被用于获得待测光学元件的绝对面形。传统的叁面互检法等绝对检测方法通常需要对待测件进行大幅度的翻转或旋转,给检测过程中带来不可避免的位置匹配误差,影响测量精度。为了实现待测件面形的绝对检测,避免传统绝对检测方法中待测件的大幅度移动带来的位置匹配误差问题,本文研究基于零位干涉的微小位移共轭差分光学面形绝对检测技术,主要研究内容如下:针对传统平面绝对面形检测中待测件大幅度移动造成位置匹配误差的问题,在差分干涉中引入了共轭位置测量的思想,提出了基于零位干涉的共轭差分平面绝对检测技术,通过对待测件进行四次亚毫米级的平移运动,由两正交方向的共轭位置上的四次测量结果得到待测面在两个方向上的差分面形,并通过差分波面复原算法解算得到待测面的绝对面形;待测件只需要进行亚毫米级的平移,不需要大幅度的翻转或旋转,从而避免了待测件的大尺度姿态变化造成的位置匹配误差和应力形变误差;相比于差分法,共轭差分法通过共轭位置的测量,消除了初始位置测量结果的影响,双边共轭逼近差分也提升了拟合逼近精度,仿真结果显示,应用叁种差分波面复原算法得到的共轭差分法复原结果比差分法复原结果精度更高;针对共轭差分干涉测量中的关键问题如剪切量和算法等进行分析,同时研究实际测试过程中几个主要误差源对共轭差分法的影响;针对一待测平面镜元件,应用共轭差分法完成平面光学元件的绝对检测实验,实验结果表明,其测试结果与叁面互检法的结果一致,两者最大均方根偏差为0.2nm,优于λλ/3100(λλ=632.8nm)。针对将共轭差分法应用到非球面面形的绝对检测中所需的待测件零位干涉条件的问题,利用无旋转对称性的光学自由曲面待测件,研究基于CGH(computer generated hologram)的零位补偿波前变换技术,完成了自由曲面波前变换的CGH的设计与加工,实现了光学自由曲面元件的零位干涉检测;针对一离轴非球面元件将其经过坐标变换后作为光学自由曲面元件来设计CGH进行零位测试,测试结果显示,CGH作为零位补偿波前变换器件用于光学自由曲面的零位干涉检测的测量重复性(root meat square,RMS)优于λ/1400,分析测试过程中的误差因素,CGH重构自由曲面波前误差(RMS)优于λ/110,通过均方根合成得到测试系统的测量不确定度(URMS)优于λ/70;以Offner补偿器的测量结果作为参考值,进行比较,两者之间偏差(ARMS)优于λ/104。针对应用共轭差分法实现柱面元件的绝对检测问题,建立了基于CGH波前变换、柱面辅助装调和共轭差分技术的柱面绝对面形检测方法;设计并加工了柱面波前变换的CGH,用于柱面的零位干涉测试;建立柱面干涉调整误差模型,将装调过程中的失调量与测试结果的Chebyshev多项式拟合系数关联,定量计算柱面零位干涉中的失调量,实现柱面零位干涉测量中待测件的辅助装调,提高柱面干涉测试过程中的装调精度;保持待测柱面的零位干涉状态,将待测柱面分别沿中心线方向平移和绕中心线旋转,得到待测柱面在两组共轭位置的测量结果,应用共轭差分得到待测柱面在两个方向上的差分波面,从而通过波面复原技术获得待测柱面的绝对面形;针对一曲率半径为-100mm的圆柱面镜,应用共轭差分法实现待测柱面的绝对检测,测试结果与轮廓仪测试结果作对比,两者之间轮廓基本一致,偏差RMS优于λ/40。(本文来源于《南京理工大学》期刊2018-05-01）
李智明[2]（2018）在《伺服电机绝对式编码器零位校准系统的设计与实现》一文中研究指出伺服电机控制广泛的用于自动化运动控制领域。其中,伺服电机绝对式编码器零位校准是实现精准、高效运动控制的关键技术之一。但是,现有的绝对式编码器零位校准系统效率较低、效果较差,只能对单一特定类型的绝对式编码器的校准。为了对多类型编码器实现集成自动化校准,并且进一步提高零位校准的精确度与工作效率,本文开发了一套伺服电机绝对式编码器零位校准系统,完成了系统软件设计、驱动器固件程序设计与相关实验的验证。本文的主要研究内容如下:分析了零位校准系统的误差来源,在伺服电机零位校准流程和需求分析的基础上,确定了上位机软件与伺服驱动结合的绝对式编码器零位校准系统总体方案,并对其原理以及步骤进行了详细的阐述。采用模块化设计策略,开发了绝对式编码器零位校准上位机软件,实现了高内聚、低耦合、易扩展等开发需求。该软件具备伺服电机参数读写、数据信息采集绘图观测及一键式零位校准等相关功能。主要阐述了校准软件的架构以及软件通信模块、零位校准模块和数据绘图模块的设计与实现。针对伺服驱动器固件程序开发,采用有限状态机思想进行总体程序设计,实现了绝对式编码器的通讯协议,完成了多协议绝对式编码器的控制和零位校准;为了保障上位机软件与伺服驱动和电机的可靠通信,设计了基于RS232的串口电路及通信协议,实现了校准系统各个模块间高速稳定的数据交互。搭建了伺服电机多协议编码器校准系统实验平台。对设计的零位校准系统方案开展功能测试,验证了本系统方案的适用性和有效性;对零位校准系统进行了速度跟踪等性能测试,实验证明零位校准后伺服电机的性能得到了优化,证明了课题设计的伺服电机绝对式编码器零位校准系统的有效性与优越性。(本文来源于《华中科技大学》期刊2018-05-01）
王超群[3]（2017）在《具有绝对零位的叁自由度光栅位移测量技术研究》一文中研究指出光栅位移测量技术具有精度高、不易受环境干扰、体积小、操作方便、成本低等优点,因而被广泛地用于光刻机等高端超精密装备的测量系统中。目前,对具有绝对零位对准功能的大量程、高分辨力多自由度光栅位移测量系统需求迫切。针对上述需求,本文设计了一种具有绝对零位对准功能的大量程、高分辨力的叁自由度光栅位移测量系统,用来解决光刻机系统中工件台微位移测量的问题,同时具有零位对准功能,用来解决位移测量前扫描光栅与标尺光栅的定位问题。课题的主要研究内容如下:首先,设计了叁自由度光栅位移测量系统光路结构,分析了X向、Y向以及Z向位移测量的原理。其中X向和Y向的位移测量的实现是基于双光栅干涉测量原理,Z向位移测量的实现是基于迈克尔逊干涉仪原理;为了提高光学细分倍数从而达到高分辨力,在对X向以及Y向位移测量时,使用标尺光栅的2级衍射光进行干涉测量,实现2×2~(1/2)倍的光学细分;设计透射型组合扫描光栅结构,分析了实现叁自由度测量时各光栅结构参数之间的关系;通过矢量衍射分析方法,设计透射型组合扫描光栅以及二维反射型标尺光栅的各项结构参数。其次,分析了零位对准系统的原理。通过将激光光源由光纤导入以及使用二象限探测器,避免了直接使用激光器作为光源以及用透镜聚焦光束造成的体积过大问题,实现对准系统的小型化原理设计。并针对二象限探测器设计了光电转换和滤波电路。对于零位对准系统中的光栅整体尺寸、光栅的编码、光栅内部周期进行了设计。最后,根据光栅位移测量系统以及零位对准系统的实验需求,设计了数据采集板卡,加工了测量系统的光栅和对准标记,搭建实验台进行原理验证。实验表明,光栅位移测量系统X向和Y向的位移测量实现2×2~(1/2)倍的光学细分倍数,Z向的位移测量实现1/2激光光源波长的光学细分倍数;对于零位对准系统,在21mm的工作距离下,当微位移台的运动速度为400μm/s时,对准精度在微米级。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2017-06-01）
汤文军,娄敏,王智勇,王普养[4]（2009）在《高精度绝对零位式圆感应同步器的研制》一文中研究指出传统的圆感应同步器在使用过程中必须另加一个额外的传感元件才能具备绝对零位,这对于整个系统的质量、体积、安装均会带来不利的影响。本文介绍一种本身就具备绝对零位的圆感应同步器,通过在传统的增量式圆感应同步器上增加一个单极的内通道,对转子内通道绕组采用双螺旋刻线法,对定子内通道绕组采用分段同心圆弧刻线法。通过阐述内、外通道的工作原理提出了该类型圆感应同步器的具体的应用方案。(本文来源于《科技创新导报》期刊2009年22期）
王婷,裘祖荣,李杏华[5]（2008）在《四路激光跟踪柔性坐标系统绝对零位标定》一文中研究指出在激光跟踪干涉叁维坐标测量系统中,系统的标定精度直接影响着系统最终测量精度。由于自标定方法的标定精度不高,为了提高系统标定精度,并给出系统的绝对零位值,提出了一种直线法标定思想,利用一个普通的激光干涉仪,测量出目标点沿直线运动的位移量,然后计算出坐标系统的基点坐标和绝对零位值。考虑到基点和目标点的位置布局对系统标定精度的影响,分析并确定了一种优化布局方案,并对其进行仿真。仿真结果表明,目标点对称分布的布局所标定出来的基点坐标和绝对零位值精度较高。(本文来源于《中国机械工程》期刊2008年09期）
叶锡标,周成刚,张阳,黄文浩[6]（2007）在《基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术》一文中研究指出在二维零位光栅原理的基础上提出了一种透反式二维零位光栅系统,从理论上分析了系统的可行性,并进行了对准性能的试验.实验数据表明透反式光栅系统比一般的光刻对准技术的对比度更强,判别零位的性能更好.该系统作为一种新型的掩模-硅片对准技术,应用于光刻机中可获得优于20 nm的定位对准精度.(本文来源于《中国科学技术大学学报》期刊2007年03期）
林鹏,袁祥辉,吕果林,陈小强[7]（1995）在《新型绝对零位粗光栅的研究》一文中研究指出本文在总结国内外粗线纹光栅绝对零位实现方法的基础上，提出了一种新型绝对零位粗光栅的方案。它克服了传统粗光栅采用微动开关作为附加零位标志的缺点，将零位标志直接刻制在粗光栅尺上，采用编码识别的方法，用专用自扫描光电二极管列阵ＣＧ２００Ｓ提取粗定位信号，结合列阵自扫描起始信号Ｓ及其调相测量信号ＭＳ的边沿触发脉冲，产生高精度绝对零位脉冲。既保证了系统精度，又解决了粗光栅与绝对零位一体化的问题。为进一步研制新型绝对零位粗光栅位移测量系统提供了理论依据和实现途径．(本文来源于《现代计量测试》期刊1995年02期）
李桂芬,张艺[8]（1991）在《长光栅数显表中绝对零位功能的一种新设计》一文中研究指出本文介绍了长光栅数显表中绝对零位记忆功能电路的一种新设计方案。文中不但对电路原理进行了详尽的分析,而且对实际操作也做了具体说明。经实践证明,该电路具有结构简单、动作可靠、使用方便等特点。(本文来源于《机械与电子》期刊1991年01期）
蔡润清[9]（1990）在《绝对零位光栅参数的确定和编码的技术指标》一文中研究指出本文首次提出了光栅副的有效通光域的概念及有效通光域的测量方法。对编码的技术指标补加了绝对有效通光面积和相对有效通光面积两个量,并阐明了相对有效通光面积较之其它指标更能综合地反映编码的设计质量。对多零位信号的出现和避免也进行了讨论。(本文来源于《应用光学》期刊1990年06期）
张玮,张微元[10]（1981）在《计量光栅的绝对零位》一文中研究指出计量光栅一般为增量制,当用作数控加工机床的检测元件时,有可能造成过冲量积累妨碍加工精度的提高。即使采用过冲补偿,加工精度仍受到限制,而且线路复杂,因而有的便采用绝对制的码盘、码尺作为检测元件。但又出现脉冲当量不是整数,译码线路比较复杂等问题。为了比较简单地解决这些问题,可在光栅的检测范围内设置一个或几个绝对零位,采用归零的方法,实现停电记忆、座标原点寻找、消除误差积累、进行误差修正等功能。使增量制与绝对制兼容。(本文来源于《科技与情报》期刊1981年01期）
绝对零位论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
伺服电机控制广泛的用于自动化运动控制领域。其中,伺服电机绝对式编码器零位校准是实现精准、高效运动控制的关键技术之一。但是,现有的绝对式编码器零位校准系统效率较低、效果较差,只能对单一特定类型的绝对式编码器的校准。为了对多类型编码器实现集成自动化校准,并且进一步提高零位校准的精确度与工作效率,本文开发了一套伺服电机绝对式编码器零位校准系统,完成了系统软件设计、驱动器固件程序设计与相关实验的验证。本文的主要研究内容如下:分析了零位校准系统的误差来源,在伺服电机零位校准流程和需求分析的基础上,确定了上位机软件与伺服驱动结合的绝对式编码器零位校准系统总体方案,并对其原理以及步骤进行了详细的阐述。采用模块化设计策略,开发了绝对式编码器零位校准上位机软件,实现了高内聚、低耦合、易扩展等开发需求。该软件具备伺服电机参数读写、数据信息采集绘图观测及一键式零位校准等相关功能。主要阐述了校准软件的架构以及软件通信模块、零位校准模块和数据绘图模块的设计与实现。针对伺服驱动器固件程序开发,采用有限状态机思想进行总体程序设计,实现了绝对式编码器的通讯协议,完成了多协议绝对式编码器的控制和零位校准;为了保障上位机软件与伺服驱动和电机的可靠通信,设计了基于RS232的串口电路及通信协议,实现了校准系统各个模块间高速稳定的数据交互。搭建了伺服电机多协议编码器校准系统实验平台。对设计的零位校准系统方案开展功能测试,验证了本系统方案的适用性和有效性;对零位校准系统进行了速度跟踪等性能测试,实验证明零位校准后伺服电机的性能得到了优化,证明了课题设计的伺服电机绝对式编码器零位校准系统的有效性与优越性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
绝对零位论文参考文献
[1].黄亚.基于零位干涉的共轭差分面形绝对检测技术研究[D].南京理工大学.2018
[2].李智明.伺服电机绝对式编码器零位校准系统的设计与实现[D].华中科技大学.2018
[3].王超群.具有绝对零位的叁自由度光栅位移测量技术研究[D].哈尔滨工业大学.2017
[4].汤文军,娄敏,王智勇,王普养.高精度绝对零位式圆感应同步器的研制[J].科技创新导报.2009
[5].王婷,裘祖荣,李杏华.四路激光跟踪柔性坐标系统绝对零位标定[J].中国机械工程.2008
[6].叶锡标,周成刚,张阳,黄文浩.基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术[J].中国科学技术大学学报.2007
[7].林鹏,袁祥辉,吕果林,陈小强.新型绝对零位粗光栅的研究[J].现代计量测试.1995
[8].李桂芬,张艺.长光栅数显表中绝对零位功能的一种新设计[J].机械与电子.1991
[9].蔡润清.绝对零位光栅参数的确定和编码的技术指标[J].应用光学.1990
[10].张玮,张微元.计量光栅的绝对零位[J].科技与情报.1981