导读:本文包含了精密测量系统论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:PM2.5,机器学习,大数据
精密测量系统论文文献综述
陈良,李柏年[1]（2019）在《一种基于机器学习的PM2.5精密测量系统设计方法》一文中研究指出普通的空气质量传感器由于设备本身的测量准确度不高,往往不能很好地反映空气质量的真实情况,特别是比较难以准确获得PM2.5指数。本文提出了一种利用多台低成本传感装置组成测量系统,通过对历史检测得到的大量数据进行机器学习,来提高PM2.5测量准确度的设计方法。通过验证,该测量系统与单个传感装置相比可以提升PM2.5的测量准确度至少15%以上。(本文来源于《电子测试》期刊2019年18期）
卢佳宝,韩学辉,王彩霞[2]（2019）在《基于线阵CCD的精密尺寸测量系统》一文中研究指出现有尺寸测量方式精度低,测量费时费力。为了提高尺寸测量的精度,使测量系统便携化,操作简单,文中实现了一种基于线阵CCD的精密尺寸测量系统。文中提出新的象元细分方法,将2个像元间距为8μm的线阵CCD等距错排并以60°斜放,可突破像元间距对测量精度的限制,将最大测量误差减小为2μm,在此基础上采用浮动阈值方法进行数据处理,实现高精度尺寸测量。利用FPGA进行硬件描述实现线阵CCD的驱动,对CCD的输出信号进行差分放大,采用硬件滤波方法消除曝光积分和转移过程中的电子学噪声,采用10位模数转换器实现数字量的并行输出,FPGA内部FIFO存储数字量结果。系统充分利用FPGA的可编程资源,有效降低了硬件设计复杂度,无需上位机或者ARM,节约成本,系统小型化便携化。实验表明,该系统有效克服光源及电子学噪声影响,可对1 mm-29 mm的中型尺寸物体进行测量,误差小于2μm。(本文来源于《光电子·激光》期刊2019年09期）
何红,刘雨棣[3]（2019）在《基于光纤传感器的多点温度在线高精密测量系统设计》一文中研究指出传统的光纤传感器多点温度测量系统中,由于采样位数偏低和编程时间过长,导致温度测量精度不高,并且这些温度测量系统普遍采用RS-485串口的通信方式,存在着监测范围较小等局限性,对多点温度进行快速的在线高精密测量产生了一定的影响,针对上述问题,设计一种基于光纤传感器的多点温度在线高精密测量系统。给出了光纤传感器的特性分析、多点温度测量系统的硬件设计和软件设计,介绍了虚拟仪器软件结构的叁个层面和叁个功能模块的设计。分别为用户应用层、测量程序层和仪器设备层,串口通信接收数据模块、测量数据显示模块、测量数据显示模块。测试结果表明,所设计系统测量完成时间较短、准确率较高。(本文来源于《激光杂志》期刊2019年08期）
云攀攀,张文涛,王献英[4]（2019）在《超精密掩模台位移测量系统热漂移研究》一文中研究指出针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅距为1μm的二维光栅,配合2048倍电子细分的相位计数卡,其系统分辨力达到了0.12nm。热漂移测试结果显示:该系统的热漂移X向为17.86nm/K,Y向为41.43nm/K。在光刻机掩模台的实际测量环境中,测量环境的温度波动稳定在5mK以内,此时系统的热漂移X向可以控制在0.09nm以内,Y向可以控制在0.21nm以内。实验数据表明系统的热漂移误差小于1nm,满足掩模台亚纳米位移测量精度需求。(本文来源于《仪器仪表用户》期刊2019年07期）
吕强[5]（2019）在《基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究》一文中研究指出精密测量技术是现代加工和制造领域的基础,兼顾大量程、高精度、多维度的精密测量设备对推动先进加工业和制造业的发展有非常重要的意义。光栅位移测量系统作为一种精密位移测量设备,以其精度高、量程大、结构简单紧凑、受环境影响小等优点备受国内外研究学者关注,相关产品已经广泛应用于多种精密测量的场合。目前对光栅位移测量系统的研究虽然很多,但是该系统还存在着大量程与高分辨力、高精度之间的矛盾,多维度与小体积、大量程之间的矛盾等问题。这些问题严重限制了光栅位移测量系统的应用,制约了其向小型化、商品化方向发展。鉴于此,本文对基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统的关键技术进行研究,旨在解决上述矛盾,为光栅位移测量系统向产业化发展奠定坚实的基础。本文具体研究内容如下:第一,研究了基于衍射光栅的精密位移测量系统的测量理论。用严格的耦合波理论建立了分析一维梯形光栅衍射效率的理论模型;利用Doppler频移原理、光的干涉原理和位移转换原理推导了位移测量的基本原理;列举了偏振光和常用偏振光学元件的琼斯矩阵表示方法。第二,提出了一个小型化、高精度、外差式光栅二维位移测量系统。理论分析了Littrow结构进行二维位移测量的基本原理以及光栅、读数头和位移平台之间的偏摆关系对该系统位移测量的影响;搭建了原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,在两个维度上实现了最小分辨力3nm,测量范围10mm的高精度位移测量,系统还具有优于激光干涉仪的静态稳定性;该二维位移测量系统结合Littrow结构和外差测量原理,读数头结构简单,便于集成和安装,测量范围大,精度高,对光栅位移测量系统向产品化发展有重要意义。第叁,提出了衍射光栅五维自由度精密测量系统。理论分析了利用衍射光栅结合位置灵敏探测器进行叁维角度测量的基本原理;在二维位移测量系统的基础上引入高精度位置灵敏探测器搭建了原理样机并与双频激光干涉仪和光电自准直仪进行了位移及角度测量对比实验,实现了分辨力3nm的高精度二维位移测量以及分辨力优于1?的高精度叁维角度测量;该五维自由度精密测量系统结构简单易集成,分辨力和精度高,位移测量范围大,实用性强,对多维度光栅位移测量系统向产品化发展有重要意义。第四,系统分析了光栅对外差Littrow式光栅位移测量系统位移测量的影响。模拟了光栅与读数头之间的位置误差对位移测量的影响,揭示了光栅偏摆误差是系统最为敏感的误差,对系统的装调以及测量环境的选择有重要的指导意义;利用几何光学原理建立了光栅面形误差、刻线误差对外差Littrow式光栅位移测量系统位移测量影响的理论模型,提出了一种快速检测和计算该误差的方法,搭建了外差Littrow式光栅位移测量系统原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,实验验证了该方法的正确性并且具有速度快、精度高的特点,对提升系统精度有重要意义;利用琼斯矩阵分析方法建立了Littrow式光栅位移测量系统光学元件偏振特性与信号强度之间关系的理论模型,模拟了光栅的衍射效率和偏振特性对位移测量的影响,揭示了光栅?1级衍射光对P光和S光衍射效率不同对非线性误差影响最大,对于光栅的设计和系统精度的提升有重要的理论意义。第五,提出了一种大量程、高精度的外差式光栅一维位移测量系统。采用光栅交错拼接的方式扩大了系统量程,利用双层Littrow结构设计了小型化的读数头,搭建了原理样机并与双频激光干涉仪进行了位移测量对比实验,验证了原理的正确性,实现了量程50mm,分辨力3nm的高精度位移测量;模拟了交错拼接光栅的拼接过程,为光栅的制作奠定了基础;该一维位移测量系统测量范围大、精度高、读数头结构简单,对光栅位移测量系统向大量程、高精度发展有重要意义。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2019-06-01）
邹进贵,成洪权[6]（2019）在《基于Android的精密叁角高程测量系统开发及应用》一文中研究指出与普通水准测量相比,精密叁角高程测量在特殊环境下的作业效率更高,为推广该测量方法的使用,开发一个功能完善的精密叁角高程测量软件是必要的。本文在Android精密叁角高程测量软件基础上,结合Android程序设计和精密叁角高程测量系统的作业需求,开发了Android平台精密叁角高程测量系统。在中国某长江大桥精密叁角高程测量的应用中,通过将测量结果与普通二等水准测量数据进行检核与对比,证实该系统能够满足普通跨江水准测量作业的要求。(本文来源于《测绘地理信息》期刊2019年03期）
徐康,熊显名,张文涛,王献英[7]（2019）在《超精密掩模台位置测量系统算法优化》一文中研究指出基于掩模台平面光栅尺的位置算法是多元非线性隐函数方程组,针对其解算较困难的问题,工程上常使用迭代法进行数值解算。但随着掩模台扫描速度的提高,迭代法解算会使位置算法引入较大的迭代误差。开展了掩模台位置解算算法对比实验,并设计了位置模型补偿算法。实验结果表明:在10 kHz的采样频率和2. 8 m/s的扫描速度条件下,X,Y和Rz的解算误差分别减少到5. 877E-11m,8. 617E-11m和5. 316E-11rad及以下。(本文来源于《激光杂志》期刊2019年11期）
高玉娥,刘伟,吕世猛,张永康,董文博[8]（2018）在《基于位置敏感探测器的六自由度精密位姿测量系统》一文中研究指出位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)是一种高精度的二维位移测量传感器,利用叁片二维PSD的组合实现空间六自由度相对运动的位移和角度测量。测量系统主要包括叁片PSD传感器(包括PSD光敏面和发光管)、低噪声的信号调理和AD采集电路,采用叁片PSD正交布局方案,通过PSD光敏面的光点位置计算相对运动的位移和角度。设计了六自由度的PSD标定测试系统,用于PSD测量系统中心偏移和发光管安装误差的标定测试。测试结果表明,PSD测量系统的测量范围优于位移±10mm、角度±2.5°,标定后PSD测量系统的噪声误差为位移0.1mm、角度0.02°,测量系统的绝对位移误差小于0.5mm、角度误差小于0.14°,满足系统0.5mm和0.5°的指标要求。此外,对PSD传感器的环境适应性进行了评估。PSD测量系统具有量程宽、精度高、线性度好的优点,成功应用于天舟1号货运飞船微重力主动隔振装置的相对运动测量中。(本文来源于《光学精密工程》期刊2018年12期）
毕超,房建国,闵罗肖,鲍晨兴[9]（2019）在《燃油喷嘴内腔锥角的精密测量系统研究》一文中研究指出为实现航空发动机燃油喷嘴组件内腔锥角的快速精确检测,在双球法锥角测量原理的基础上,基于叁轴运动平台、直线位移传感器、浮动夹头和多轴运动控制器等搭建了一套喷嘴内腔锥角精密测量系统,以解决喷嘴内腔锥角的自动化测量难题。该测量系统采用紧凑的立柱式结构,其运动机构由X、Y和Z直线轴构成,控制系统采用主流工控机与专用多轴运动控制器相结合的二级位置闭环数字复合控制方式,并且设计了具有"自适应入孔"功能的新型双球锥孔测头。最后,应用该测量系统对3个圆锥孔零件和某喷嘴样件的内腔锥角特征分别进行了多次重复测量。实验结果表明,所搭建的测量系统能够完成既定的测量任务,而且系统的测量精度指标能够满足检测任务需求,因而可以作为一项喷嘴结构尺寸检测的技术解决方案。(本文来源于《机械科学与技术》期刊2019年03期）
党宝生,熊显名,王献英,张文涛[10]（2018）在《超精密光栅尺位移测量系统》一文中研究指出针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验。实验结果分别表明:光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺和激光干涉仪位移测量系统间测量结果的差值小于16.67nm的置信度为0.95,具有良好测量一致性;光栅尺位移测量系统具有较好的抗干扰能力,鲁棒性强,能够满足光刻机运动台位移测量需求。(本文来源于《激光杂志》期刊2018年09期）
精密测量系统论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
现有尺寸测量方式精度低,测量费时费力。为了提高尺寸测量的精度,使测量系统便携化,操作简单,文中实现了一种基于线阵CCD的精密尺寸测量系统。文中提出新的象元细分方法,将2个像元间距为8μm的线阵CCD等距错排并以60°斜放,可突破像元间距对测量精度的限制,将最大测量误差减小为2μm,在此基础上采用浮动阈值方法进行数据处理,实现高精度尺寸测量。利用FPGA进行硬件描述实现线阵CCD的驱动,对CCD的输出信号进行差分放大,采用硬件滤波方法消除曝光积分和转移过程中的电子学噪声,采用10位模数转换器实现数字量的并行输出,FPGA内部FIFO存储数字量结果。系统充分利用FPGA的可编程资源,有效降低了硬件设计复杂度,无需上位机或者ARM,节约成本,系统小型化便携化。实验表明,该系统有效克服光源及电子学噪声影响,可对1 mm-29 mm的中型尺寸物体进行测量,误差小于2μm。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
精密测量系统论文参考文献
[1].陈良,李柏年.一种基于机器学习的PM2.5精密测量系统设计方法[J].电子测试.2019
[2].卢佳宝,韩学辉,王彩霞.基于线阵CCD的精密尺寸测量系统[J].光电子·激光.2019
[3].何红,刘雨棣.基于光纤传感器的多点温度在线高精密测量系统设计[J].激光杂志.2019
[4].云攀攀,张文涛,王献英.超精密掩模台位移测量系统热漂移研究[J].仪器仪表用户.2019
[5].吕强.基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究[D].中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所).2019
[6].邹进贵,成洪权.基于Android的精密叁角高程测量系统开发及应用[J].测绘地理信息.2019
[7].徐康,熊显名,张文涛,王献英.超精密掩模台位置测量系统算法优化[J].激光杂志.2019
[8].高玉娥,刘伟,吕世猛,张永康,董文博.基于位置敏感探测器的六自由度精密位姿测量系统[J].光学精密工程.2018
[9].毕超,房建国,闵罗肖,鲍晨兴.燃油喷嘴内腔锥角的精密测量系统研究[J].机械科学与技术.2019
[10].党宝生,熊显名,王献英,张文涛.超精密光栅尺位移测量系统[J].激光杂志.2018