本文主要研究内容
作者王延伟（2019）在《不同尺寸单晶石墨烯的制备及表面等离激元成像检测研究》一文中研究指出：石墨烯是一种性能优良的光电二维材料,有着高达97.7%的光透过率、超高的电子迁移率和较高的热导率等特点,在光电子器件上的应用价值极高。随着不同尺寸光电子器件的发展,对制备相应尺寸的石墨烯薄膜提出了挑战。目前,工业化制备石墨烯的常用方法是采用化学气相沉积技术在铜、镍等金属基底表面进行制备,但是该技术制备的大多是多晶石墨烯薄膜,晶界的存在降低了石墨烯的优异性能并制约着石墨烯的大规模应用。此外,石墨烯器件的制备往往还需要将CVD制备的石墨烯转移到特定的基底表面,实现其器件性能,这就要求对转移石墨烯所制备的基底质量状况进行有效的成像检测。传统的检测设备昂贵或者需要特定的真空条件,使得石墨烯的检测方式不方便,因此需要发展一种简便而有效的石墨烯成像检测方法。本论文提出一种单晶石墨烯的新型成像检测方式,并主要从化学气相沉积法制备不同尺寸的单晶石墨烯、石墨烯-金基底的制备和表面等离激元成像检测石墨烯这三个方面进行了研究。主要的研究结果如下:(1)研究并获得了利用化学气相沉积法对不同尺寸单晶石墨烯的可靠制备。Ar和O2预处理可以降低石墨烯成核密度、适当的CH4浓度便于单晶石墨烯的生长、压强的大小影响单晶的形貌、生长时间决定了单晶的尺寸。通过对预处理气体及流量、生长压强和时间等参数的调节,获得了 0.01-6mm尺寸单晶石墨烯的可靠制备工艺。此外,本文还对石墨烯制备过程中杂质颗粒的形成机理进行了研究,引入的杂质颗粒可能是由于基底Cu氧化后的结晶颗粒以及石英管在高温条件下硅的脱落。(2)研究并制备了可用于表面等离激元成像系统中的石墨烯-金基底。通过对比表面等离激元成像系统中石墨烯-金基底的四种制备方式:PMMA转移法的无支撑方式、单边支撑方式、四边支撑方式和PDMS辅助AZ5214光刻胶的方式,并经过暗场光学显微镜初步观察得出,采用PMMA转移方法的“单边支撑方式”制备的石墨烯-金基底效果更好,该制备方式同时也为其他新型石墨烯基器件的基底制备提供了较高的参考价值。(3)提出并实现了一种单晶石墨烯的新型成像检测方式。通过金基底上单晶石墨烯在表面等离激元成像系统中的成像检测,并对比金基底上单晶石墨烯的SEM图像,验证了一种通过表面等离激元成像系统对单晶石墨烯成像检测的新型方式。同时,该表面等离激元成像系统还可以检测出石墨烯表面的缺陷及杂质颗粒,并进一步通过实验表明,缺陷的石墨烯会降低表面等离激元成像质量。
Abstract
dan mo xi shi yi chong xing neng you liang de guang dian er wei cai liao ,you zhao gao da 97.7%de guang tou guo lv 、chao gao de dian zi qian yi lv he jiao gao de re dao lv deng te dian ,zai guang dian zi qi jian shang de ying yong jia zhi ji gao 。sui zhao bu tong che cun guang dian zi qi jian de fa zhan ,dui zhi bei xiang ying che cun de dan mo xi bao mo di chu le tiao zhan 。mu qian ,gong ye hua zhi bei dan mo xi de chang yong fang fa shi cai yong hua xue qi xiang chen ji ji shu zai tong 、nie deng jin shu ji de biao mian jin hang zhi bei ,dan shi gai ji shu zhi bei de da duo shi duo jing dan mo xi bao mo ,jing jie de cun zai jiang di le dan mo xi de you yi xing neng bing zhi yao zhao dan mo xi de da gui mo ying yong 。ci wai ,dan mo xi qi jian de zhi bei wang wang hai xu yao jiang CVDzhi bei de dan mo xi zhuai yi dao te ding de ji de biao mian ,shi xian ji qi jian xing neng ,zhe jiu yao qiu dui zhuai yi dan mo xi suo zhi bei de ji de zhi liang zhuang kuang jin hang you xiao de cheng xiang jian ce 。chuan tong de jian ce she bei ang gui huo zhe xu yao te ding de zhen kong tiao jian ,shi de dan mo xi de jian ce fang shi bu fang bian ,yin ci xu yao fa zhan yi chong jian bian er you xiao de dan mo xi cheng xiang jian ce fang fa 。ben lun wen di chu yi chong chan jing dan mo xi de xin xing cheng xiang jian ce fang shi ,bing zhu yao cong hua xue qi xiang chen ji fa zhi bei bu tong che cun de chan jing dan mo xi 、dan mo xi -jin ji de de zhi bei he biao mian deng li ji yuan cheng xiang jian ce dan mo xi zhe san ge fang mian jin hang le yan jiu 。zhu yao de yan jiu jie guo ru xia :(1)yan jiu bing huo de le li yong hua xue qi xiang chen ji fa dui bu tong che cun chan jing dan mo xi de ke kao zhi bei 。Arhe O2yu chu li ke yi jiang di dan mo xi cheng he mi du 、kuo dang de CH4nong du bian yu chan jing dan mo xi de sheng chang 、ya jiang de da xiao ying xiang chan jing de xing mao 、sheng chang shi jian jue ding le chan jing de che cun 。tong guo dui yu chu li qi ti ji liu liang 、sheng chang ya jiang he shi jian deng can shu de diao jie ,huo de le 0.01-6mmche cun chan jing dan mo xi de ke kao zhi bei gong yi 。ci wai ,ben wen hai dui dan mo xi zhi bei guo cheng zhong za zhi ke li de xing cheng ji li jin hang le yan jiu ,yin ru de za zhi ke li ke neng shi you yu ji de Cuyang hua hou de jie jing ke li yi ji dan ying guan zai gao wen tiao jian xia gui de tuo la 。(2)yan jiu bing zhi bei le ke yong yu biao mian deng li ji yuan cheng xiang ji tong zhong de dan mo xi -jin ji de 。tong guo dui bi biao mian deng li ji yuan cheng xiang ji tong zhong dan mo xi -jin ji de de si chong zhi bei fang shi :PMMAzhuai yi fa de mo zhi cheng fang shi 、chan bian zhi cheng fang shi 、si bian zhi cheng fang shi he PDMSfu zhu AZ5214guang ke jiao de fang shi ,bing jing guo an chang guang xue xian wei jing chu bu guan cha de chu ,cai yong PMMAzhuai yi fang fa de “chan bian zhi cheng fang shi ”zhi bei de dan mo xi -jin ji de xiao guo geng hao ,gai zhi bei fang shi tong shi ye wei ji ta xin xing dan mo xi ji qi jian de ji de zhi bei di gong le jiao gao de can kao jia zhi 。(3)di chu bing shi xian le yi chong chan jing dan mo xi de xin xing cheng xiang jian ce fang shi 。tong guo jin ji de shang chan jing dan mo xi zai biao mian deng li ji yuan cheng xiang ji tong zhong de cheng xiang jian ce ,bing dui bi jin ji de shang chan jing dan mo xi de SEMtu xiang ,yan zheng le yi chong tong guo biao mian deng li ji yuan cheng xiang ji tong dui chan jing dan mo xi cheng xiang jian ce de xin xing fang shi 。tong shi ,gai biao mian deng li ji yuan cheng xiang ji tong hai ke yi jian ce chu dan mo xi biao mian de que xian ji za zhi ke li ,bing jin yi bu tong guo shi yan biao ming ,que xian de dan mo xi hui jiang di biao mian deng li ji yuan cheng xiang zhi liang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自北京交通大学的王延伟，发表于刊物北京交通大学2019-09-27论文，是一篇关于单晶石墨烯论文,石墨烯金基底论文,表面等离激元论文,成像检测论文,杂质颗粒论文,北京交通大学2019-09-27论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自北京交通大学2019-09-27论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：单晶石墨烯论文; 石墨烯金基底论文; 表面等离激元论文; 成像检测论文; 杂质颗粒论文; 北京交通大学2019-09-27论文;