李兆博:溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析论文

李兆博:溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析论文

本文主要研究内容

作者李兆博,马小文,黄浩,杜领会,汪凯,李兴钰(2019)在《溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析》一文中研究指出:从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面对工业生产中溅射镀膜铌靶材表面纹路产生原因进行分析。结果表明,原材料的化学成分分布不均和杂质富集,经过后期的轧制加工,形成铌靶材表面规律性纹路;消除原材料成分分布不均和杂质富集,可避免铌靶材表面规律性纹路的形成。

Abstract

cong jing li zu zhi fen bu 、zhi gou zu fen fen bu 、za zhi han liang fen bu san ge fang mian dui gong ye sheng chan zhong jian she du mo ni ba cai biao mian wen lu chan sheng yuan yin jin hang fen xi 。jie guo biao ming ,yuan cai liao de hua xue cheng fen fen bu bu jun he za zhi fu ji ,jing guo hou ji de ga zhi jia gong ,xing cheng ni ba cai biao mian gui lv xing wen lu ;xiao chu yuan cai liao cheng fen fen bu bu jun he za zhi fu ji ,ke bi mian ni ba cai biao mian gui lv xing wen lu de xing cheng 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自材料开发与应用的李兆博,马小文,黄浩,杜领会,汪凯,李兴钰,发表于刊物材料开发与应用2019年01期论文,是一篇关于溅射镀膜铌靶材论文,表面纹路论文,原因分析论文,材料开发与应用2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自材料开发与应用2019年01期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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