导读:本文包含了宽带增透膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:声光可调滤光器,宽带增透膜,附着力,纳米划痕法
宽带增透膜论文文献综述
谢强,刘伟,杨晓波[1]（2016）在《声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备》一文中研究指出针对声光可调滤光器的使用要求,对常用的几种薄膜材料进行了沉积实验,采用传统的撕离法及纳米划痕法测试了薄膜材料的附着力。选择TiO_2和SiO_2分别作为高、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,制备了附着力牢靠、光谱透射率满足使用要求的TeO2晶体400~1 000nm宽带增透膜。(本文来源于《压电与声光》期刊2016年05期）
孙亚军,朱益清,李帅,朱华新[2]（2016）在《CaF_2基底上近红外区宽带增透膜的研究》一文中研究指出以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95%,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性。环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中。(本文来源于《激光与红外》期刊2016年01期）
肖波凯,沈军,李晓光,王晓栋,周小卫[3]（2015）在《低温制备针对KDP晶体的防潮双层宽带增透膜》一文中研究指出在惯性约束聚变(ICF)装置中,大量使用有变频特性的水溶性磷酸二氢钾(KDP)类晶体材料,但KDP晶体需要有效的保护膜防止其潮解。由于KDP晶体元件晶相转变温度低,对湿度比较敏感,在很大的程度上限制了膜层制备和后处理工艺。以甲基叁乙氧基硅烷(MTES)为原料,采用溶胶-凝胶技术和提拉方式制作防潮膜,仅仅以100℃以下温度进行热处理,再以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,在镀有热处理后的防潮膜的基底上采用上述工艺镀制光学减反膜。对组合薄膜的防潮、光学性能、结构等进行了测试表征。结果显示防潮性能佳,而且在特定波长532nm有高达99.76%的透过率。薄膜中存在大量的甲基(—CH3),是性能优良的且能在较低的温度下进行制备的防潮增透膜,可用于叁倍频晶体KDP的增透与保护。(本文来源于《化工新型材料》期刊2015年10期）
张蒙蒙,孔伟金,张敏,王增智,李娜[4]（2015）在《宽带增透膜工艺的优化与性能分析》一文中研究指出为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400~700nm的宽带增透膜。结果表明:所制作的可见光增透膜平均反射率达到0.36%,优于望远镜等光学系统的增透要求。(本文来源于《青岛大学学报(自然科学版)》期刊2015年01期）
胡峰[5]（2014）在《抗盐雾宽带增透膜的研制》一文中研究指出为了满足光学仪器在雨天、海洋等环境下的使用,研制了具有抗盐雾特性的420-820nm波段宽带增透膜。根据抗盐雾宽带增透膜的技术要求,选用T42O5、SiO2和A1203叁种光学薄膜材料,结合双有效界面法原理,使用膜系设计软件设计并优化膜系。通过实验分析了膜厚误差产生的原因,借助膜系设计软件对测试结果进行模拟优化并补偿,通过在制备过程中改变每种材料的修正系数,并对工艺参数进行反复优化调整,解决了厚度误差对光谱特性的影响,最终制备的具有抗盐雾功能的宽带增透膜,在420～820nm波段内平均透过率T≥98%,通过了环境实验,基本满足使用要求。(本文来源于《长春理工大学》期刊2014-03-01）
阙立志,李帅,朱华新[6]（2014）在《QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究》一文中研究指出以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜(增透波长0.4~0.8μm),工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,结果表明平均透过率达97.73%。环境测试表明,薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。(本文来源于《江南大学学报(自然科学版)》期刊2014年01期）
朱华新,刘桂林,高劲松,王彤彤,李帅[7]（2013）在《QF1基底上可见光区宽带增透膜研究》一文中研究指出本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4～0.8μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2013年06期）
董茂进,李坤,王多书,熊玉卿,王济洲[8]（2013）在《双波段3.0～5.0μm和7.0～10.0μm宽带增透膜的研究》一文中研究指出为了增加红外窗口的透射率,研制了硫化锌基底上的双波段宽带增透膜。膜系设计采用硫化锌和氟化钇分别作为高、低折射率材料的多层膜结构。镀制的增透膜在中波红外和长波红外波段具有高的透射率,在3.0～5.0μm波段平均透射率大于92%,在7.0～10.0μm波段平均透射率大于90%,并且满足环境性能试验的要求。(本文来源于《真空与低温》期刊2013年02期）
胡九龙[9]（2013）在《PECVD技术制备超宽带增透膜》一文中研究指出等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition即PECVD)作为一种光学薄膜沉积技术逐渐被人们用来制备大面积、高损伤阂值的、致密的高质量光学薄膜,如光学滤光片,减反射薄膜等。本文采用PECVD技术在硅片和K9玻璃上分别沉积光学薄膜,研究了低折射率、高折射率、梯度折射率薄膜的光学特性,分析了不同工艺参数对光学薄膜的折射率、折射率轮廓、消光系数的影响。针对超宽带增透膜,系统研究了超宽带增透膜的设计方法,并制备了超宽带增透膜。得到如下研究结果：1)采用PECVD技术在硅基底上沉积SiO2薄膜。测试结果表明,在SiH4和N2O反应前驱物中增加C2F6气体可以降低薄膜的折射率。当基底温度为300℃、射频功率为200W、工作真空度为20Pa、叁种气体流量分别为60sccm、40sccm、30sccm时,沉积的薄膜在550nm处折射率为1.37,消光系数为4*10-4,是一种较好的低折射率材料；2)采用PECVD技术在硅基底和K9玻璃上沉积SiNx:H薄膜。测试结果表明,薄膜最高折射率为1.97,消光系数小于10-5。随着SiH4气体流量的增加,薄膜折射率增加,同时薄膜中会引入更多的非晶硅成份使消光系数增加。随着N2气体含量的增加,所沉积的薄膜成份趋向Si3N4薄膜；3) MATLAB模拟结果表明,渐变折射率可使增透膜透过率曲线更平滑,因此本文以SiH4为主体前驱物,其流量固定为40sccm,将N2和N20气体流量比从0：50逐步增加到50：0,来沉积SiOxNy渐变折射率膜层,测试结果表明随着N2和N20气体流量比增加,其折射率在1.46与1.97间变化；4)用MATLAB软件结合傅立叶变换法、混和设计法、遗传算法设计了带宽为450nm-900nm的含渐变折射率膜层的超宽带增透膜,峰值透过率为99.7%,平均透过率为98.8%。采用PECVD技术在K9玻璃上双面沉积由SiOF、SiNx和SiOxNy叁种材料组成的超宽带增透膜,其峰值透过率98.9%,平均透过率为96.8%。(本文来源于《西安工业大学》期刊2013-04-28）
杨道奇,付秀华,耿似玉,杨永亮,潘永刚[10]（2012）在《0.6～1.55μm可见/近红外超宽带增透膜的研制》一文中研究指出针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(650±10)nm、900～1 100 nm和(1470±10)nm叁波段内平均透过率≥99%,在620～1 550 nm宽波段内整体平均透射率≥97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。(本文来源于《中国光学》期刊2012年03期）
宽带增透膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以CaF_2为基底设计了一种近红外区的宽带增透膜,增透波长为0.9~1.7μm。分析了宽带增透膜初始结构的基本设计原则。分别以TiO_2和SiO_2作为高低折射率材料,采用电子束蒸发物理气相沉积(EBPVD)的方法进行工艺制备。利用岛津分光光度计对样品的透过率进行测量,样品双面镀制该膜系,测试结果表明样品的平均透过率达98.95%,与设计结果基本符合,具有宽带的增透特性。环境测试表明:该薄膜具有良好的附着力和牢固度,可以应用于对产品可靠性要求较高的环境中。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
宽带增透膜论文参考文献
[1].谢强,刘伟,杨晓波.声光可调滤光器400～1000nm宽带增透膜的制备[J].压电与声光.2016
[2].孙亚军,朱益清,李帅,朱华新.CaF_2基底上近红外区宽带增透膜的研究[J].激光与红外.2016
[3].肖波凯,沈军,李晓光,王晓栋,周小卫.低温制备针对KDP晶体的防潮双层宽带增透膜[J].化工新型材料.2015
[4].张蒙蒙,孔伟金,张敏,王增智,李娜.宽带增透膜工艺的优化与性能分析[J].青岛大学学报(自然科学版).2015
[5].胡峰.抗盐雾宽带增透膜的研制[D].长春理工大学.2014
[6].阙立志,李帅,朱华新.QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究[J].江南大学学报(自然科学版).2014
[7].朱华新,刘桂林,高劲松,王彤彤,李帅.QF1基底上可见光区宽带增透膜研究[J].人工晶体学报.2013
[8].董茂进,李坤,王多书,熊玉卿,王济洲.双波段3.0～5.0μm和7.0～10.0μm宽带增透膜的研究[J].真空与低温.2013
[9].胡九龙.PECVD技术制备超宽带增透膜[D].西安工业大学.2013
[10].杨道奇,付秀华,耿似玉,杨永亮,潘永刚.0.6～1.55μm可见/近红外超宽带增透膜的研制[J].中国光学.2012