本文主要研究内容
作者李维源,朱蓓蓓,孙权权,陆波,袁航,陈肖,兰洁,许剑锋（2019）在《基于电子束蒸发沉积的曲面纳米薄膜均匀性研究》一文中研究指出：半球谐振子金属化是半球谐振陀螺研制过程中的重要环节,针对半球表面薄膜制备均匀性难以实现的问题,提出了一种将薄膜沉积实验和光学模拟相结合的方法。本文采用电子束蒸发技术在半球上沉积Au薄膜,过渡层金属为Cr,利用台阶仪测量球面上不同位点的薄膜厚度,将平面上的膜厚等效为半球曲面上的膜厚,研究球面薄膜的均匀性,得出了如下结论:在半球内外表面上薄膜的膜厚逐渐减小,外球面上球顶处膜厚为唇沿处的6.1倍,而内球面上球顶处膜厚为唇沿处的3.26倍;同时对薄膜沉积均匀性进行了光学模拟,将半球探测器上辐照度等效为实验中沉积所得到的薄膜厚度,计算得出的半球探测器上辐照度分布与实验测量结果一致性较好,可为半球谐振子纳米薄膜的均匀性制备提供理论基础。
Abstract
ban qiu xie zhen zi jin shu hua shi ban qiu xie zhen tuo luo yan zhi guo cheng zhong de chong yao huan jie ,zhen dui ban qiu biao mian bao mo zhi bei jun yun xing nan yi shi xian de wen ti ,di chu le yi chong jiang bao mo chen ji shi yan he guang xue mo ni xiang jie ge de fang fa 。ben wen cai yong dian zi shu zheng fa ji shu zai ban qiu shang chen ji Aubao mo ,guo du ceng jin shu wei Cr,li yong tai jie yi ce liang qiu mian shang bu tong wei dian de bao mo hou du ,jiang ping mian shang de mo hou deng xiao wei ban qiu qu mian shang de mo hou ,yan jiu qiu mian bao mo de jun yun xing ,de chu le ru xia jie lun :zai ban qiu nei wai biao mian shang bao mo de mo hou zhu jian jian xiao ,wai qiu mian shang qiu ding chu mo hou wei chun yan chu de 6.1bei ,er nei qiu mian shang qiu ding chu mo hou wei chun yan chu de 3.26bei ;tong shi dui bao mo chen ji jun yun xing jin hang le guang xue mo ni ,jiang ban qiu tan ce qi shang fu zhao du deng xiao wei shi yan zhong chen ji suo de dao de bao mo hou du ,ji suan de chu de ban qiu tan ce qi shang fu zhao du fen bu yu shi yan ce liang jie guo yi zhi xing jiao hao ,ke wei ban qiu xie zhen zi na mi bao mo de jun yun xing zhi bei di gong li lun ji chu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自飞控与探测的李维源,朱蓓蓓,孙权权,陆波,袁航,陈肖,兰洁,许剑锋，发表于刊物飞控与探测2019年02期论文，是一篇关于半球谐振子论文,电子束蒸发论文,球面论文,均匀性论文,光学模拟论文,纳米薄膜论文,飞控与探测2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自飞控与探测2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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