导读:本文包含了涡轮分子泵论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:涡轮分子泵,TPMC,抽气性能,算法
涡轮分子泵论文文献综述
孙坤,韩峰,赵凡,张世伟,张志军[1]（2019）在《一种涡轮分子泵抽气性能的改进算法》一文中研究指出近年来,随着磁悬浮轴承技术的发展,涡轮叶片的线速度已经接近或超越分子平均热运动速度,这种情况下的涡轮分子泵抽气机理和性能参数与过去有很大不同。而且,便携式质谱仪的出现也促进了涡轮分子泵小型化的发展,这对其精准的设计提出了更高的要求。在过去,涡轮叶列的抽气理论研究多数是基于简化的二维模型,采用的方法也是与实际偏差较大的积分中值法或几何中值法,即便是叁维模型也仅仅是只考虑单级涡轮动叶列的抽气作用。本文从涡轮分子泵基本抽气理论出发,以解析方程的形式建立严格的涡轮叶列叁维几何模型,考虑相邻静叶列的反射作用,基于分子流态基本假设,采用试验粒子蒙特卡洛(TPMC)方法,以VB语言为基础,提出一种能够计算涡轮分子泵抽气性能和揭示其抽气机理的改进算法。该算法的独特之处在于将动静叶列一起考虑,直接模拟气体分子在涡轮叶列中的运动,通过跟踪其运动轨迹,精准地定量表述其在6个区域的分子密度分布(包括上叶片、下叶片、涡轮齿根、泵腔内壁、入口和出口),从而研究涡轮分子泵的流场分布、性能特征和抽气机理。通过模拟计算发现:在动叶列出口区域,分子向半径大的方向聚集,且转速越高聚集效应越明显,当分子位置半径与涡轮叶列齿顶半径之比位于0.92～0.94时,局部相对分子密度等于整个出口区域的平均相对分子密度;在动叶列内,下叶片区域的分子密度占比最高;在静叶列内,随着转速的增加,出口区域的分子密度并未显着升高,说明静叶列在涡轮分子泵中主要起到提高压缩比的作用。该算法的提出也为下一阶段开展多级涡轮分子泵模拟计算和性能结构优化的研究奠定了基础。(本文来源于《第十四届国际真空科学与工程应用学术会议论文（摘要）集》期刊2019-08-04）
孙坤,张世伟,赵凡,李海涛,张志军[2]（2019）在《涡轮分子泵入口结构改进的计算研究》一文中研究指出针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,把过渡连接件做成圆弧过渡段结构。文中根据实际结构参数,建立了不同结构类型的计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,基于自由分子流态基本假设,利用Molflow+软件,计算了各个结构模型的传输几率。计算结果表明:当倾角α的取值范围在60°～70°、圆锥底角β的取值范围在25°～45°之间时,理论上可将涡轮分子泵的抽气速率提升5%左右。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2019年01期）
孙浩,孙浩林,李博,马兆俊,王晓冬[3]（2018）在《混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比》一文中研究指出为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮分子泵在过渡流态下压缩比的计算精度,本文在比较两种方法的计算精度和适用范围的基础上提出了混合分段算法。通过与实验值的对比,发现通过混合分段算法得到的最大压缩比与实验值的最大误差为10.5%,相对于连续流态方程法和特征系数法分别减小了34.0%和44.7%,证实了混合分段算法的适用性。该方法可以分析整个流态区域内涡轮分子泵的抽气性能,为分子泵压缩比的全流域计算提供参考。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2018年08期）
牟如意,张世伟,张志军,韩进[4]（2017）在《涡轮分子泵入口接管束流效应的蒙特卡洛计算》一文中研究指出在入口管路束流效应和涡轮端盖反射作用的双重因素影响下,以纯分子流态经泵前入口管道流向涡轮分子泵环形一级动叶列抽气面处的气体分子,其入射密度是不均匀分布的。本文基于自由分子流态基本假设,建立入口直圆管道计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,利用Molflow+软件,模拟被抽气体分子经泵入口到涡轮叶列抽气面的飞行过程及行为;数值计算得到气体分子到达涡轮转子一级动叶列入射平面的密度分布和气体通过入口管道的传输几率,并分别经回归分析拟合给出二者的计算公式,可为涡轮分子泵抽气性能的后续研究提供更精确的理论数据;算例证明,以此分布计算分子泵一级动叶列的正向传输几率,比采用均匀分布假设的积分中值法的计算结果偏小。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2017年08期）
蔡飞飞,任违[5]（2016）在《小型涡轮分子泵静叶片冲压成型技术》一文中研究指出在静叶片原成型工艺的基础上,通过设计静叶片冲裁折弯成型模具,一次完成静叶片的折弯成型,大大提高了加工效率。最后,通过试验验证了该方法能很好地完成静叶片折弯成型,证明了该方法的有效性和可行性。(本文来源于《制造技术与机床》期刊2016年05期）
王晓冬,张磊,巴德纯,蒋婷婷,陶继忠[6]（2016）在《涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析》一文中研究指出采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2016年04期）
陈乃玉,李强,赵庆斌,李新友,蔡辉[7]（2015）在《涡轮分子泵轴系的临界转速分析》一文中研究指出涡轮分子泵是一种工作在一阶临界转速之上的精密高速旋转机械,在设计时需要避开其临界转速。以有限元软件SolidWorks Simulation为依托,结合传递矩阵理论的简化思想,对涡轮分子泵轴系进行模态分析,并寻找其临界转速与设计工作转速冲突的最优解决方案。同时,对涡轮动叶片组的有限元简化方式进行了探讨。(本文来源于《机械》期刊2015年01期）
[8]（2015）在《领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空》一文中研究指出分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空技术的助力,现今的质谱和电子显微镜等检测方法是无法想象的。以质谱仪为代表的分析仪器工作时需要高真空,压强范围介于10~(-3)到10~(-10)毫巴之间。欧瑞康莱宝真空为分析仪器全新设(本文来源于《真空》期刊2015年01期）
[9]（2014）在《领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空》一文中研究指出分析仪器市场受医药、环保、机场安保等领域新挑战的驱动,开发出针对气体、爆炸物和蛋白质等物质的检测方法和仪器。如果没有真空技术的助力,现今的质谱和电子显微镜等检测方法是无法想象的。以质谱仪为代表的分析仪器工作时需要高真空,压强范围介于10~(-3)到10~(-10)毫巴之间。欧瑞康莱宝真空为分析仪器全新设计了TURBOVAC i系列分子泵。TURBOVAC i系列分子泵采用全新的设计理念为客户提供最卓越真空的性能同时也非常适合与客户的系统集成。(本文来源于《真空》期刊2014年06期）
王晓冬,巴德纯,蒋婷婷,周亚,李景舒[10]（2014）在《涡轮分子泵抽气性能计算及其误差评价》一文中研究指出涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备,在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分子流态下,其抽气性能由涡轮叶片几何参数、转子线速度和涡轮串联级数等决定。目前涡轮分子泵性能计算采用的正反向传输几率查表法和按涡轮叶片几何均值(齿长之半)处参数(节弦比、速度比)线性平均法,存在计算效率低,且与泵实际抽气性能有差别的问题。本文采用数据回归方法,建立了叶片倾角、节弦比下的涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系,提高了计算效率;通过沿齿长方向上抽气性能的中值分析,获得了涡轮叶片抽气性能在齿长方向上的均值位置。计算结果表明,现有几何中值计算方法存在计算误差。本文的研究工作为现有涡轮分子泵抽气性能计算误差评估、计算方法改进和计算效率、计算精度提高具有参考价值。(本文来源于《中国真空学会2014学术年会论文摘要集》期刊2014-11-07）
涡轮分子泵论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,把过渡连接件做成圆弧过渡段结构。文中根据实际结构参数,建立了不同结构类型的计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,基于自由分子流态基本假设,利用Molflow+软件,计算了各个结构模型的传输几率。计算结果表明:当倾角α的取值范围在60°～70°、圆锥底角β的取值范围在25°～45°之间时,理论上可将涡轮分子泵的抽气速率提升5%左右。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
涡轮分子泵论文参考文献
[1].孙坤,韩峰,赵凡,张世伟,张志军.一种涡轮分子泵抽气性能的改进算法[C].第十四届国际真空科学与工程应用学术会议论文（摘要）集.2019
[2].孙坤,张世伟,赵凡,李海涛,张志军.涡轮分子泵入口结构改进的计算研究[J].真空科学与技术学报.2019
[3].孙浩,孙浩林,李博,马兆俊,王晓冬.混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比[J].真空科学与技术学报.2018
[4].牟如意,张世伟,张志军,韩进.涡轮分子泵入口接管束流效应的蒙特卡洛计算[J].真空科学与技术学报.2017
[5].蔡飞飞,任违.小型涡轮分子泵静叶片冲压成型技术[J].制造技术与机床.2016
[6].王晓冬,张磊,巴德纯,蒋婷婷,陶继忠.涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析[J].真空科学与技术学报.2016
[7].陈乃玉,李强,赵庆斌,李新友,蔡辉.涡轮分子泵轴系的临界转速分析[J].机械.2015
[8]..领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空[J].真空.2015
[9]..领先一代的涡轮分子泵——欧瑞康莱宝真空[J].真空.2014
[10].王晓冬,巴德纯,蒋婷婷,周亚,李景舒.涡轮分子泵抽气性能计算及其误差评价[C].中国真空学会2014学术年会论文摘要集.2014