导读:本文包含了狭缝扫描论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:测量,光刻机,扫描狭缝,半影宽度
狭缝扫描论文文献综述
刘志帆,陈明,步扬,徐静浩,范李立[1]（2019）在《光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术》一文中研究指出扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析了共面扫描狭缝刀片成像光路,推导得到掩模面半影区与光瞳像的对应关系。搭建了扫描狭缝刀口半影检测系统,并对90 nm光刻机照明分系统的扫描狭缝刀口半影宽度进行测量。实验结果表明,所提测量技术可有效改善光强波动对刀口半影宽度测量的影响,扫描狭缝刀口半影宽度的测量重复性达到0.026 mm,提高了3.46倍(与传统扫描法相比)。该技术可用于高数值孔径浸没式光刻机照明分系统光学半影参数的测量。(本文来源于《中国激光》期刊2019年10期）
林栋梁,张方,黄惠杰[2]（2018）在《刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究》一文中研究指出扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。(本文来源于《光学精密工程》期刊2018年05期）
李蕾[3]（2016）在《双狭缝扫描光束质量分析系统设计》一文中研究指出随着激光越来越广泛的应用,激光光斑功率,光束质量因子与描述光束质量的其他参数的测量己成为热门课题,而目前国内对于激光各个参数的测量,虽然已经研发出完整的成套测量系统,但是大多用于研发领域,还未出现可以简单快速且可被广泛工业化的激光光束测量系统。如今对激光光束质量的测量方法,测量速度与测量精度无法同时兼顾。为了兼顾测量速度与精度的目的,提出了双狭缝扫描法。因为此方法不需要在光路中使用衰减器,降低了数据分析复杂度。选用嵌入式技术完成对整个系统的控制与数据处理,体积小便于携带,可实现对数据实时处理。进行了理论分析和实验验证,实现了快速同步测量两轴轴功率分布,动态范围可达到70dB,扫描速率为2到18Hz,可用于分析连续或脉冲激光光束。结果表示这个改进可以同时兼顾测量速度与精度。(本文来源于《长春理工大学》期刊2016-03-01）
李蕾,臧景峰[4]（2015）在《双狭缝扫描法测量激光光束质量》一文中研究指出现有激光光束质量的测量方法无法同时兼顾测量速度与测量精度。为了达到兼顾速度与精度的目的,提出了双狭缝扫描法。此方法不需要在光路中使用衰减器,从而降低了数据分析复杂度。选用嵌入式技术完成对整个系统的控制与数据处理,便于携带,可实现对数据的实时处理;同时进行了理论分析和实验验证。结果表明,该方法可实现快速同步测量两轴的功率分布,动态范围可达到70d B,扫描频率为2Hz~18Hz,可用于分析连续或脉冲激光光束。该方法对兼顾测量速度与精度是有帮助的。(本文来源于《激光技术》期刊2015年06期）
沈飞,王辉,任新联,袁建飞[5]（2015）在《正交多狭缝扫描技术在偏心起爆波形分析中的应用》一文中研究指出为研究装药在偏心起爆条件下的爆轰波传播特性,采用正交多狭缝扫描技术对装药表面的爆轰波传播过程进行观测,从两个垂直方向同时记录了多条扫描迹线,通过对实验结果进行分析,获得了爆轰波在狭缝交点处的传播速度及方向,并绘出了定向区域的波形演变图。结果表明,正交多狭缝扫描技术能够较全面地记录装药偏心起爆时爆轰波传播过程的信息,可以为爆轰波传播特性及波形变化规律的研究提供依据。(本文来源于《弹箭与制导学报》期刊2015年03期）
杨长春[6]（2015）在《NVST狭缝扫描系统及定标单元的控制》一文中研究指出一米新真空太阳望远镜(New Vacuum Solar Telescope,NVST)位于抚仙湖太阳观测站,用于太阳活动区的精细光谱分析和磁场的高分辨率精细结构研究。在多波段光谱仪及大色散光谱仪等终端设备基础上,采用偏振成像和光谱观测的方法可实现太阳矢量磁场观测。在光谱仪消旋转台上设计了狭缝扫描机构,基于扫描机构将光路步进平移进入狭缝之后的光谱仪系统,可实现光谱扫描观测。偏振测量系统中,消旋转台的狭缝窗口前设计有一套偏振分析器,并在望远镜真空主镜筒内设计一套定标单元设备,以克服望远镜仪器偏振造成的测量误差影响。论文主要阐述的内容,针对于光谱扫描系统及偏振测量系统中各电动执行机构的运动控制。论文中首先介绍了光谱扫描系统及偏振测量系统的工作原理,并得出对应设备的运动控制需求。然后阐述了针对光谱扫描系统及偏振测量系统中各设备的运动控制需求进行的控制软件设计,并介绍了局域网内的远程设备控制实现。之后介绍在后期设计中,集合了扫描设备的运动控制以及控制相机进行图像采集的一套观测系统软件设计。设计的相关软件用于NVST进行了观测测试,实现了预期目标功能,此设计也具有较好的移植性和扩展性,可为后续观测系统功能的升级改造,提供一些参考价值。(本文来源于《中国科学院研究生院(云南天文台)》期刊2015-04-01）
杨长春,许骏[7]（2015）在《NVST狭缝扫描及定标单元的电动控制实现》一文中研究指出利用1 m红外太阳望远镜(New Vacuum Solar Telescope,NVST)对太阳进行观测和研究,需要控制狭缝扫描系统和磁分析系统中各设备的运动以配合观测系统采集数据。针对实际观测中对设备运动控制的需求,并利用控制器对相应设备的直接控制,提出基于TCP协议及UDP协议的Win Sock网络编程以及串口通信编程的设计方案,设计了一套基于Client/Server架构的控制系统软件,实现各仪器在局域网范围内的远程控制。通过对设备的运动控制测试,客户端发送控制命令给服务器端,服务器计算机解析命令并通过串口控制各仪器运行,同时采集设备的状态信息反馈给客户端,测试结果表明此系统能良好地控制各设备运行,结合网络通信及串口通信的设计为后续的观测系统功能升级打下了基础。(本文来源于《天文研究与技术》期刊2015年04期）
苗舒越,张运海,高飞[8]（2014）在《激光扫描共聚焦光谱成像中的出射狭缝控制》一文中研究指出激光扫描共聚焦光谱成像系统需要在光谱带位置处设置一个出射狭缝,通过改变狭缝的宽度和狭缝相对于光谱带的位置,实现对于特定谱段荧光的选择。出射狭缝由两个安装在步进电机上的可移动缝片形成,通过伺服控制的方式,利用ARM芯片生成步进电机的控制信号,并根据编码器和光耦开关提供的位置负反馈进行调整,以实现对于叁路通道中狭缝位置与宽度的精确设置。通过实验证明,本文所设计的出射狭缝控制系统能够对缝片位置进行精确设置,实现了同时对样品中不同波段荧光成分进行成像的功能,提高了对于荧光样品观测的灵活性与观察效果。(本文来源于《激光与红外》期刊2014年11期）
高来勖,李松权,叶红安,刘书钢,蒋式弘[9]（2014）在《基于狭缝扫描的表面等离子体共振成像》一文中研究指出利用表面等离子体共振技术进行电介质样品成像研究.采用高数值孔径显微物镜作为耦合元件,632.8nm He-Ne激光会聚激发金膜产生表面等离子体共振,通过狭缝光阑限制光束入射角,对金膜上的氮化硅光栅进行成像.反射光由放置在样品像方共轭面上的CCD摄像机接收,获得样品的表面等离子体共振像.通过扫描移动狭缝,得到入射角从44°至54°的扫描样品图像,从图像中提取样品各点的表面等离子体共振曲线,由计算机重构出样品的表面等离子体共振角谱灰度图.(本文来源于《光子学报》期刊2014年06期）
孙天希,白在桥,刘志国,熊俊[10]（2013）在《利用狭缝扫描法测量超声波扩散角》一文中研究指出利用狭缝扫描获得超声波束横截面上强度积分分布曲线,利用此积分曲线对应的微分曲线的半峰全宽计算得到超声波扩散角.此方法克服了小孔测量扩散角方法中信号微弱的弊端,提高了超声波扩散角测量精度.(本文来源于《物理实验》期刊2013年09期）
狭缝扫描论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
狭缝扫描论文参考文献
[1].刘志帆,陈明,步扬,徐静浩,范李立.光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术[J].中国激光.2019
[2].林栋梁,张方,黄惠杰.刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究[J].光学精密工程.2018
[3].李蕾.双狭缝扫描光束质量分析系统设计[D].长春理工大学.2016
[4].李蕾,臧景峰.双狭缝扫描法测量激光光束质量[J].激光技术.2015
[5].沈飞,王辉,任新联,袁建飞.正交多狭缝扫描技术在偏心起爆波形分析中的应用[J].弹箭与制导学报.2015
[6].杨长春.NVST狭缝扫描系统及定标单元的控制[D].中国科学院研究生院(云南天文台).2015
[7].杨长春,许骏.NVST狭缝扫描及定标单元的电动控制实现[J].天文研究与技术.2015
[8].苗舒越,张运海,高飞.激光扫描共聚焦光谱成像中的出射狭缝控制[J].激光与红外.2014
[9].高来勖,李松权,叶红安,刘书钢,蒋式弘.基于狭缝扫描的表面等离子体共振成像[J].光子学报.2014
[10].孙天希,白在桥,刘志国,熊俊.利用狭缝扫描法测量超声波扩散角[J].物理实验.2013