梁辉:等厚等倾复合型干涉仪论文

梁辉:等厚等倾复合型干涉仪论文

本文主要研究内容

作者梁辉,李岩,付跃刚,林鹤(2019)在《等厚等倾复合型干涉仪》一文中研究指出:干涉仪是可以快速高效,非接触地获取被测元件信息的光学测量仪器。为拓展单个干涉仪应用范围,设计出一种利用切换式系统,能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间转换的复合型干涉仪。在介绍复合型干涉仪基本结构的基础上,分析了干涉仪设计中需要注意的问题和事项,着重讨论了光源的选择,准直物镜像差要求,聚光镜设计参数。利用ZEMAX软件完成了干涉仪光学系统的设计。最后,用FRED软件对干涉仪建模,进行仿真分析,得到了等厚干涉和等倾干涉干涉图,干涉条纹均清晰可见。表明此干涉仪可应用于实际光学测量之中。

Abstract

gan she yi shi ke yi kuai su gao xiao ,fei jie chu de huo qu bei ce yuan jian xin xi de guang xue ce liang yi qi 。wei ta zhan chan ge gan she yi ying yong fan wei ,she ji chu yi chong li yong qie huan shi ji tong ,neng gen ju ce liang xu qiu shi xian deng hou gan she he deng qing gan she zhi jian zhuai huan de fu ge xing gan she yi 。zai jie shao fu ge xing gan she yi ji ben jie gou de ji chu shang ,fen xi le gan she yi she ji zhong xu yao zhu yi de wen ti he shi xiang ,zhao chong tao lun le guang yuan de shua ze ,zhun zhi wu jing xiang cha yao qiu ,ju guang jing she ji can shu 。li yong ZEMAXruan jian wan cheng le gan she yi guang xue ji tong de she ji 。zui hou ,yong FREDruan jian dui gan she yi jian mo ,jin hang fang zhen fen xi ,de dao le deng hou gan she he deng qing gan she gan she tu ,gan she tiao wen jun qing xi ke jian 。biao ming ci gan she yi ke ying yong yu shi ji guang xue ce liang zhi zhong 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自长春理工大学学报(自然科学版)的梁辉,李岩,付跃刚,林鹤,发表于刊物长春理工大学学报(自然科学版)2019年01期论文,是一篇关于干涉仪论文,光学测量论文,切换式系统论文,光学设计论文,仿真论文,长春理工大学学报(自然科学版)2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自长春理工大学学报(自然科学版)2019年01期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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