导读:本文包含了溅射铝膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:镁合金,磁控溅射,氮化铝膜,硬度
溅射铝膜论文文献综述
李帅[1]（2018）在《AZ91镁合金磁控溅射氮化铝膜的制备工艺及其性能研究》一文中研究指出近年来,镁合金由于其优良性能,受到人们的关注,被广泛应用于陆地交通工具、航空航天、3C产品等领域。然而,镁合金的硬度和耐腐蚀性能较差,严重限制了其广泛应用。提高镁合金的表面性能是当前镁合金开发与研究的重要课题。目前主要采用的各类表面技术中,磁控溅射由于具有薄膜质量好、密度和纯度高、对环境友好等优点,被认为是制备表面涂层的最佳方法之一。本文采用磁控溅射技术在AZ91镁合金基底表面制备出氮化铝膜,采用正交试验和单因素试验两种方法分别研究了磁控溅射主要工艺对膜层性能的影响,分析了各性能指标之间可能存在的关系情况,并通过对膜层组织结构的分析,重点分析了磁控溅射主要工艺影响膜层硬度和耐蚀性的原因。首先利用正交试验方法,以氮化铝膜硬度、耐模拟人体汗液腐蚀、膜厚、膜层与基底结合力、表面粗糙度等单一性能和以硬度、耐蚀性为主的综合性能为指标,对影响上述性能的溅射功率、溅射时间、基底加热温度、氩气/氮气比例等磁控溅射工艺因素的影响程度进行了研究,并得到了获得最佳性能的因素水平组合。研究发现,磁控溅射主要工艺因素均不同程度地影响膜层性能,但在各因素的取值范围内,影响性能的因素次序以及对应于最佳性能的因素水平并非完全相同。而从各因素的影响程度以及因素最优值来看,膜层的硬度与膜层厚度之间应该有一定的关联,而膜层的耐蚀性与膜层的表面粗糙度之间有一定关联。在正交试验的基础上进行了单因素实验,研究了各因素对膜层组织和硬度、耐蚀性能性能的具体影响,并分析了影响组织和性能的原因。研究表明,因素取值的改变,将影响膜层生长的物理过程,使膜层的晶粒形状、大小、生长速度、晶粒取向、膜层表面状况发生变化,从而影响到膜层的硬度和耐蚀性。具体来讲,硬度的变化主要与膜层中氮化铝晶粒的(002)面择优取向有关,与膜层厚度也有一定关系。增大溅射功率或者增加溅射时间,可使氮化铝择优取向度提高,膜厚增大,故膜层硬度变大。基底加热温度增大,虽然膜厚增加,但不利于择优取向,故对膜层硬度无确定的影响规律。对膜层耐蚀性而言,膜层致密度和厚度是影响膜层耐蚀性的主要因素。溅射功率较大时易使膜层表面出现较多孔洞缺陷,容易形成腐蚀通道,耐蚀性能低,而溅射功率过小时膜厚太小,耐蚀性能也较差。溅射温度较高或者溅射时间较长时可形成较为致密且表面粗糙度较小的膜层,膜层厚度也较大,耐蚀性能较好。氮气/氩气比例越大,膜厚越小,耐蚀性越差。(本文来源于《内蒙古工业大学》期刊2018-06-01）
胡芳,代明江,侯惠君,林松盛,韦春贝[2]（2016）在《30CrMnSiNi2A钢紧固件磁控溅射铝膜的腐蚀和氢脆性能》一文中研究指出为提高30CrMnSiNi2A螺栓紧固件的耐腐蚀性能,采用磁控溅射技术在30CrMnSiNi2A试样和螺栓表面制备铝薄膜。采用SEM观察铝膜层的微观形貌。选取与镀铝薄膜厚度相同的氰化镀锌试样为对比件,采用电化学工作站和中性盐雾试验测试薄膜的耐腐蚀性能;采用氢脆试验测试基体和镀铝后处理试样的氢脆性能。结果表明:螺栓表面铝薄膜的厚度为7.26~10.47μm,厚度不均匀性为±17.2%;镀铝薄膜的螺栓耐盐雾腐蚀性能比氰化镀锌的耐腐蚀性能好;化学转化后处理和喷丸+化学转化复合后处理的镀铝螺栓的耐盐雾腐蚀性能优异,自腐蚀电流与30CrMnSiNi2A基体相比下降了1~2个数量级;磁控溅射镀铝薄膜和后处理工艺对30CrMnSiNi2A钢基体的氢脆性能没有影响。(本文来源于《中国表面工程》期刊2016年05期）
段颖妮,毛莉萍[3]（2015）在《磁控溅射铝膜的表面形貌及粗糙度的原子力显微镜观测》一文中研究指出采用直流磁控溅射方法在(111)取向的单晶Si片上沉积单层Al膜,并将样品分为两组退火,第一组样品分别在200、300和400℃退火10min;第二组样品在300℃分别退火5、10和15min。原子力显微镜观测退火膜的表面形貌及粗糙度表明,随着退火温度的升高或退火时间的增加,表面更加平整,粗糙度明显减小,膜的致密性得到改善。原子的表面扩散是造成薄膜表面趋于平滑的主要原因。(本文来源于《科技视界》期刊2015年10期）
冯军,童洪辉,金凡亚,陈美艳,赖新春[4]（2015）在《316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究》一文中研究指出采用直流磁控溅射在316L不锈钢上制备了高质量的Al膜,并利用扫描电镜、X射线衍射仪分别对镀层的形貌和结构及应力进行了分析。结果表明,温度、溅射功率之间的合理配置才能制备致密性高、表面缺陷少的Al膜,较优工艺参数温度为170℃、溅射功率1400 W;温度比溅射功率更容易改善结晶度,当溅射功率高、基体温度低,薄膜趋向非晶态;制备的薄膜应力小,最大约为0.176 GPa,微结构对应力影响大。(本文来源于《金属热处理》期刊2015年01期）
胡芳,代明江,林松盛,侯惠君,石倩[5]（2015）在《循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响》一文中研究指出为了提高烧结钕铁硼永磁材料的耐腐蚀性能,采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备了厚度约为14.0μm的铝膜,使用循环氩离子轰击铝膜的方法制备了3个周期的多层铝膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察铝膜的表面和截面形貌,X射线衍射仪(XRD)表征膜层的晶体结构,采用中性盐雾试验测试膜层的耐盐雾腐蚀性能,研究循环氩离子轰击对铝膜层形貌、结构及耐中性盐雾腐蚀性能的影响。结果表明:与相同厚度的单层铝膜相比,3个周期的多层铝膜晶粒均匀细小,膜层的柱状晶结构被打断,内部形成了两个明显的界面;膜层沿(111)晶面择优生长;与厚度相同的单层Al膜相比,3个周期的多层Al膜的耐蚀性显着提高,其耐中性盐雾腐蚀时间可达到312h。循环氩离子轰击铝膜的方法可以改善铝镀层的质量和耐盐雾腐蚀性能。(本文来源于《中国表面工程》期刊2015年01期）
魏琦,张玉,潘海里,孙建春[6]（2014）在《AZ31镁合金表面磁控溅射沉积铝膜研究》一文中研究指出在AZ31镁合金表面采用直流磁控溅射技术沉积铝膜,通过能谱分析仪、原子力扫描显微镜和LK9805电化学分析仪分别研究了铝层的成分分布、形貌和耐蚀性能。结果表明:在镁合金表面沉积形成晶粒细小且均匀分布的致密铝镀层;铝层和基体之间存在混溶的过渡层,且与基体镁合金结合良好,表现出一定的耐蚀性能。铝镀膜有利于镁合金表面防护层的形成,减小其腐蚀倾向。(本文来源于《热加工工艺》期刊2014年22期）
曾冬梅,慕银银,潘松海,刘皖,陈飞[7]（2014）在《铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能影响》一文中研究指出采用磁控溅射法制备CdZnTe先驱薄膜/金属Al膜的层迭结构,利用铝诱导技术制备CdZnTe薄膜。通过原子力显微镜、X射线衍射、Raman光谱仪和半导体特性分析系统,研究了铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能的影响。结果表明:随着铝膜溅射功率的增加,铝诱导CdZnTe薄膜表面的薄膜结晶质量、晶粒尺寸和薄膜电阻率先增大后减小。铝诱导晶化的效果与铝膜溅射功率有关,当铝膜溅射功率达到100 W,CdZnTe薄膜的晶化诱导效果最显着,薄膜结晶质量最好,晶粒尺寸最大。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2014年06期）
吴红艳,刘剑,赵浩峰,蒋琼,徐一[8]（2013）在《磁控溅射铝膜的微观结构对磁致冷钆腐蚀性能的影响(英文)》一文中研究指出研究了表面镀铝和未镀铝的钆的静态和电化学腐蚀试验。结果表明,未镀铝的钆在水作用下表面形成大量裂痕,而多角状的铝膜结构由于点蚀坑的存在比片状铝膜结构的耐腐蚀性能差。片状铝膜由于与基体之间形成有效的物理阻挡,且片状结构致密,延长了阴极保护。因此,制备表面层状铝膜结构是显着提高磁制冷钆表面耐腐蚀性能行的有效方法。(本文来源于《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》期刊2013年11期）
江强,武晓南,周细应,言智,毛秀娟[9]（2013）在《柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究》一文中研究指出采用直流磁控溅射法在棉布、涤纶、芳纶织物上制备金属铝膜,研究了铝膜的沉积速率、组织结构和表面形貌。结果表明:在一定的范围内,沉积速率随溅射功率的增大近似呈线性增加,随溅射气压的增加先升后降;基底材料对铝膜的组织结构有较大影响,在涤纶和棉布上沉积的铝膜才呈现出典型的多晶态面心立方结构,在芳纶和涤纶上获得的铝膜较棉布上的铝膜更为均匀、致密;在一定范围内,溅射功率的增大有助于提高铝膜质量。(本文来源于《表面技术》期刊2013年01期）
韦春贝,代明江,高阳,侯惠君,肖晓玲[10]（2012）在《AZ91D镁合金磁控溅射镀铝膜及其化学转化后的耐蚀性》一文中研究指出采用磁控溅射镀铝与化学转化复合处理的方法对AZ91D镁合金表面进行处理,制得复合处理膜层,并与单纯磁控溅射镀铝膜层的耐蚀性进行了比较。结果表明,磁控溅射所得铝膜层结构致密,铝膜层与镁合金基体界面形成混合过渡层。沉积铝膜后再进行阿洛丁化学转化所得膜层表面存在裂纹,化学转化膜与铝膜之间结合良好。磁控溅射铝膜层使镁合金的腐蚀速率加快。镀铝与化学转化复合处理所得膜层的腐蚀电流密度比镁合金基体低1个数量级以上,表明镀铝与化学转化复合处理可明显提高镁合金的耐蚀性。中性盐雾试验4h后,铝膜表面腐蚀严重;而复合处理膜层在试验24h后表面只出现少量的腐蚀,48h后只有5%的面积被腐蚀。(本文来源于《电镀与涂饰》期刊2012年04期）
溅射铝膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为提高30CrMnSiNi2A螺栓紧固件的耐腐蚀性能,采用磁控溅射技术在30CrMnSiNi2A试样和螺栓表面制备铝薄膜。采用SEM观察铝膜层的微观形貌。选取与镀铝薄膜厚度相同的氰化镀锌试样为对比件,采用电化学工作站和中性盐雾试验测试薄膜的耐腐蚀性能;采用氢脆试验测试基体和镀铝后处理试样的氢脆性能。结果表明:螺栓表面铝薄膜的厚度为7.26~10.47μm,厚度不均匀性为±17.2%;镀铝薄膜的螺栓耐盐雾腐蚀性能比氰化镀锌的耐腐蚀性能好;化学转化后处理和喷丸+化学转化复合后处理的镀铝螺栓的耐盐雾腐蚀性能优异,自腐蚀电流与30CrMnSiNi2A基体相比下降了1~2个数量级;磁控溅射镀铝薄膜和后处理工艺对30CrMnSiNi2A钢基体的氢脆性能没有影响。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
溅射铝膜论文参考文献
[1].李帅.AZ91镁合金磁控溅射氮化铝膜的制备工艺及其性能研究[D].内蒙古工业大学.2018
[2].胡芳,代明江,侯惠君,林松盛,韦春贝.30CrMnSiNi2A钢紧固件磁控溅射铝膜的腐蚀和氢脆性能[J].中国表面工程.2016
[3].段颖妮,毛莉萍.磁控溅射铝膜的表面形貌及粗糙度的原子力显微镜观测[J].科技视界.2015
[4].冯军,童洪辉,金凡亚,陈美艳,赖新春.316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究[J].金属热处理.2015
[5].胡芳,代明江,林松盛,侯惠君,石倩.循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响[J].中国表面工程.2015
[6].魏琦,张玉,潘海里,孙建春.AZ31镁合金表面磁控溅射沉积铝膜研究[J].热加工工艺.2014
[7].曾冬梅,慕银银,潘松海,刘皖,陈飞.铝膜溅射功率对铝诱导CdZnTe薄膜结构及性能影响[J].人工晶体学报.2014
[8].吴红艳,刘剑,赵浩峰,蒋琼,徐一.磁控溅射铝膜的微观结构对磁致冷钆腐蚀性能的影响(英文)[J].TransactionsofNonferrousMetalsSocietyofChina.2013
[9].江强,武晓南,周细应,言智,毛秀娟.柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究[J].表面技术.2013
[10].韦春贝,代明江,高阳,侯惠君,肖晓玲.AZ91D镁合金磁控溅射镀铝膜及其化学转化后的耐蚀性[J].电镀与涂饰.2012