本文主要研究内容
作者朱琎,尹艳平,马澄,马国军（2019）在《具有ITO电极的QCM设计与性能研究》一文中研究指出：为了提高石英晶体微天平(QCM)的检测灵敏度,提出了一种具有氧化铟锡(ITO)电极结构的QCM。利用有限元分析软件在QCM芯片电极区采用密度等效法实现计算量的简化,在通过电极尺寸优化得到具有理想能陷效应的QCM的基础上,采用控制磁控溅射的气体压强、工作电压、电流等方法,得到具有导电性好,平滑度高,透光性优良的ITO电极。经振荡频率测试及质量灵敏度分析计算表明,ITO电极的QCM频率稳定性良好(频率变化仅3 Hz),质量灵敏度是金电极QCM的1.5倍。
Abstract
wei le di gao dan ying jing ti wei tian ping (QCM)de jian ce ling min du ,di chu le yi chong ju you yang hua yin xi (ITO)dian ji jie gou de QCM。li yong you xian yuan fen xi ruan jian zai QCMxin pian dian ji ou cai yong mi du deng xiao fa shi xian ji suan liang de jian hua ,zai tong guo dian ji che cun you hua de dao ju you li xiang neng xian xiao ying de QCMde ji chu shang ,cai yong kong zhi ci kong jian she de qi ti ya jiang 、gong zuo dian ya 、dian liu deng fang fa ,de dao ju you dao dian xing hao ,ping hua du gao ,tou guang xing you liang de ITOdian ji 。jing zhen dang pin lv ce shi ji zhi liang ling min du fen xi ji suan biao ming ,ITOdian ji de QCMpin lv wen ding xing liang hao (pin lv bian hua jin 3 Hz),zhi liang ling min du shi jin dian ji QCMde 1.5bei 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自压电与声光的朱琎,尹艳平,马澄,马国军，发表于刊物压电与声光2019年06期论文，是一篇关于氧化铟锡论文,石英晶体微天平论文,质量灵敏度论文,有限元分析论文,能陷效应论文,压电与声光2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自压电与声光2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：氧化铟锡论文; 石英晶体微天平论文; 质量灵敏度论文; 有限元分析论文; 能陷效应论文; 压电与声光2019年06期论文;