本文主要研究内容
作者郭春付,张传维,李伟奇,李晓平,刘世元（2019）在《PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征》一文中研究指出：为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上TiO2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm,扫描电子显微镜的测量结果为211nm,结果非常准确。以TiO2为例验证了等效衬底方法,该方法也同样适用于其它介质膜。等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征,对镀膜工艺过程监控具有重要意义。
Abstract
wei le jian kong 3wei bo li shang ju dui ben er jia suan yi er chun zhi （PET）fu ge chen de jie zhi mo mo hou ,cai yong jiang PETfu ge chen de deng xiao wei chan ceng ji de cai liao de jian mo fen xi fang fa ,tong guo tuo pian ce liang ji shu shi xian le fu za chen de shang TiO2ti du she she lv cai liao bao mo hou du de jian ce 。jie guo biao ming ,cai yong gai fang fa ce liang de PETfu ge chen de shang TiO2ti du she she lv bao mo hou du wei 212.48nm,sao miao dian zi xian wei jing de ce liang jie guo wei 211nm,jie guo fei chang zhun que 。yi TiO2wei li yan zheng le deng xiao chen de fang fa ,gai fang fa ye tong yang kuo yong yu ji ta jie zhi mo 。deng xiao chen de fa ke shi xian PETfu ge chen de shang de TiO2bao mo hou du de gao jing du ce liang biao zheng ,dui du mo gong yi guo cheng jian kong ju you chong yao yi yi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自激光技术的郭春付,张传维,李伟奇,李晓平,刘世元，发表于刊物激光技术2019年04期论文，是一篇关于测量与计量论文,聚对苯二甲酸乙二醇酯论文,复合衬底论文,介质膜论文,光谱椭偏论文,膜厚论文,激光技术2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自激光技术2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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