导读:本文包含了高真空干泵论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:高真空干泵,单螺旋转子,抽气性能,数值模型
高真空干泵论文文献综述
刘坤,郝明,李强,张小军,陈树雷[1]（2015）在《高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型》一文中研究指出微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2015年12期）
刘坤,潘元,张小军,巴德纯,杨乃恒[2]（2013）在《高真空干泵螺旋级转子型线和抽气理论研究》一文中研究指出随着新兴工业的兴起和传统工业的技术升级,干式真空泵的应用场合得到了广泛的拓展,其研发和生产也越来越受到重视。微型化和一体化是真空泵发展的重要趋势之一,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文介绍了典型的高真空干泵的结构组成和工作原理,并对影响高真空干泵极限真空度的螺旋级转子进行了研究,通过对几种型线进行了计算机模拟研究,通过对温度、结构、动力性等进行了多物理场研究,并利用直接模拟蒙特卡罗方法对高真空干泵螺旋级转子的抽气过程进行模拟,对螺旋级转子几何外形、流场中的分子温度、表面温度、气体种类、碰撞模型等方面进行了研究。通过模拟得到螺旋级转子几何参数对泵抽气效率的影响机制,通道表面温度和气体分子温度对泵抽气特性影响规律。研究分别采用可变硬球(VHS)模型和可变软球(VSS)模型在抽气性能模拟中的模拟结果和对比,并应用于高真空干泵螺旋级转子的性能计算,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。(本文来源于《第十一届国际真空冶金与表面工程学术会议、2013年真空工程学术会议、2013年真空咨询学术会议、2013年《真空》杂志编委会学术论文（摘要）集》期刊2013-09-22）
张小军[3]（2010）在《高真空干泵螺旋级转子型线及抽气理论的研究》一文中研究指出近年来,随着真空技术的飞速发展及相关领域需求的提高,人们开始研制各种能够代替高真空机组工作的高真空直排大气干泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中,而在国内这种类型的干泵还处于空白状态。本文介绍了高真空干泵的结构组成、工作原理,并对真空泵的几种型线做了比较,最终的螺旋级转子选用了一种比较特殊的型线。同时对螺旋级转子内部流动特性用蒙特卡洛法进行了模拟研究。目前,在对稀薄气体进行模拟的方法中,直接模拟蒙特卡洛法(DSMC)是有效的方法,尤其是对处于分子流和过度流状态的分子,目前只有这种方法可以模拟叁维状态下的分子运动。分子运动中采用了划分单元格的方法、运动与碰撞解耦方法、抽样碰撞方法、随机数方法,同时设定了模拟的初始参数,来描述分子状态,统计和分析分子的运动、碰撞、反射、旋转过程,记录分子的位置、速度、温度、分子数密度、自由度、动量、动能等微观参数,并能得出气体的宏观流动参数、流动特性。本文利用直接模拟蒙特卡罗方法对高真空干泵螺旋级转子的抽气过程进行研究,在导师巴德纯教授和刘坤老师的指导下,对螺旋级转子几何外形、流场中的分子温度、表面温度、气体种类、碰撞模型等方面进行了研究。研究得出螺旋级转子几何参数对泵抽气效率的影响；得出了通道表面温度和气体分子温度对泵抽气特性影响规律；得到可变硬球模型(VHS模型)和可变软球模型(VSS模型)在抽气性能模拟中得到的结果非常接近,两种方法均可应用于高真空干泵螺旋级转子的性能计算中；最后从理论上对高真空干泵的抽速进行了验证(本文来源于《东北大学》期刊2010-06-01）
陈瑶[4]（2009）在《高真空干泵中旋涡级内部流动及转子体振动特性的研究》一文中研究指出近年来,随着真空技术的飞速发展及相关领域需求的提高,人们开始研制各种类型的能够代替高真空机组工作的高真空直排大气干泵,该泵可以且一部分已经应用于半导体工业、分析仪器、电子工业等各个领域。本文以一具体的高真空直排大气干泵的设计为例,介绍了该泵的结构组成、工作原理,并主要针对其中的旋涡级进行了内部流动特性的研究。另外,由于该泵工作转速较高且为卧式结构,故有必要对该泵的转动系统进行振动特性研究,并进行适当的结构尺寸调整。针对于结构设计部分,这里采用牵引抽气及旋涡抽气相结合的结构,传动部分采用直联内置电机的形式。对于这里的旋涡级抽气结构,由于关于其理论及设计方法的研究目前仍不成熟,因而有必要对旋涡级(或称旋涡泵)抽气结构做近一步的研究,用研究结果来指导实际的设计工作。这部分的主要工作包括：1.简要介绍了旋涡泵的工作原理及内部流动理论。2.利用Pro/ENGINEER软件对旋涡泵的流动区域进行叁维造型,利用流体力学软件GAMBIT对旋涡泵内部流动区域进行结构网格划分3.采用RNG k-ε湍流模型,利用FLUENT软件对不同设计参数的内部叁维湍流流场进行数值模型。研究了旋涡级抽气结构的内部流动规律,掌握了旋涡泵流动区域内压力场与速度场的分布情况。4.根据计算结果对旋涡级结构及尺寸进行了结构选型。对于该泵转动系统的振动特性分析,由于计算对象为一装配体,故这里采用模态综合法计算其各阶的固有频率。这部分包括对模态综合法的介绍及一般求解过程,对该系统进行的模态分析,根据计算结果校验其振动特性是否满足结构要求,并进行适当的修改。(本文来源于《东北大学》期刊2009-06-01）
刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛[5]（2008）在《高真空直排大气干泵的最新进展》一文中研究指出为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2008年01期）
刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛[6]（2007）在《国外高真空直排大气干泵的发展现状》一文中研究指出为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。(本文来源于《真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议论文集》期刊2007-06-01）
刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛[7]（2007）在《国外高真空直排大气干泵的发展现状》一文中研究指出为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。(本文来源于《第八届全国真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集》期刊2007-06-01）
[8]（2004）在《阿尔卡特高真空技术公司推出新一代的适用于半导体工艺的紧凑型干泵 阿迪克森-A300大抽速的紧凑型干泵组》一文中研究指出驰名中外的阿尔卡特高真空技术公司隆重推出了第一款以新品牌"阿迪克森"-ADIXEN命名的A300紧凑型干泵。A300是应用于半导体工艺的真空干泵系列中新一代产品。拥有最佳抽速效能,广泛适用于半导体行业,精巧美观的A300干泵为您提供更有弹性,方便,经济实用的选择。(本文来源于《集成电路应用》期刊2004年05期）
高真空干泵论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
随着新兴工业的兴起和传统工业的技术升级,干式真空泵的应用场合得到了广泛的拓展,其研发和生产也越来越受到重视。微型化和一体化是真空泵发展的重要趋势之一,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文介绍了典型的高真空干泵的结构组成和工作原理,并对影响高真空干泵极限真空度的螺旋级转子进行了研究,通过对几种型线进行了计算机模拟研究,通过对温度、结构、动力性等进行了多物理场研究,并利用直接模拟蒙特卡罗方法对高真空干泵螺旋级转子的抽气过程进行模拟,对螺旋级转子几何外形、流场中的分子温度、表面温度、气体种类、碰撞模型等方面进行了研究。通过模拟得到螺旋级转子几何参数对泵抽气效率的影响机制,通道表面温度和气体分子温度对泵抽气特性影响规律。研究分别采用可变硬球(VHS)模型和可变软球(VSS)模型在抽气性能模拟中的模拟结果和对比,并应用于高真空干泵螺旋级转子的性能计算,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
高真空干泵论文参考文献
[1].刘坤,郝明,李强,张小军,陈树雷.高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型[J].真空科学与技术学报.2015
[2].刘坤,潘元,张小军,巴德纯,杨乃恒.高真空干泵螺旋级转子型线和抽气理论研究[C].第十一届国际真空冶金与表面工程学术会议、2013年真空工程学术会议、2013年真空咨询学术会议、2013年《真空》杂志编委会学术论文（摘要）集.2013
[3].张小军.高真空干泵螺旋级转子型线及抽气理论的研究[D].东北大学.2010
[4].陈瑶.高真空干泵中旋涡级内部流动及转子体振动特性的研究[D].东北大学.2009
[5].刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛.高真空直排大气干泵的最新进展[J].真空科学与技术学报.2008
[6].刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛.国外高真空直排大气干泵的发展现状[C].真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议论文集.2007
[7].刘坤,巴德纯,杨乃恒,常学森,李涛.国外高真空直排大气干泵的发展现状[C].第八届全国真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集.2007
[8]..阿尔卡特高真空技术公司推出新一代的适用于半导体工艺的紧凑型干泵阿迪克森-A300大抽速的紧凑型干泵组[J].集成电路应用.2004