本文主要研究内容
作者董海龙,汪家春,刘瑞煌,马冬晓,赵大鹏（2019）在《厚度误差对THz-TDS的测量不确定度分析》一文中研究指出：阐述了基于菲涅尔公式的透射式太赫兹时域光谱系统提取样品光学常数的方法和原理,分析了样品厚度误差对THz-TDS测量不确定度的影响,并建立了相应的不确定度模型。进行太赫兹时域光谱测量实验,提取硅片在太赫兹波段的折射率,并计算了误差对提取样品折射率的影响。结果表明,随着厚度误差的增大,系统测量偏差也随之增大。对于较厚样品,相同厚度误差对其测量结果影响较小。样品厚度为994μm时,在厚度存在1μm的测量误差情况下,系统测量折射率的偏差为0.001 2,接近模型的仿真值。实验结果验证了厚度误差对测量不确定度模型的有效性,了解了厚度误差对系统测量结果的影响情况,对测量过程及结果分析具有一定的指导意义。
Abstract
chan shu le ji yu fei nie er gong shi de tou she shi tai he ci shi yu guang pu ji tong di qu yang pin guang xue chang shu de fang fa he yuan li ,fen xi le yang pin hou du wu cha dui THz-TDSce liang bu que ding du de ying xiang ,bing jian li le xiang ying de bu que ding du mo xing 。jin hang tai he ci shi yu guang pu ce liang shi yan ,di qu gui pian zai tai he ci bo duan de she she lv ,bing ji suan le wu cha dui di qu yang pin she she lv de ying xiang 。jie guo biao ming ,sui zhao hou du wu cha de zeng da ,ji tong ce liang pian cha ye sui zhi zeng da 。dui yu jiao hou yang pin ,xiang tong hou du wu cha dui ji ce liang jie guo ying xiang jiao xiao 。yang pin hou du wei 994μmshi ,zai hou du cun zai 1μmde ce liang wu cha qing kuang xia ,ji tong ce liang she she lv de pian cha wei 0.001 2,jie jin mo xing de fang zhen zhi 。shi yan jie guo yan zheng le hou du wu cha dui ce liang bu que ding du mo xing de you xiao xing ,le jie le hou du wu cha dui ji tong ce liang jie guo de ying xiang qing kuang ,dui ce liang guo cheng ji jie guo fen xi ju you yi ding de zhi dao yi yi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自发光学报的董海龙,汪家春,刘瑞煌,马冬晓,赵大鹏，发表于刊物发光学报2019年03期论文，是一篇关于太赫兹时域光谱系统论文,光学常数论文,厚度误差论文,不确定度论文,单晶硅论文,发光学报2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自发光学报2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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