本文主要研究内容
作者康颂（2019）在《基于场发射原理的碳纳米管真空系统压力传感技术研究》一文中研究指出：真空技术在前沿科技与电真空器件中占有举足轻重的地位,真空电子器件至今仍缺乏可靠的测量方法用来获取其内部真空度,而对密封器件进行实时压强监控尤其困难。本工作设计了一种基于碳纳米管场发射和气体吸附的真空压力传感器,为解决上述问题提供了一种有效途径。本文通过热CVD法在合金基底上直接制备具有强附着性能的碳纳米管,将碳纳米管作为场发射阴极材料,实验表明小电流场发射下材料具有发射电流随真空压力升高而增长的传感效应。利用该传感性能,设计了一种测量腔体内部真空度的传感器。该传感器具备量程宽(1×10-71×10-2 Pa)、体积小（4×5×9 mm）、工作电压低（<2 kV）、功耗小（5μW～0.8 W）、无干扰、长寿命等优点。为研究传感器的使用性能,将传感器在工业环境下进行了测试,结果显示在6×10-6～1×10-3Pa范围具有良好的传感性能。进一步将传感器封装在X光管中进行了测试,测试表明封装后40天内两个X光管的内部真空度在2.12×10-4～5.14×10-4Pa之间,且X光管的真空度随放置时间的延长而变差,结果符合理论预期。实验研究显示传感器具备在密封器件内进行真空实时测量的能力,后期将进一步深入研究传感器在密闭电真空器件中的应用性能,并优化材料制备、器件设计和工作模式,使该新型传感器成为真空电子器件内原位实时检测真空度的有效手段。
Abstract
zhen kong ji shu zai qian yan ke ji yu dian zhen kong qi jian zhong zhan you ju zu qing chong de de wei ,zhen kong dian zi qi jian zhi jin reng que fa ke kao de ce liang fang fa yong lai huo qu ji nei bu zhen kong du ,er dui mi feng qi jian jin hang shi shi ya jiang jian kong you ji kun nan 。ben gong zuo she ji le yi chong ji yu tan na mi guan chang fa she he qi ti xi fu de zhen kong ya li chuan gan qi ,wei jie jue shang shu wen ti di gong le yi chong you xiao tu jing 。ben wen tong guo re CVDfa zai ge jin ji de shang zhi jie zhi bei ju you jiang fu zhao xing neng de tan na mi guan ,jiang tan na mi guan zuo wei chang fa she yin ji cai liao ,shi yan biao ming xiao dian liu chang fa she xia cai liao ju you fa she dian liu sui zhen kong ya li sheng gao er zeng chang de chuan gan xiao ying 。li yong gai chuan gan xing neng ,she ji le yi chong ce liang qiang ti nei bu zhen kong du de chuan gan qi 。gai chuan gan qi ju bei liang cheng kuan (1×10-71×10-2 Pa)、ti ji xiao （4×5×9 mm）、gong zuo dian ya di （<2 kV）、gong hao xiao （5μW～0.8 W）、mo gan rao 、chang shou ming deng you dian 。wei yan jiu chuan gan qi de shi yong xing neng ,jiang chuan gan qi zai gong ye huan jing xia jin hang le ce shi ,jie guo xian shi zai 6×10-6～1×10-3Pafan wei ju you liang hao de chuan gan xing neng 。jin yi bu jiang chuan gan qi feng zhuang zai Xguang guan zhong jin hang le ce shi ,ce shi biao ming feng zhuang hou 40tian nei liang ge Xguang guan de nei bu zhen kong du zai 2.12×10-4～5.14×10-4Pazhi jian ,ju Xguang guan de zhen kong du sui fang zhi shi jian de yan chang er bian cha ,jie guo fu ge li lun yu ji 。shi yan yan jiu xian shi chuan gan qi ju bei zai mi feng qi jian nei jin hang zhen kong shi shi ce liang de neng li ,hou ji jiang jin yi bu shen ru yan jiu chuan gan qi zai mi bi dian zhen kong qi jian zhong de ying yong xing neng ,bing you hua cai liao zhi bei 、qi jian she ji he gong zuo mo shi ,shi gai xin xing chuan gan qi cheng wei zhen kong dian zi qi jian nei yuan wei shi shi jian ce zhen kong du de you xiao shou duan 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自温州大学的康颂，发表于刊物温州大学2019-10-18论文，是一篇关于碳纳米管论文,化学气相沉积论文,吸附论文,场发射论文,真空测量论文,气体压力传感论文,温州大学2019-10-18论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自温州大学2019-10-18论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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